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原文传递一种泵电流可调的NOx传感器芯片

专利名称：	一种泵电流可调的NOx传感器芯片
摘要：	本实用新型公开了一种泵电流可调的NOx传感器芯片，包括芯片基体，所述芯片基体上从上至下依次设置有保护层、外电极和进气口；芯片基体内从左至右依次设置有第一内泵电极工作腔和第二内泵电极工作腔，第一内泵电极工作腔与进气口连通，且第一内泵电极工作腔内设置有表面覆盖层、扩散障碍层、粘结剂过渡层、第一内泵上电极、第一内泵衔接电极和第一内泵下电极；表面覆盖层覆盖在所述扩散障碍层的上表面上，通过对表面覆盖层进行激光切割加工调整扩散障碍层的尾气进入速度；扩散障碍层的底面与粘结剂过渡层粘接固定。上述技术方案，结构设计合理、结构新颖、能够有效地调节IP0的大小、提高产品合格率、降低产品制造成本且实用性好。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	温州百岸汽车零部件有限公司
发明人：	蔡丰勇
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201821916378.6
公开号：	CN209148594U
代理机构：	北京中北知识产权代理有限公司
代理人：	陈孝政
分类号：	G01N27/41(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	325000 浙江省温州市瑞安市塘下镇北工业园区吉祥路1号
主权项：	1.一种泵电流可调的NOx传感器芯片，包括芯片基体(1)，其特征在于：所述芯片基体(1)上从上至下依次设置有保护层(2)、外电极(3)和进气口(11)；所述芯片基体(1)内从左至右依次设置有第一内泵电极工作腔(12)和第二内泵电极工作腔(13)，所述第一内泵电极工作腔(12)与进气口(11)连通，且第一内泵电极工作腔(12)内设置有表面覆盖层(4)、扩散障碍层(5)、粘结剂过渡层(6)、第一内泵上电极(7)、第一内泵衔接电极(8)和第一内泵下电极(9)；所述表面覆盖层(4)覆盖在所述扩散障碍层(5)的上表面上，通过对表面覆盖层(4)进行激光切割加工调整扩散障碍层(5)的尾气进入速度；所述扩散障碍层(5)的底面与粘结剂过渡层(6)粘接固定；所述第一内泵衔接电极(8)设置在第一内泵上电极(7)和第一内泵下电极(9)之间，且第一内泵上电极(7)、第一内泵衔接电极(8)和第一内泵下电极(9)连接后构成一个完整的第一内泵电极装置，且该第一内泵电极装置与外电极(3)一起构成第一组氧泵。 2.根据权利要求1所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述第一内泵电极工作腔(12)和第二内泵电极工作腔(13)之间设置有扩散通道(14)，所述第二内泵电极工作腔(13)内设置有第二内泵上电极(10)、第二内泵衔接电极(15)和第二内泵下电极(16)，所述第二内泵衔接电极(15)设置在第二内泵上电极(10)和第二内泵下电极(16)之间，且第二内泵上电极(10)、第二内泵衔接电极(15)和第二内泵下电极(16)连接后构成一个完整的第二内泵电极装置，且该第二内泵电极装置与外电极一起构成第二组氧泵。 3.根据权利要求2所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述第二内泵电极工作腔(13)右下端设置有反应电极(17)，所述反应电极(17)的上表面上设置有反应电极扩散层(18)。 4.根据权利要求3所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述芯片基体(1)位于第二内泵电极工作腔(13)的下方位置设置有参比空腔(19)，参比空腔(19)内设置有参比电极(20)，所述参比电极(20)通过参比空腔(19)与空气相通。 5.根据权利要求4所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述芯片基体(1)位于参比空腔(19)的下方位置设置有加热空腔(110)，所述加热空腔(110)内设置有加热电极(21)，所述加热电极(21)的上表面上设置有上绝缘层(22)，所述加热电极(21)的底面上设置有下绝缘层(23)。 6.根据权利要求1所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述芯片基体(1)由多层氧化锆流延片叠合而成。 7.根据权利要求1所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述表面覆盖层(4)由氧化锆材料制成。 8.根据权利要求1所述的一种泵电流可调的NOx传感器芯片，其特征在于：所述扩散障碍层(5)由多孔的氧化锆材料组成；所述粘结剂过渡层(6)由氧化锆材料和扩散障碍层(5)的骨料按照1：1混合制作而成。
所属类别：	实用新型