专利名称: |
去除高纯度惰性气体中水分的净化装置、系统 |
摘要: |
本实用新型公开了去除高纯度惰性气体中水分的净化装置、系统,包括:氧化锆陶瓷管,所述氧化锆陶瓷管的内外表面分别设有电极,其中一个电极为正电极,另一个电极为负电极;氧化锆陶瓷管在设定的温度下且所述正电极及负电极通电形成电势差,将通过氧化锆陶瓷管的高纯度惰性气体中的水分子去除。本实用新型去除高纯度惰性气体中水分的净化装置,可同时清除水分子和氧分子,净化过程中净化装置本身无损耗,净化能力稳定,可长期工作不需要做任何维护工作。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
山东;37 |
申请人: |
济南兰光机电技术有限公司 |
发明人: |
姜允中 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-08-02T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-07-02T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201821243905.1 |
公开号: |
CN209055392U |
代理机构: |
济南圣达知识产权代理有限公司 |
代理人: |
张勇 |
分类号: |
G01N1/34(2006.01);G;G01;G01N;G01N1 |
申请人地址: |
250031 山东省济南市天桥区无影山路144号 |
主权项: |
1.去除高纯度惰性气体中水分的净化装置,其特征是,包括:氧化锆陶瓷管,所述氧化锆陶瓷管的内外表面分别设有电极,其中一个电极为正电极,另一个电极为负电极; 所述氧化锆陶瓷管在设定的温度下且所述正电极及负电极通电形成电势差,将通过氧化锆陶瓷管的高纯度惰性气体中的水分子去除。 2.如权利要求1所述的去除高纯度惰性气体中水分的净化装置,其特征是,所述去除高纯度惰性气体中水分的净化装置还能去除通过氧化锆陶瓷管的高纯度惰性气体中的氧分子。 3.如权利要求1所述的去除高纯度惰性气体中水分的净化装置,其特征是,所述氧化锆陶瓷管的内外表面分别设置有作为电极的涂层,其中内表面通负电极,外表面通正电极。 4.如权利要求1所述的去除高纯度惰性气体中水分的净化装置,其特征是,所述氧化锆陶瓷管内外表面的涂层均为铂金电极涂层。 5.如权利要求1所述的去除高纯度惰性气体中水分的净化装置,其特征是,所述高纯度惰性气体为氮气或氦气。 6.去除高纯度惰性气体中水分的净化系统,其特征是,包括权利要求1-5任一所述去除高纯度惰性气体中水分的净化装置,还包括加热控温系统,所述加热控温系统用于加热氧化锆陶瓷管,使其处于设定的温度。 |
所属类别: |
实用新型 |