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原文传递一种划片机龙门切削双刀具机构

专利名称：	一种划片机龙门切削双刀具机构
摘要：	本发明公开了一种划片机龙门切削双刀具机构，包括：两组砂轮组件，由刀片和空气主轴组成，用于晶圆片的切割加工，安装于划片机的机架上；金属工作盘，位于砂轮组件的下前方，用于放置工件；W轴DD马达，用于工件的角度位置调整，便于后续工序的加工；Y轴电机，用于刀具Y轴的进给；控制系统，控制双刀具的同步运动，以及工作盘的进给运动、Z轴的下降运动和W轴的旋转运动等；本发明解决了晶圆片划片加工中的加工效率较低的问题，有益于划片机的广泛应用。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	东华大学
发明人：	刘涛;周虎;周强;苏炳望;游政
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-21T00:00:00+0800
申请号：	CN201910166356.5
公开号：	CN109910188A
代理机构：	上海泰能知识产权代理事务所
代理人：	宋缨;孙健
分类号：	B28D5/02(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	201620 上海市松江区松江新城人民北路2999号
主权项：	1.一种划片机龙门切削双刀具机构,其特征在于,包括: 机架组件，包括金属板(2)和底座(18)，用于安装其他组件；进给组件，包括Y轴进给系统，Z轴升降系统和W轴旋转系统，用于实现刀具的Y轴进给和Z轴升降，以及工件的W轴旋转,安装于所述机架组件上；两组切割组件，用于切割工件,安装于所述进给组件上；控制系统，控制双刀具的进给、下降、切割、W轴的转动及两个刀具之间的同步运动。 2.如权利要求1所述的划片机龙门切削双刀具机构，其特征在于，所述Y轴进给系统包括Y轴进给电机(1)、齿形联轴器Ⅰ(9)、齿形联轴器Ⅱ(7)、Y轴滚珠丝杆Ⅰ(10)和Y轴滚珠丝杆Ⅱ(8)，所述Y轴进给电机(1)分别与所述齿形联轴器Ⅰ(9)和所述齿形联轴器Ⅱ(7)相配合，两个齿形联轴器分别与所述Y轴滚珠丝杆Ⅰ(10)和所述Y轴滚珠丝杆Ⅱ(8)相连接；Z轴升降系统包括Z轴升降电机(17)、Z轴联轴器(16)与Z轴丝杆(15)，所述Z轴升降电机(17)通过所述Z轴联轴器(16)与所述Z轴丝杆(15)连接，实现Z轴的升降运动；W轴旋转系统包括两个DD马达(19)和与之连接的工作盘Ⅰ(6)、工作盘Ⅱ(14)，所述W轴DD马达(19)实现工作盘W轴的转动。 3.如权利要求2所述的划片机龙门切削双刀具机构，其特征在于,所述工作盘Ⅰ(6)和所述工作盘Ⅱ(14)为金属材质。 4.如权利要求1所述的划片机龙门切削双刀具机构，其特征在于，所述切割组件包括空气主轴Ⅰ(3)、空气主轴Ⅱ(11)、刀具Ⅰ(4)和刀具Ⅱ(13)，所述空气主轴Ⅰ(3)和所述刀具Ⅰ(4)固定连接，所述空气主轴Ⅱ(11)和所述刀具Ⅱ(13)固定连接。 5.如权利要求4所述的划片机龙门切削双刀具机构，其特征在于,所述空气主轴Ⅰ(3)和所述刀具Ⅰ(4)通过锁紧螺母Ⅰ(5)连接，所述空气主轴Ⅱ(11)所述刀具Ⅱ(13)通过锁紧螺母Ⅱ(12)连接。 6.如权利要求1所述的新型划片机龙门切削双刀具机构，其特征在于，Y轴进给系统装有光栅尺(20)。 7.如权利要求1所述的一种新型的划片机龙门切削双刀具机构，其特征在于,两根空气主轴之间的距离根据所述工作盘Ⅰ(6)和所述工作盘Ⅱ(14)的大小决定。
所属类别：	发明专利