详情

原文传递可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台

专利名称：	可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台
摘要：	本发明公开了一种可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，包含通用系统和专用系统两大部分，其中通用系统包括位移与对准系统、监测系统和控制系统，专用系统包括印章和驱动系统；其中，位移与对准系统用来实现印章‑元件‑基底的对准；监测系统包括力学和光学监测系统，力学监测系统用于监测测试或转印过程中印章与元件间作用力；光学监测系统用于实时观测测试或转印过程；驱动系统用于向印章施加载荷以调控印章与元件之间的粘附作用；控制系统用于控制位移与对准系统、监测系统及驱动系统。该平台可完成转印印章粘附测试表征实验，兼具自动化转印功能。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	浙江大学
发明人：	俞凯鑫;令狐昌鸿;吴佳明;曾寅家;宋吉舟;李城隆;朱昊东
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-21T00:00:00+0800
申请号：	CN201910277723.9
公开号：	CN109916903A
代理机构：	杭州求是专利事务所有限公司
代理人：	万尾甜;韩介梅
分类号：	G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
主权项：	1.一种可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，其特征在于，包含通用系统和专用系统两大部分，其中通用系统包括位移与对准系统、监测系统和控制系统，专用系统包括印章和驱动系统；位移与对准系统包括标准阻尼隔振光学平台(16)和安装于该平台上的龙门架(1)，在标准阻尼隔振光学平台(16)上安装有x轴、y轴高精密电动平移台用于平面位置对准,在x轴、y轴高精密电动平移台上，从下至上依次安装有手动升降台(14)、精密电动旋转台(8)和二维倾斜台(13)，在龙门架(1)上安装有z轴高精密电动升降台(4)；监测系统包括光学监测系统和力学监测系统，光学监测系统用于实时观测测试或转印过程，力学监测系统主要由力传感器(12)组成，用于监测测试或转印过程中力学信号的变化；驱动系统用于向印章施加载荷以调控印章与元件之间的粘附作用；控制系统用于控制位移与对准系统、监测系统及驱动系统。 2.根据权利要求1所述的可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，其特征在于，所述的光学监测系统包括工业相机(5)、显微镜(6)、万象支架(15)，万象支架(15)固定于标准阻尼隔振光学平台(16)上，工业相机(5)与显微镜(6)安装于万象支架(15)上。 3.根据权利要求2所述的可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，其特征在于，当驱动系统为激光器(11)时，所述的光学监测系统还包括观测光路，观测光路通过一块二向色镜(19)实现，二向色镜(19)与入射激光呈45°设置，用于同时实现激光载荷的施加与显微观测的功能。 4.根据权利要求1所述的可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，其特征在于，所述的位移与对准系统中x轴、y轴高精密电动平移台(9、10)的位移精度小于5um。 5.根据权利要求1所述的可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，其特征在于，所述的位移与对准系统中z轴高精密电动升降台(4)位移精度小于3um。 6.根据权利要求1所述的可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，其特征在于，该平台用于测试表征时，可进行拉开实验与剥离实验；拉开实验适用于块体状印章样品与压头的粘附测试，测试时，将压头固定于z轴高精密电动升降台(4)，力传感器(12)与压头相连，块体状印章样品固定于二维倾斜台(13)上；控制压头压入样品后形成样品/压头界面再拔出压头，并实时记录作用力，拉开界面所需要的作用力除以界面面积即可得到界面粘附强度；剥离实验适用于条带状印章样品与测试基底的粘附测试，测试前，首先将样品贴在测试基底表面，样品一端夹持在z轴高精密电动升降台(4)的夹具上，夹具与力传感器(12)相连，夹持部分与测试基底保持90度；测试时，z轴高精密电动升降台(4)以固定速度带动夹具剥离样品，y轴高精密电动平移台(10)以同样速度沿着剥离方向移动，保证剥离部分和测试基底保持90度夹角，记录剥离过程中作用力的大小，得到稳定剥离阶段拉力值，该拉力除以条带状印章样品的宽度便得到了样品与测试基底之间的能量释放率。 7.根据权利要求1所述的可延展柔性集成器件转印技术测试表征和转印自动化平台，其特征在于，该平台用于自动化转印过程，将力传感器(12)安装于二维倾斜台(13)上，在力传感器(12)上固定基底；将印章通过夹具固定于z轴高精密电动升降台(4)上，通过控制系统控制位移与对准系统的运动，并通过驱动系统在印章上特定的位置施加驱动载荷，调节印章粘附变化实现印刷。
所属类别：	发明专利