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基于远距离调焦的消像差谐波显微测量方法
| 专利名称： | 基于远距离调焦的消像差谐波显微测量方法 |
| 摘要： | 基于远距离调焦的消像差谐波显微测量方法属于非线性光学显微成像领域；在谐波信号探测模块中，引入参考反射镜，使光路反转，重复利用聚焦物镜，可补偿成像过程中的系统像差。通过轴向移动参考反射镜，实现对谐波信号的重聚焦。飞秒激光器发出的脉冲经整形后由扫描振镜反射，经过转接光学系统后由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发光斑。样品激发出的谐波信号，被探测物镜收集后经过转接系统并由中转物镜聚焦于参考反射镜镜面。反射光对称返回，再次经过中转物镜，由分束器反射后经过窄带滤光片，最后被光电倍增管探测。该方法有效补偿了系统像差，可实现谐波显微成像的大范围、快速轴向扫描，并且样品保持静止，不受调焦干扰。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 黑龙江;23 |
| 申请人： | 哈尔滨工业大学 |
| 发明人： | 王伟波;吴必伟;刘俭;谭久彬 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-01-17T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-06-14T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910044623.1 |
| 公开号： | CN109884050A |
| 分类号： | G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市西大直街92号 |
| 主权项： | 1.基于远距离调焦的消像差谐波显微测量方法，在谐波信号探测模块中，通过引入参考反射镜，使信号光路对称反转，再一次反向通过聚焦物镜，可有效补偿成像过程中的系统像差。通过轴向移动参考反射镜，实现对谐波信号的远距离调焦。飞秒激光器发出的脉冲经整形后由扫描振镜反射，经过转接光学系统后由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发光斑。样品激发出的谐波信号，被探测物镜收集后经过转接系统并由中转物镜聚焦于参考反射镜镜面。反射光对称返回，再次经过中转物镜，由分束器反射后经过窄带滤光片，最后被光电倍增管探测。其特征在于在谐波信号探测模块引入参考反射镜使谐波信号光路对称原路返回，从而补偿系统像差。 2.根据权利要求书1所述的基于远距离调焦的消像差谐波显微测量方法，其特征在于通过轴向移动参考反射镜来实现谐波信号的远距离调焦。 3.根据权利要求书1所述的基于远距离调焦的消像差谐波显微测量方法，其特征在于用轻便的参考反射镜做轴向运动代替物镜的轴向运动，而样品保持静止，从而提高轴向扫描速度的扫描范围。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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