专利名称: |
一种气敏传感器及其制备方法 |
摘要: |
本发明公开了一种气敏传感器及其制备方法,用于提高气敏传感器的气敏特性,以提高气敏传感器的灵敏度。其中的气敏传感器的制作方法包括:通过聚偏氟乙烯PVDF和聚苯胺PAN,制作具有多个孔洞结构的气体感应材料;在绝缘基板上形成第一电极和第二电极,以及气体感应层,其中,所述第一电极和所述第二电极位于所述气体感应层的同一侧的相对两端,所述气体感应层由所述气体感应材料形成。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
安徽;34 |
申请人: |
合肥鑫晟光电科技有限公司 |
发明人: |
马涛;何为;罗标 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2019-03-19T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-06-11T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201910206689.6 |
公开号: |
CN109870482A |
代理机构: |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 |
代理人: |
郭润湘 |
分类号: |
G01N27/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
申请人地址: |
230012 安徽省合肥市新站区工业园内 |
主权项: |
1.一种气敏传感器的制作方法,其特征在于,包括: 通过聚偏氟乙烯PVDF和聚苯胺PAN,制作具有多个孔洞结构的气体感应材料; 在绝缘基板上形成第一电极和第二电极,以及气体感应层,其中,所述第一电极和所述第二电极位于所述气体感应层的同一侧的相对两端,所述气体感应层由所述气体感应材料形成。 2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,通过聚偏氟乙烯PVDF和聚苯胺PAN,制作具有多个孔洞结构的气体感应材料,包括: 采用第一溶剂溶解PVDF,使得所述PVDF具有多个孔洞; 在具有多个孔洞结构的PVDF中掺杂PAN,形成所述气体感应材料。 3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一溶剂与所述PVDF的配比为50:1~150:1。 4.如权利要求2或3所述的方法,其特征在于,在绝缘基板上形成第一电极和第二电极,以及气体感应层,包括: 采用旋涂方式将所述气体感应材料涂覆在所述绝缘基板上,形成所述气体感应层; 在所述气体感应层远离所述绝缘基板一侧的相对两端形成所述第一电极和所述第二电极。 5.如权利要求2或3所述的方法,其特征在于,在绝缘基板上形成第一电极和第二电极,以及气体感应层,包括: 在所述绝缘基板上的相对两端形成所述第一电极和所述第二电极; 采用旋涂方式将所述气体感应材料涂覆在所述第一电极和所述第二电极所在层上形成所述气体感应层。 6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括: 将所述气敏传感器置于酸性液体中,以对所述气敏传感器的灵敏度进行检测; 去除所述气敏传感器携带的酸性溶液。 7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述酸性溶液的PH值位于[0.8,1.2]范围内。 8.一种气敏传感器,其特征在于,包括: 绝缘基板; 气体感应层,设置在所述绝缘基板上,其中,所述气体感应层由具有多个孔洞结构的气体感应材料形成,所述气体感应材料为PVDF和PAN的聚合物; 第一电极和第二电极,所述第一电极和所述第二电极位于所述气体感应层的同一侧的相对两端。 9.如权利要求8所述的气敏传感器,其特征在于,所述第一电极和所述第二电极位于所述气体感应层远离所述绝缘基板的一侧;或, 所述第一电极和所述第二电极位于所述气体感应层靠近所述绝缘基板的一侧。 10.如权利要求8或9所述的气敏传感器,其特征在于,所述绝缘基板为柔性绝缘基板。 |
所属类别: |
发明专利 |