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原文传递一种碎片清理装置

专利名称：	一种碎片清理装置
摘要：	本实用新型涉及一种碎片清理装置，包括本体、基片承载机构、驱动机构和碎片清理机构，基片承载机构放置在本体内，用于驱动碎片清理机构移动的驱动机构设在本体上，驱动机构和碎片清理机构配合清理基片承载机构中任意位置的碎片。本实用新型的碎片清理装置能够有效地清理生产过程中出现的碎片，进而保证设备出现碎片问题后生产的继续进行，同时也能防止碎片残渣对镀膜基片的污染，减少生产过程中材料的浪费造成的经济损失，保证了设备的产能。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	东泰高科装备科技有限公司
发明人：	王浩
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201821591844.8
公开号：	CN209143147U
代理机构：	北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	齐胜杰
分类号：	B65G47/90(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
主权项：	1.一种碎片清理装置，其特征在于，包括本体(21)、基片承载机构(9)、驱动机构和碎片清理机构；所述基片承载机构(9)放置在所述本体(21)内，用于驱动所述碎片清理机构移动的所述驱动机构设在所述本体(21)上；所述驱动机构和所述碎片清理机构配合清理所述基片承载机构(9)中任意位置的碎片。 2.如权利要求1所述的碎片清理装置，其特征在于，所述碎片清理机构包括：用于清理所述基片承载机构(9)上的碎片的吸尘器(7)；以及用于将碎片上的压片(11)取出的机械手(6)。 3.如权利要求2所述的碎片清理装置，其特征在于，所述驱动机构包括第一横向导轨(1)、第二横向导轨(10)和纵向导轨(3)；所述第一横向导轨(1)和第二横向导轨(10)在同一水平面内平行且对称固定在所述本体(21)上表面的两侧，其上分别设有可沿导轨往复滑动的第一横向滑块(19)和第二横向滑块(18)；所述纵向导轨(3)的两端分别与所述第一横向滑块(19)和所述第二横向滑块(18)固定连接，在所述纵向导轨(3)上设有可沿轨道往复滑动的第一纵向滑块(16)和第二纵向滑块(17)；所述机械手(6)固定在所述第一纵向滑块(16)的下方，所述吸尘器(7)固定在所述第二纵向滑块(17)的下方。 4.如权利要求3所述的碎片清理装置，其特征在于，所述第一横向滑块(19)和所述第二横向滑块(18)上分别固定连接有第一横向电机(2)和第二横向电机(8)，所述第一纵向滑块(16)和所述第二纵向滑块(17)上分别固定连接有第一纵向电机(4)和第二纵向电机(5)。 5.如权利要求3所述的碎片清理装置，其特征在于，还包括传送装置，用于将所述基片承载机构(9)传送到所述本体(21)之中。 6.如权利要求5所述的碎片清理装置，其特征在于，位于所述本体(21)中的所述基片承载机构(9)的下方设有碎片托盘(14)，用于收集掉落的碎片。 7.如权利要求1-6任一项所述的碎片清理装置，其特征在于，还包括用于协助所述碎片清理机构清理碎片的碎片翻转机构，所述碎片翻转机构与所述基片承载机构(9)可拆卸地连接。 8.如权利要求7所述的碎片清理装置，其特征在于，所述碎片翻转机构包括翻转电机(13)以及与所述翻转电机(13)的旋转输出轴固定连接的翻转轴(12)，所述翻转轴(12)与所述基片承载机构(9)可拆卸地固定连接。 9.如权利要求8所述的碎片清理装置，其特征在于，所述碎片翻转机构还包括至少一个升降气缸(15)；所述升降气缸(15)设在所述翻转轴(12)的下方，用于驱动所述翻转轴(12)的升降。 10.如权利要求9所述的碎片清理装置，其特征在于，所述碎片翻转机构还包括两个连接板(20)；所述翻转轴(12)的两端分别可转动地固定在两个所述连接板(20)上；所述升降气缸(15)的数量为两个，两个所述升降气缸(15)的升降杆分别与两个所述连接板(20)的底部固定连接，用于共同驱动所述翻转轴(12)的升降。
所属类别：	实用新型