专利名称: |
激光剥蚀-大气压辉光放电原子发射光谱装置 |
摘要: |
本发明的激光剥蚀‑大气压辉光放电原子发射光谱装置,包括:激光剥蚀进样系统、大气压辉光放电原子发射光谱系统以及联用仪器接口部分;所述激光剥蚀系统将待测固体样品剥蚀成气溶胶颗粒;所述联用仪器接口部分将所述激光剥蚀进样系统产生的气溶胶颗粒引入到所述大气压辉光放电原子发射光谱系统;所述大气压辉光放电原子发射光谱系统对进入的气溶胶颗粒进行二次激发并产生特征原子发射光谱。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
上海;31 |
申请人: |
中国科学院上海硅酸盐研究所 |
发明人: |
汪正;葛粉;彭晓旭;李青;俞进;高亮 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2019-03-07T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-06-21T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201910172557.6 |
公开号: |
CN109916881A |
代理机构: |
上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) |
代理人: |
曹芳玲;张力允 |
分类号: |
G01N21/67(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: |
200050 上海市长宁区定西路1295号 |
主权项: |
1.一种激光剥蚀-大气压辉光放电原子发射光谱装置,其特征在于,包括:激光剥蚀进样系统、大气压辉光放电原子发射光谱系统以及联用仪器接口部分;所述激光剥蚀系统将待测固体样品剥蚀成气溶胶颗粒;所述联用仪器接口部分将所述激光剥蚀进样系统产生的气溶胶颗粒引入到所述大气压辉光放电原子发射光谱系统;所述大气压辉光放电原子发射光谱系统对进入的气溶胶颗粒进行二次激发并产生特征原子发射光谱。 2.根据权利要求1所述的激光剥蚀-大气压辉光放电原子发射光谱装置,其特征在于,所述大气压辉光放电原子发射光谱系统包括二次激发源单元、检测单元;所述二次激发源单元是以通入载气的空心不锈钢管为阴极、空心钨管为阳极,阴极联接电源负极,阳极联接稳流电阻后接电源正极,电极和对电极间施加电压后在束流石英玻璃管内产生等离子体进行二次激发;所述检测单元通过熔融石英透镜将光谱引入到光纤耦合的光谱仪进行检测。 3.根据权利要求1所述的激光剥蚀-大气压辉光放电原子发射光谱装置,其特征在于,所述激光剥蚀进样系统包括 Nd:YAG激光装置、控制脉冲次数的快门、进行反射和聚焦的透镜、支持剥蚀池并用于调整所述待测固体样品的空间位置的三维移动平台、将所述激光剥蚀进样系统产生的气溶胶颗粒进行传输的载气、气体流量控制计、控制参数的界面;所述剥蚀池为密封的、有载气入口和出口的剥蚀池;所述载气为氢气和氦气的混合气。 4.根据权利要求3所述的激光剥蚀-大气压辉光放电原子发射光谱装置,其特征在于,所述剥蚀池对红外激光的透过率高达98%,进气口与出气口同轴,用于承载样品、传输剥蚀气溶胶颗粒。 5.根据权利要求3或4所述激光剥蚀-大气压辉光放电原子发射光谱装置,其特征在于,所述剥蚀池为有机玻璃材质,出气口通过软管连接到所述大气压辉光放电原子发射光谱装置的空心阴极不锈钢管,以传输气溶胶颗粒。 |
所属类别: |
发明专利 |