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原文传递一种靶材箱

专利名称：	一种靶材箱
摘要：	本实用新型实施例提供了一种靶材箱，该靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。本实用新型实施例提供的靶材箱，能够解决在运输过程中因真空薄膜破裂而造成靶材被氧化的问题。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	米亚索乐装备集成(福建)有限公司
发明人：	马国秦
专利状态：	有效
申请日期：	2018-08-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-25T00:00:00+0800
申请号：	CN201821329095.1
公开号：	CN209023478U
代理机构：	北京银龙知识产权代理有限公司
代理人：	许静;黄灿
分类号：	B65D81/20(2006.01);B;B65;B65D;B65D81
申请人地址：	362000 福建省泉州市鲤城区高新区紫山路42号
主权项：	1.一种靶材箱，其特征在于，所述靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。 2.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还设置有透明的视窗，所述视窗用于观察所述靶材箱内的靶材。 3.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还开设有第二气孔，用于向呈真空状态的所述靶材箱内通入气体，以便于打开所述靶材箱。 4.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还设置有压力表，所述压力表用于指示所述靶材箱内的真空压力。 5.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还穿设有可转动的螺丝杆，所述螺丝杆伸入所述靶材箱内的一端设置有弹性块，所述螺丝杆转动时带动所述弹性块在所述靶材箱内移动，以使弹性块能够对所述靶材箱内的靶材进行固定。 6.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体的底部还设置有至少四个转动轮。 7.根据权利要求6所述的靶材箱，其特征在于，所述箱盖的顶部还设置有与所述至少四个转动轮一一匹配的至少四个凹槽，其中，在多个靶材箱叠放时，上方的靶材箱的转动轮卡设于下方的靶材箱的凹槽内。 8.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述靶材箱还包括：设置于所述箱体和/或箱盖上的拉手。 9.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体和所述箱盖通过转轴转动连接。 10.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体和所述箱体上分别设置有匹配的锁止结构。
所属类别：	实用新型