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基于TPA-DCPP有机敏感薄膜的平面式室温氨气传感器及其制备方法
| 专利名称： | 基于TPA-DCPP有机敏感薄膜的平面式室温氨气传感器及其制备方法 |
| 摘要： | 一种基于TPA‑DCPP有机敏感薄膜的平面式室温氨气(NH3)传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。由下至上依次由Al2O3陶瓷板、金叉指电极、TPA‑DCPP有机敏感材料薄膜组成。首先是通过Suzuki偶联反应制备TPA‑DCPP有机敏感材料，然后通过溅射的方法分别将镍和金制备到Al2O3陶瓷基底上制成叉指电极，再利用旋涂法将TPA‑DCPP有机敏感材料制备在叉指电极上。本发明有效的降低了传感器的工作温度，可在室温条件下检测氨气，并在高湿度(98％RH)下可实现氨气ppb量级的检测；除了在室温下对氨气具有快速响应速度外，本发明传感器还具有良好的选择性和稳定性。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 吉林;22 |
| 申请人： | 吉林大学 |
| 发明人： | 刘方猛;贺俊铭;卢革宇;王悦;康博南;闫旭;梁喜双;高原;刘晓敏 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-05-05T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-07-23T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910368007.1 |
| 公开号： | CN110044973A |
| 代理机构： | 长春吉大专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 130012 吉林省长春市前进大街2699号 |
| 主权项： | 1.一种基于TPA-DCPP有机敏感薄膜的平面式室温氨气传感器，其特征在于：由下至上依次由Al2O3陶瓷板、金叉指电极基底、TPA-DCPP敏感材料薄膜组成，TPA-DCPP敏感材料薄膜的厚度为4～6μm，TPA-DCPP的结构式如下所示， 2.权利要求1所述的一种基于TPA-DCPP有机敏感薄膜的平面式室温氨气传感器的制备方法，其步骤如下： (1)制备TPA-DCPP敏感材料：通过Suzuki偶联反应制备TPA-DCPP有机敏感材料； (2)制备敏感材料旋涂液：量取三氯甲烷0.5～1.5mL，并称取步骤(1)制备的TPA-DCPP敏感材料粉体18～22mg，将三氯甲烷与TPA-DCPP粉体混合并搅拌均匀，配得敏感材料旋涂液； (3)通过溅射工艺在Al2O3陶瓷板上制备金叉指电极基底，将步骤(2)制备的敏感材料旋涂液旋涂在金叉指电极基底上，旋涂速率为1300～1700rad/s，旋涂时间为50～80s，旋涂2～4层； (4)将步骤(3)得到的器件在80～90℃下烘干有机溶剂，得到的TPA-DCPP有机敏感薄膜的厚度为3～7μm，从而制备得到基于TPA-DCPP有机敏感薄膜的平面式室温氨气传感器。 3.如权利要求2所述的一种基于TPA-DCPP有机敏感薄膜的平面式室温氨气传感器的制备方法，其特征在于：是将叉指电极掩膜图形光刻转印到Al2O3陶瓷板上，在氩气气氛下先溅射一层镍作为粘合层，厚度为0.5～1.5μm，再溅射一层金作为电极，厚度为80～120nm；最后去除光刻胶制，从而制备得到金叉指电极基底。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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