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原文传递多轮组系统的主轮直径检知方法

专利名称：	多轮组系统的主轮直径检知方法
摘要：	一种多轮组系统的主轮直径检知方法，包含下列步骤:(A)设定线材最终跑线于所述多轮组系统的线速度目标值VT，再针对主轮输入假定直径RS。(B)量测固定直径转动件的转速，以获得所述线材运行于所述多轮组系统的线速度真实值VR。(C)检知所述线速度目标值VT与所述线速度真实值VR是否满足VT/VR＝1，若否，则修正所述假定直径RS并重回到步骤(A)，若是，则所输入的所述假定直径RS确实为所述主轮的真实直径Rr。将本发明应用于晶圆切片机的多轮组系统时，能借通过明确得知主轮真实直径值，而使所述多轮组系统于跑线过程中缩减张力轮发生位移的机会，以利所述多轮组系统发展高线速制程。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	友达晶材股份有限公司
发明人：	雷世爵;陈展添
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201811166638.7
公开号：	CN109664416A
代理机构：	北京泰吉知识产权代理有限公司
代理人：	史瞳;許榮文
分类号：	B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	中国台湾台中市
主权项：	1.一种多轮组系统的主轮直径检知方法，所述多轮组系统包括均能转动的主轮、固定直径转动件，及线材，所述线材绕过所述主轮及所述固定直径转动件且随所述主轮与所述固定直径转动件的运转而移动，其特征在于：所述多轮组系统的主轮直径检知方法包含下列步骤: (A)针对主轮输入假定直径:设定所述线材于所述多轮组系统的线速度目标值VT，再针对具真实直径Rr的所述主轮输入假定直径RS； (B)量测固定直径转动件的转速:量测所述固定直径转动件的转速，以得所述线材运行于所述多轮组系统的线速度真实值VR；及 (C)检知所述线速度目标值VT与所述线速度真实值VR是否满足下列条件: VT/VR＝1，其中，若VT/VR<1，则调高所述假定直径RS，若VT/VR>1，则调低所述假定直径RS，若满足所述条件，则所输入的所述假定直径RS为所述主轮的真实直径Rr。 2.根据权利要求1所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述固定直径转动件沿轴向具有小径部及连接所述小径部的大径部，所述多轮组系统还包括位于所述主轮与所述固定直径转动件间的张力轮组，所述张力轮组具有供所述线材绕过于其上且能受所述线材张力作用而移动的张力轮，所述多轮组系统的主轮直径检知方法还包含位于所述步骤(A)与所述步骤(B)间的步骤(A1)检知所述张力轮是否偏移原预设位置，若是，则依所述张力轮的偏移量与偏移方向修正所述固定直径转动件的所述小径部的直径再回到所述步骤(A)，若否，则所述线材自所述小径部移动至所述大径部并以单圈方式绕设于所述大径部后再进行所述步骤(B)。 3.根据权利要求2所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述张力轮组还具有位于所述主轮与所述张力轮间的第一惰轮，及位于所述固定直径转动件与所述张力轮间的第二惰轮，所述第一惰轮与所述第二惰轮用于改变所述线材的走线方向。 4.根据权利要求2或3所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述张力轮是沿直线方向移动。 5.根据权利要求1所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述多轮组系统还包括用于卷绕所述线材的绕线辊轮，所述固定直径转动件位于所述主轮与所述绕线辊轮间，所述多轮组系统的主轮直径检知方法还包含位于所述步骤(A)与所述步骤(B)间的步骤(A1)检知所述线材离开于所述主轮的线量是否等于所述线材缠绕于所述绕线辊轮的绕线量，若是，则进行所述步骤(B)，若否，则偏移所述绕线辊轮至适当位置，使所述线材离开于所述主轮的线量等于所述线材缠绕于所述绕线辊轮的绕线量后，再进行所述步骤(B)。 6.根据权利要求1所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述多轮组系统还包括用于卷绕所述线材的绕线辊轮，及供所述线材绕过且能受所述线材张力作用而移动的张力轮，所述张力轮位于所述主轮与所述绕线辊轮间，所述固定直径转动件位于所述主轮与所述绕线辊轮间，所述多轮组系统的主轮直径检知方法还包含位于所述步骤(A)与所述步骤(B)间的步骤(A1)检知所述张力轮是否偏移原预设位置，若是，则依所述张力轮的偏移量与偏移方向修正所述绕线辊轮的直径再回到所述步骤(A)，若否，则进行所述步骤(B)。 7.根据权利要求6所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述多轮组系统还包括位于所述主轮与所述绕线辊轮间的第一惰轮与所述固定直径转动件，所述第一惰轮与所述固定直径转动件均能用于改变所述线材的走线方向。 8.根据权利要求6或7所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述张力轮是沿直线方向移动。 9.根据权利要求6所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：所述绕线辊轮具有小径部，及连接所述小径部一侧的大径部，所述小径部与所述大径部彼此具有相同旋转轴且同步转动。 10.根据权利要求1所述的多轮组系统的主轮直径检知方法，其特征在于：在所述步骤(A)中，基于所述线速度目标值VT及所述假定直径RS能推得所述主轮于所述多轮组系统中的转速ω。
所属类别：	发明专利