专利名称: |
一种专用于12寸金属提篮运送的推车 |
摘要: |
本实用新型公开了一种专用于12寸金属提篮运送的推车,它涉及半导体晶圆运输技术领域。该专用于12寸金属提篮运送的推车,包括推车本体,所述推车本体包括车架,所述车架底部四角处安装有减震万向轮,所述车架的一侧安装有把手,所述车架内至少设有两层以上的置物台面,所述置物台面上设置有用于安放12寸金属提篮的固定卡位装置。本实用新型通过固定卡位装置对12寸金属提篮进行有效地固定,避免在推运过程中12寸金属提篮产生巨大晃动;另外,利用支撑垫板与挡板使得12寸金属提篮两端形成高度差,产生5°斜角,使得晶圆硅片在提篮内向一边靠拢,防止其左右晃动;本实用新型可以保持金属提篮平稳搬运,有效避免了晶圆硅片品质产生异常风险。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
安徽;34 |
申请人: |
合肥新汇成微电子有限公司 |
发明人: |
朱军;屈军亮;龚胜利 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-10-22T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-06-28T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201821718690.4 |
公开号: |
CN209037631U |
分类号: |
B62B3/04(2006.01);B;B62;B62B;B62B3 |
申请人地址: |
230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内 |
主权项: |
1.一种专用于12寸金属提篮运送的推车,包括推车本体,其特征在于:所述推车本体包括车架,所述车架底部四角处安装有减震万向轮,所述车架的一侧安装有把手,所述车架内至少设有两层以上的置物台面,所述置物台面上设置有用于安放12寸金属提篮的固定卡位装置。 2.根据权利要求1所述的专用于12寸金属提篮运送的推车,其特征在于:所述固定卡位装置包括支撑垫板、挡板组件、第一夹板、第二夹板和顶紧组件,所述挡板组件包括挡板和第一凸舌,所述挡板与支撑垫板相互平行间隔固定安装在置物台面上,所述支撑垫板高度大于所述挡板高度,所述12寸金属提篮一端抵住所述挡板,另一端靠在所述支撑垫板上,所述12寸金属提篮与所述置物台面形成倾斜夹角α,夹角α为5°,所述挡板朝向支撑垫板方向的侧面的一端部水平垂直固定粘接第一凸舌,所述第一凸舌不与置物台面接触,所述挡板朝向支撑垫板方向的侧面的另一端部水平垂直对接第一夹板,所述第一夹板固定安装在置物台面上;所述第二夹板包括定板、动板和第二凸舌,所述定板固定安装在置物台面上且与所述第一夹板间隔平行,所述定板与第一夹板之间的水平距离与所述12寸金属提篮宽度相同,所述12寸金属提篮在倾斜放置时不与所述定板接触,所述定板朝向挡板方向的端面水平垂直固定粘接第二凸舌,第二凸舌为长方体结构,第二凸舌的长边与所述定板的端面相互平行且水平尺寸一致,所述第一凸舌与第二凸舌相对间隔设置且两者形状尺寸一致,所述动板横截面为上下尺寸一致的工字形结构,所述动板与第一凸舌和第二凸舌左右间隙卡接在一起,所述顶紧组件固设在所述第一凸舌一侧的挡板端面,所述顶紧组件能够推动所述动板沿着第一凸舌和第二凸舌向所述第一夹板方向移动。 3.根据权利要求2所述的专用于12寸金属提篮运送的推车,其特征在于:所述顶紧组件包括螺母架、螺柱、门形螺母架、顶片和连接片,所述螺母架安装在所述第一凸舌一侧的挡板端面且与所述挡板相互垂直,所述门形螺母架两端分别通过连接片垂直固定安装在所述动板端面,所述顶片固定安装在两个连接片之间的所述动板端面中部,所述螺柱依次垂直穿过所述螺母架与所述门形螺母架且螺柱末端指向所述顶片,所述螺柱与所述螺母架和所述门形螺母架均通过螺纹连接。 4.根据权利要求2所述的专用于12寸金属提篮运送的推车,其特征在于:所述置物台面和支撑垫板上均粘接有皮革垫层。 5.根据权利要求2所述的专用于12寸金属提篮运送的推车,其特征在于:所述第一夹板和定板均不与所述支撑垫板接触。 6.根据权利要求3所述的专用于12寸金属提篮运送的推车,其特征在于:所述支撑垫板、挡板组件、第一夹板、第二夹板和顶紧组件均采用PP材料制成。 7.根据权利要求6所述的专用于12寸金属提篮运送的推车,其特征在于:所述支撑垫板、挡板、第一夹板和定板均通过螺钉固定在所述置物台面上;所述顶片和连接片均通过螺钉与所述动板固定连接。 |
所属类别: |
实用新型 |