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原文传递一种硅片自分片传送定位系统

专利名称：	一种硅片自分片传送定位系统
摘要：	本实用新型提供一种硅片自分片传送定位系统，包括安装架、上料提升机构、分片机构、传输机构及自定心机构，上料提升机构设置于安装架上，上料提升机构用于带动内部堆叠放置有若干硅片的片盒向上移动；分片机构设置于所述上料提升机构的后侧；传输机构设置于所述分片机构的后方；自定心机构设置于传输机构一端的上方；通过设置上料提升机构并在硅片承载台上形成硅片堆叠区，若干硅片自然堆叠在硅片堆叠区内并自下而上进行移动至分片机构下方，分片机构与硅片进行接触实现硅片的自动分片，同时由传输机构逐一连续式传输至自定心处实现自定心，解决了现有技术中采用手工放片的方式，工作效率较低，在人力和物力上浪费大的技术问题。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	浙江中晶新材料研究有限公司
发明人：	万喜增;严云;黄笑容;郑六奎
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-01T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201821788014.4
公开号：	CN209097769U
代理机构：	北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人：	韩燕燕
分类号：	B65G59/06(2006.01);B;B65;B65G;B65G59
申请人地址：	313100 浙江省湖州市长兴县太湖街道陆汇路59号
主权项：	1.一种硅片自分片传送定位系统，包括安装架(1)，其特征在于，还包括：上料提升机构(2)，所述上料提升机构(2)设置于所述安装架(1)上，该上料提升机构(2)用于带动内部堆叠放置有若干硅片(10)的片盒(28)向上移动；分片机构(3)，所述分片机构(3)设置于所述上料提升机构(2)的后侧；传输机构(4)，所述传输机构(4)设置于所述分片机构(3)的后方，位于片盒(28)最上方的硅片(10)经分片机构(3)通过接触摩擦传动方式将其自动传送至传输机构(4)上；以及自定心机构(5)，所述自定心机构(5)设置于所述传输机构(4)一端的上方，硅片(10)由传输机构(4)以滚动传送方式将其转移至自定心机构(5)处实现该硅片(10)的自定心调整、定位。 2.根据权利要求1所述的一种硅片自分片传送定位系统，其特征在于，所述上料提升机构(2)包括固定安装于设备机架上的硅片升降模组(23)及滑动设置于所述硅片升降模组(23)上的上料支架(25)，所述片盒(28)安装于所述上料支架(25)上，所述片盒(28)下方设置有光敏传感器(271)，所述光敏传感器(271)的上方设置有硅片堆叠区(21)。 3.根据权利要求2所述的一种硅片自分片传送定位系统，其特征在于，所述上料支架(25)于所述分片机构(3)进行所述硅片(10)的分片过程中实现同步向上提升。 4.根据权利要求2所述的一种硅片自分片传送定位系统，其特征在于，所述分片机构(3)的一端位于所述硅片堆叠区(21)内，且位于所述硅片堆叠区(21)顶端的硅片(10)始终与所述分片机构(3)的一端接触设置。 5.根据权利要求2所述的一种硅片自分片传送定位系统，其特征在于，所述分片机构(3)的一端位于所述片盒(28)内的上方，该分片机构(3)包括：分片驱动组件(31)，所述分片驱动组件(31)设置于所述硅片堆叠区(21)的上方；分片传输组件(32)，所述分片传输组件(32)设置于所述硅片堆叠区(21)的上方，且该分片传输组件(32)的一端位于所述片盒(28)内，该分片传输组件(32)上设置有若干转动设置的硅胶管(37)，若干硅胶管(37)与位于片盒(28)顶端的硅片(10)相切接触设置；接近开关(39)，所述接近开关(39)安装于所述分片传输组件(32)上，且该接近开关(39)位于所述硅片堆叠区(21)的上方，该接近开关(39)用于控制分片驱动组件(31)的转动和停止。 6.根据权利要求3所述的一种硅片自分片传送定位系统，其特征在于，所述传输机构(4)设置于所述分片机构(3)的后侧，且该传输机构(4)的一端位于所述分片机构(3)一侧的下方，该传输机构(4)包括：传输驱动组件(41)；若干传输硅胶管(46)，若干传输硅胶管(46)由传输驱动组件(41)驱动下进行转动，将由分片传输组件(32)单片分片的硅片(10)进行继续向后传输，该传输硅胶管(46)与硅胶管(37)之间形成硅片传输通道(461)；传输接近传感器(48)，所述传输接近传感器(48)位于若干传输硅胶管(46)传输方向的一端上，该传输接近传感器(48)控制传输驱动组件(41)的转动和停止，且该传输接近传感器(48)控制自定心机构(5)进行硅片(10)的定心；所述传输机构(4)靠近所述上料提升机构(2)的一端上还固定设置有挡板(49)，该挡板(49)与所述片盒(28)一端接触设置，位于片盒(28)内的堆叠设置的硅片(10)与挡板(49)抵触设置。 7.根据权利要求4所述的一种硅片自分片传送定位系统，其特征在于，所述自定心机构(5)设置于所述传输机构(4)传输方向一端的上方，该自定心机构(5)与传输机构(4)之间形成定心区(51)，该自定心机构(5)包括：双螺杆定位组件(52)，所述双螺杆定位组件(52)对称设置于所述定心区(51)宽度方向的两端上，该双螺杆定位组件(52)进行相向移动将位于定心区(51)内的单片硅片(10)实现自定心；尺寸调节组件(59)，所述尺寸调节组件(59)设置于所述定心区(51)的沿硅片(10)传输方向的后端，该尺寸调节组件(59)位于所述双螺杆定位组件(52)之间，该尺寸调节组件(59)可根据硅片(10)的尺寸进行工作前的尺寸调节。 8.根据权利要求6所述的一种硅片自分片传送定位系统，其特征在于，所述传输机构(4)还包括精密位移平台(40)，该精密位移平台(40)设置于所述传输驱动组件(41)的上方。 9.根据权利要求6所述的一种硅片自分片传送定位系统，其特征在于，所述硅片升降模组(23)包括：升降驱动件(231)，所述升降驱动件(231)固定设置于所述安装架(1)上；升降区(232)，所述升降区(232)设置于所述升降驱动件(231)的下方，该升降区(232)的上下两端上分别设置有限位开关；升降丝杠(233)，所述升降丝杠(233)转动安装于所述升降区(232)内；导向杆(234)，所述导向杆(234)固定安装于所述升降区(232)内，且该导向杆(234)数量为两组且对称设置于所述升降丝杠(233)的两端。 10.根据权利要求4所述的一种硅片自分片传送定位系统，其特征在于，所述片盒(28)的底部开设有U形槽(281)，该U形槽(281)与所述光敏传感器(271)配合设置。
所属类别：	实用新型