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玻璃基板支撑平台和玻璃基板宏观检查装置
| 专利名称： | 玻璃基板支撑平台和玻璃基板宏观检查装置 |
| 摘要： | 本公开涉及一种玻璃基板支撑平台和玻璃基板宏观检查装置，其中，玻璃基板支撑平台包括：框架、并排设置在所述框架上的多根横梁、以及连接在所述横梁上的多个吸盘，所述横梁具有与所述吸盘连通的空腔，所述横梁选择性地连接有正压源或负压源。通过上述技术方案，与吸盘连通的横梁可以选择性地连接正压源和负压源。当连接正压源时，吸盘可以向外吹气，支撑平台可以作为气浮平台使用，可以避免玻璃基板的表面被划伤；当连接负压源时，吸盘可以向内吸气，以吸附玻璃基板，可以使玻璃基板稳定地置于平台上。即，本公开提供的玻璃基板支撑平台可以在两种模式之间切换，满足不同的应用场合。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 |
| 发明人： | 刘磊;何森林;邓永松;潘良元;于翔;权永春;宋海涛 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-12-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-06-11T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201811603603.5 |
| 公开号： | CN109870556A |
| 代理机构： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 吴国栋;陈庆超 |
| 分类号： | G01N33/38(2006.01);G;G01;G01N;G01N33 |
| 申请人地址： | 223800 江苏省宿迁市经济开发区金鸡湖路178号 |
| 主权项： | 1.一种玻璃基板支撑平台，其特征在于，包括：框架(1)、并排设置在所述框架(1)上的多根横梁(2)、以及连接在所述横梁(2)上的多个吸盘(3)，所述横梁(2)具有与所述吸盘(3)连通的空腔，所述横梁(2)选择性地连接有正压源或负压源。 2.根据权利要求1所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述横梁(2)的侧壁凸出形成有中空的凸台(21)，所述吸盘(3)包括口部(31)和颈部(32)，所述颈部(32)过盈配合地插入到所述凸台(21)中。 3.根据权利要求2所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述口部(31)的内径大于所述颈部(32)的内径。 4.根据权利要求2所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述颈部(32)的外侧形成有凸起(321)，所述凸起(321)抵顶在所述凸台(21)的端面。 5.根据权利要求2所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述颈部(32)的内径与所述横梁(2)的内径之比为1:6-1:10。 6.根据权利要求1所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述框架(1)构造为矩形架，所述横梁(2)构造为T形梁，所述横梁(2)的两侧搭接在所述框架(1)上。 7.根据权利要求1所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述横梁(2)可拆卸地安装在所述框架(1)上。 8.根据权利要求1所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，多根所述横梁(2)等间隔设置，每根所述横梁(2)上的多个所述吸盘(3)等间隔设置。 9.根据权利要求1-8中任一项所述的玻璃基板支撑平台，其特征在于，所述横梁(2)的两端均设置有气管接头(22)。 10.一种玻璃基板宏观检查装置，包括用于承载玻璃基板(4)的支撑平台，其特征在于，所述支撑平台为根据权利要求1-9中任一项所述的玻璃基板支撑平台。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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