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原文传递一种引线键合工艺可靠性监测方法

专利名称：	一种引线键合工艺可靠性监测方法
摘要：	本发明公开了一种引线键合工艺可靠性监测方法，属于精密焊接技术领域，利用基于力传感器的检测模块，监测引线键合工艺关键参数，评价键合可靠性。基于定期监测与数据分析，形成一种引线键合的参数监测与可靠性保障方法。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	四川立泰电子有限公司
发明人：	任万春;蔡少峰;李科;陈凤甫;李力;邓波;邓云刚
专利状态：	有效
申请日期：	2019-02-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-18T00:00:00+0800
申请号：	CN201910141627.1
公开号：	CN109900634A
代理机构：	成都天嘉专利事务所(普通合伙)
代理人：	蒋斯琪
分类号：	G01N19/04(2006.01);G;G01;G01N;G01N19
申请人地址：	629000 四川省遂宁市经济技术开发区电子工业园A区
主权项：	1.一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，取用于测取金属线（3）与被键合面之间压力与拉力的微型力传感器（1），在微型力传感器（1）的工作面上沉淀出呈阶梯状的两层薄膜材料层（2），且其中一层薄膜材料层（2）与芯片上的pad材料相同，另一层薄膜材料与引线框架的材料相同；步骤二，采用待检测的引线键合工艺，以金属线（3）作为引线在微型力传感器（1）的工作面上将两层薄膜材料层（2）进行键合，并记录引线键合工艺过程中产生的压力和/或拉力数据参数；步骤三，分别对两层薄膜材料层（2）上的引线键合点施加持续的压力和/或拉力进行测试，记录传感器检测到的引线键合点的压力和/或拉力变化参数数据，根据参数数据进行分析评价。 2.如权利要求1所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述微型力传感器（1）是压电式、压阻式或应变式力传感器中的一种。 3.如权利要求1所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述两层薄膜材料层（2），其材料为铝、铜、钨、钛、金的单质、合金或化合物中的一种或者多种。 4.如权利要求1所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述两层薄膜材料层（2）是通过溅射、蒸镀、电镀中的一种或者多种工艺沉积在微型力传感器（1）的工作面上、并通过图形化工艺加工成两层呈阶梯状的膜材料层。 5.如权利要求1或4所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述两层薄膜材料层（2）之间通过黏附层贴合在一起。 6.如权利要求1所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述步骤二中，压力和/或拉力数据参数包括施加在引线键合点的压应力、拉应力及其作用时间。 7.如权利要求1所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述步骤三中，压力和/或拉力变化参数数据包括施加在引线键合点的压应力、拉应力及其作用时间，还包括引线键合点在持续的压力和/或拉力下处于被破坏的临界点时的压力和/或拉力值。 8.如权利要求7所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述步骤三中，根据参数数据进行分析评价，分析的方法包括历史数据对比、数据挖掘和数据学习；评价方法包括预警推送、趋势分析和工艺漂移预防。
所属类别：	发明专利