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原文传递一种硅片自动分片送料装置

专利名称：	一种硅片自动分片送料装置
摘要：	本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片自动分片送料装置，包括硅片升降机构、硅片承载机构、发片卷轮机构及硅片传送机构，硅片升降机构和硅片承载机构通过滑块连接，实现硅片承载机构可在竖直方向上做往复运动，硅片在硅片承载机构上升的过程中进行补料，同时在硅片承载机构正上方设置发片卷轮机构将单片硅片分离出来，并在发片卷轮机构的输出端设置硅片传送机构对分片后的硅片进行传送，实现硅片的自动分片及送料，全过程自动化操作，设备结构紧凑，操作过程连贯顺畅，稳定性好，解决了现有技术中的操作麻烦、稳定性差、耗时长、结构复杂等技术问题。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	浙江中晶新材料研究有限公司
发明人：	万喜增;严云;黄笑容;郑六奎
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-01T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201821788003.6
公开号：	CN209097765U
代理机构：	北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人：	韩燕燕
分类号：	B65G59/02(2006.01);B;B65;B65G;B65G59
申请人地址：	313100 浙江省湖州市长兴县太湖街道陆汇路59号
主权项：	1.一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，包括：机架(1)，所述机架(1)包括支板(11)及升降区(12)，所述升降区(12)设置于所述支板(11)的一侧；硅片升降机构(2)，所述硅片升降机构(2)竖直设置于所述升降区(12)上，其与所述支板(11)可拆卸连接，其上设置有沿所述硅片升降机构(2)竖直方向往复滑动设置的滑块(20)；硅片承载机构(3)，所述硅片承载机构(3)设置于所述硅片升降机构(2)背离所述机架(1)的一侧，其与所述滑块(20)固定连接，且其由所述硅片升降机构(2)带动沿竖直方向往复升降设置，该硅片承载机构(3)上承载设置有堆叠设置的硅片(30)；发片卷轮机构(4)，所述发片卷轮机构(4)安装设置于所述硅片承载机构(3)的顶部，其与所述支板(11)可拆卸连接，且其与所述硅片承载机构(3)上堆叠设置的硅片(30)抵触设置，该发片卷轮机构(4)驱动所述硅片(30)逐一水平分片；以及硅片传送机构(5)，所述硅片传送机构(5)设置于所述发片卷轮机构(4)的底部，其与所述支板(11)可拆卸连接，其输入端设置于所述发片卷轮机构(4)的输出端处，该硅片传送机构(5)驱动所述硅片(30)逐一水平输送。 2.根据权利要求1所述的一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，所述硅片升降机构(2)包括：支撑座(21)，所述支撑座(21)与所述支板(11)可拆卸连接；驱动件a(22)，所述驱动件a(22)设置于所述支撑座(21)的顶部，其底部固定连接有驱动轴(221)，所述驱动轴(221)贯穿所述支撑座(21)设置；升降组件(23)，所述升降组件(23)从所述支撑座(21)的顶部延伸至所述支撑座(21)的底部，其上滑动设置有所述滑块(20)。 3.根据权利要求2所述的一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，所述升降组件(23)包括：滚珠丝杠(231)，所述滚珠丝杠(231)的顶部与所述驱动轴(221)同轴连接设置，其底部转动设置于所述支撑座(21)上；支撑杆(232)，所述支撑杆(232)对称设置于所述滚珠丝杠(231)与所述支板(11)平行的两侧，且其与所述支撑座(21)固定连接；所述滑块(20)套设于所述滚珠丝杠(231)与所述支撑杆(232)上，其由所述滚珠丝杠(231)旋转带动往复滑动。 4.根据权利要求1所述的一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，所述硅片承载机构(3)包括：底座(31)，所述底座(31)一侧与所述滑块(20)固定连接，其上设置有的通孔a(311)；挡板(32)，所述挡板(32)竖直设置于所述底座(31)上正对所述硅片传送机构(5)的一侧，且其与所述支板(11)垂直设置；硅片盒(33)，所述硅片盒(33)抵触设置于所述底座(31)上，其一侧面为开口设置并抵靠在所述挡板(32)上，形成硅片放置区(331)，其顶部设置有所述硅片(30)的出料口(332)，且该硅片盒(33)平行于所述发片卷轮机构(4)传输方向的两侧顶部分别开设有直槽口(333)，其底部正对所述挡板(32)的一侧设置有U型槽口(334)；限位块(34)，所述限位块(34)为L型,其与所述硅片盒(33)底部背向所述挡板(32)两侧的直角处卡和，其上设置有与所述通孔a(311)相匹配的通孔b(341)，且其与所述底座(31)通过销钉可拆卸连接，对所述硅片盒(33)进行固定。 5.根据权利要求4所述的一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，所述通孔a(311)为多组设置，且其分别与所述硅片盒(33)的不同尺寸相匹配设置，各组该通孔a(311)分别与所述限位块(34)配合对不同尺寸的所述硅片盒(33)进行限位固定。 6.根据权利要求1所述的一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，所述发片卷轮机构(4)包括：连接板(41)，所述连接板(41)为竖直设置，且其一侧与所述支板(11)垂直可拆卸连接；辊轮组件b(42)，所述辊轮组件b(42)设置于所述硅片承载机构(3)的顶部，其与所述连接板(41)背离所述支板(11)的一侧可拆卸连接；驱动组件b(43)，所述驱动组件b(43)水平设置于所述辊轮组件b(42)上正对所述连接板(41)的一侧。 7.根据权利要求6所述的一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，所述辊轮组件b(42)包括：辊轮b(421)，若干所述辊轮b(421)沿所述发片卷轮机构(4)的输送方向依次排列并转动设置于安装架b(420)上，所述安装架b(420)与所述连接板(41)可拆卸连接，且该辊轮b(421)上设置有橡胶套；第一传动齿轮b(422)，若干所述第一传动齿轮b(422)分别固定设置于若干所述辊轮b(421)的一端，其与所述辊轮b(421)同轴设置；以及第二传动齿轮b(423)，若干所述第二传动齿轮b(423)交错设置于所述第一传动齿轮b(422)之间，其与所述安装架b(420)转动连接，且其与所述第一传动齿轮b(422)啮合连接。 8.根据权利要求7所述的一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，所述驱动组件b(43)包括：驱动件b(431)，所述驱动件b(431)通过支架b(430)设置于所述安装架b(420)上靠近所述第一传动齿轮b(422)的一侧，其驱动轴b(4311)正对所述第一传动齿轮b(422)与所述辊轮b(421)平行设置；主动齿轮b(432)，所述主动齿轮b(432)同轴设置于所述驱动轴b(4311)上；从动齿轮b(433)，所述从动齿轮b(433)设置于所述驱动轴b(4311)下方，其与所述安装架b(420)转动连接，所述从动齿轮b(433)顶部与所述主动齿轮b(432)啮合连接，其一侧与所述第一传动齿轮b(422)啮合连接，所述驱动件b(431)通过主动齿轮b(432)、从动齿轮b(433)、第一传动齿轮b(422)及第二传动齿轮b(423)传动驱动所述辊轮b(421)转动。 9.根据权利要求1所述的一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，所述硅片传送机构(5)包括辊轮组件c(51)，所述辊轮组件c(51)包括：辊轮c(511)，若干所述辊轮c(511)沿所述发片卷轮机构(4)的输送方向依次排列并转动设置于安装架c(510)上；第一传动齿轮c(512)，若干所述第一传动齿轮c(512)分别固定设置于若干所述辊轮c(511)的一端，其与所述辊轮c(511)同轴设置；以及第二传动齿轮c(513)，若干所述第二传动齿轮c(513)交错设置于所述第一传动齿轮c(512)之间，其与所述安装架c(510)转动连接，且其与所述第一传动齿轮c(512)啮合连接。 10.根据权利要求9所述的一种硅片自动分片送料装置，其特征在于，所述硅片传送机构(5)还包括驱动组件c(52)，所述驱动组件c(52)包括：驱动件c(521)，所述驱动件c(521)通过支架c(520)设置于所述安装架c(510)底部一端靠近所述第一传动齿轮c(512)的一侧，其驱动轴c(5211)正对所述第一传动齿轮c(512)与所述辊轮c(511)平行设置；主动齿轮c(522)，所述主动齿轮c(522)同轴设置于所述驱动轴c(5211)上；从动齿轮c(523)，所述从动齿轮c(523)设置于所述驱动轴c(5211)上方，其与所述安装架c(510)转动连接，所述从动齿轮c(523)底部与所述主动齿轮c(522)啮合连接，其一侧与所述第一传动齿轮c(512)啮合连接，所述驱动件c(521)通过主动齿轮c(522)、从动齿轮c(523)、第一传动齿轮c(512)及第二传动齿轮c(513)传动驱动所述辊轮c(511)转动。
所属类别：	实用新型