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原文传递一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备

专利名称：	一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备
摘要：	本发明涉及一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体、摄像头和两个照明灯，所述主体的形状为圆柱形，所述主体竖向设置，所述摄像头和照明灯均设置在主体内的顶部，所述摄像头位于两个照明灯之间，所述主体内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体内的底部，所述辅助机构设置在主体内的顶部，所述控制机构包括移动盘、支撑盘、两个气缸和至少四个控制组件，该用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备通过控制机构实现了调整晶圆位置的功能，避免晶圆位置偏差较大而需要多次调整晶圆位置，不仅如此，还通过辅助机构减小了环境光线和灰尘对检测精确度的影响，提高了抗干扰能力。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市贝优通新能源技术开发有限公司
发明人：	蒙泽喜
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201910301708.3
公开号：	CN110044917A
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室
主权项：	1.一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体(1)、摄像头(2)和两个照明灯(3)，所述主体(1)的形状为圆柱形，所述主体(1)竖向设置，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在主体(1)内的顶部，所述摄像头(2)位于两个照明灯(3)之间，其特征在于，所述主体(1)内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体(1)内的底部，所述辅助机构设置在主体(1)内的顶部；所述控制机构包括移动盘(4)、支撑盘(5)、两个气缸(6)和至少四个控制组件，所述移动盘(4)与主体(1)同轴设置，所述气缸(6)固定在主体(1)内的底部，所述气缸(6)与移动盘(4)的远离摄像头(2)的一侧连接，所述气缸(6)驱动移动盘(4)沿着主体(1)的轴向移动，所述支撑盘(5)设置在移动盘(4)和摄像头(2)之间，所述支撑盘(5)与移动盘(4)同轴设置，所述支撑盘(5)与移动盘(4)固定连接，所述支撑盘(5)与移动盘(4)之间设有间隙，所述控制组件以支撑盘(5)的轴线为中心周向均匀设置在支撑盘(5)的外周，所述控制组件位于移动盘(4)的靠近支撑盘(5)的一侧；所述辅助机构包括固定管(7)和两个除尘组件，所述固定管(7)与主体(1)同轴设置，所述固定管(7)与主体(1)内的顶部密封且固定连接，所述固定管(7)与主体(1)顶部的最大距离大于支撑盘(5)与主体(1)顶部之间的最小距离，所述固定管(7)的外径与移动盘(4)的直径相等，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在固定管(7)内，两个防尘组件与照明灯(3)一一对应，所述防尘组件设置在固定管(7)上；所述防尘组件包括气管(8)和抽吸泵(9)，所述气管(8)与固定管(7)连通，所述气管(8)安装在抽吸泵(9)上，所述抽吸泵(9)固定在固定管(7)上。 2.如权利要求1所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述控制组件包括移动单元和控制单元，所述移动单元包括驱动电机(10)、丝杆(11)、轴承座(12)、滑块(13)和连接杆(14)，所述丝杆(11)的轴线与主体(1)的轴线垂直且相交，所述驱动电机(10)与丝杆(11)的靠近主体(1)轴线的一端传动连接，所述轴承座(12)安装在丝杆(11)的另一端，所述驱动电机(10)和轴承座(12)均固定在移动盘(4)上，所述滑块(13)套设在丝杆(11)上，所述滑块(13)的与丝杆(11)的连接处设有与丝杆(11)匹配的螺纹，所述滑块(13)与移动盘(4)的靠近支撑盘(5)的一侧贴合，所述连接杆(14)固定在滑块(13)的另一侧，所述连接杆(14)与主体(1)的轴线平行，所述控制单元设置在连接杆(14)的靠近主体(1)轴线的一侧。 3.如权利要求1所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述丝杆(11)上涂有润滑油。 4.如权利要求2所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述控制单元包括连接管(15)、挤压板(16)、弹簧(17)、限位块(18)、连杆(19)和推板(20)，所述连接管(15)与丝杆(11)平行，所述连接管(15)与连接杆(14)密封且固定连接，所述挤压板(16)、弹簧(17)和限位块(18)均设置在连接管(15)内，所述挤压板(16)与连接管(15)的轴线垂直，所述挤压板(16)与连接管(15)的内壁滑动且密封连接，所述弹簧(17)位于挤压板(16)和连接杆(14)之间，所述挤压板(16)通过弹簧(17)与连接杆(14)连接，所述限位块(18)设置在挤压板(16)的远离连接杆(14)的一侧，所述限位块(18)固定在连接管(15)的内壁上，所述限位块(18)与挤压板(16)抵靠，所述连杆(19)与连接管(15)同轴设置，所述连杆(19)的直径小于连接管(15)的内径，所述推板(20)与连杆(19)垂直，所述连接管(15)位于连接杆(14)和推板(20)之间，所述连杆(19)位于推板(20)和挤压板(16)之间，所述推板(20)通过连杆(19)与挤压板(16)固定连接，所述推板(20)的靠近移动盘(4)的一侧与支撑盘(5)的远离移动盘(4)的一侧处于同一平面。 5.如权利要求4所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述挤压板(16)的靠近弹簧(17)的一侧设有凹口，所述凹口内设有气压传感器(21)，所述主体(1)内设有PLC，所述气压传感器(21)和驱动电机(10)均与PLC电连接。 6.如权利要求4所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述连接管(15)的内壁上涂有密封脂。 7.如权利要求1所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述固定管(7)上设有橡胶块(22)，所述橡胶块(22)铺设在固定管(7)的靠近移动盘(4)的一端。 8.如权利要求1所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述气管(8)上设有防尘罩(23)。 9.如权利要求1所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述固定管(7)的制作材料为黑色不透明有机玻璃。 10.如权利要求1所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述支撑盘(5)的靠近摄像头(2)的一侧设有防滑纹。
所属类别：	发明专利