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原文传递感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备及其调配方法

专利名称：	感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备及其调配方法
摘要：	本发明涉及一种感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备及其调配方法,其包含有一氨气供应端及一氦气供应端与一反应气体供应设备所构成，该反应气体供应设备与氨气供应端及该氦气供应端，并且该反应气体供应设备设有调整氨气及氦气流量的氨气质量流量计、氦气质量流量计；藉由感应藕合电浆质谱仪指定的反应气体比例调整前述的氨气质量流量计、氦气质量流量计，让氨气与氦气混合后形成反应气体，再将反应气体提供给感应藕合电浆质谱仪；透过本发明的技术手段可以达到保护检测仪器、降低反应气体成本等多项优点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	咏馥企业股份有限公司
发明人：	陈韦帆
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-09T00:00:00+0800
申请号：	CN201910027201.3
公开号：	CN109991305A
代理机构：	江苏圣典律师事务所
代理人：	邓丽
分类号：	G01N27/62(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	中国台湾台中市大雅区神林南路292巷6号4楼
主权项：	1.一种感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备，其特征在于：包含有：一氨气供应端，其可提供氨气；一氦气供应端，其可提供氦气；一反应气体供应设备，其分别与该氨气供应端、氦气供应端相连接，并且该反应气体供应设备设有一输出端，其与感应藕合电浆质谱仪连接，该反应气体供应设备包含有一氨气管路及一氦气管路；前述的氨气管路上更包含有一第一氨气调压阀、一氨气质量流量计及一第二氨气调压阀；前述的氦气管路上更包含有一第一氦气调压阀、一氦气质量流量计及一第二氦气调压阀；该氨气管路相对该氨气供应端一侧、该氦气管路相对该氦气供应端一侧上拉一混合管路，该混合管路与该氨气管路、该氦气管路连接；该混合管路与该输出端相接将反应气体供应给该感应藕合电浆质谱仪。 2.一种感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备的调配方式，其特征在于：包括如下步骤：步骤一：将氨气供应端与氦气供应端开启，使氨气与氦气流入该氨气管路及该氦气管路；步骤二：调整第一氨气调压阀、第二氨气调压阀、第一氦气调压阀、第二氦气调压阀为10~20psi，在此状态下连接的混合管路的管内压力也会保持在10~20psi；步骤三：调整氨气质量流量计的供应参数为0.1L/min、氦气质量流量计的供应参数为0.9 L/min；藉此，氨气与氦气透过10~20psi的压力状态下充分混合形成供该感应藕合电浆质谱仪使用的反应气体。 3.根据权利要求1所述的感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备，其特征在于：所述的氨气管路与前述的混合管路、前述的氦气管路与前述的混合管路之间，分别设置有一防止气体回流的单向阀。 4.根据权利要求1所述的感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备，其特征在于：所述的氨气管路、混合管路及输出端上接设一加热模组进行加热，前述的加热模组是于管路上缠绕多个金属加热带。 5.根据权利要求4所述的感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备，其特征在于：所述的加热模组将金属加热带到升温至摄氏70~80℃的范围，预防管路混入水汽形成氨水的情况发生。 6.根据权利要求1所述的感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备，其特征在于：所述的混合管路更连接到一气体储存单元。 7.根据权利要求1所述的感应藕合电浆质谱仪的反应气体供应设备，其特征在于：所述的氨气供应端与氨气管路之间设有一氨气压力表，氦气供应端与该氦气供应管路之间设有一氦气压力表，由该氨气压力表、该氦气压力表快速调整氨气管路、氦气管路的管路压力。
所属类别：	发明专利