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原文传递光电检测设备及光电检测方法

专利名称：	光电检测设备及光电检测方法
摘要：	本公开涉及自动检测技术领域，提出了一种光电检测设备及光电检测方法。光电检测设备包括上料部、传输组件以及检测组件，上料部用于承载待检测膜料；传输组件用于驱动上料部移动；检测组件设置在上料部的移动路径上，检测组件包括透光率检测部和面电阻检测部，以用于测量待检测膜料的光学透光率和面电阻。本公开的光电检测设备通过上料部、传输组件以及检测组件的透光率检测部和面电阻检测部能够实现对待检测膜料的光学透光率和面电阻的自动测量，以此判断待检测膜料是否合格。由于整个过程属于自动化测量，提高了检测效率，且适合生产线的批量快速检测。
专利类型：	发明专利
申请人：	北京石墨烯研究院
发明人：	周竞辉;高鹏;高翾;张风港
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T17:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T08:00:00+0805
申请号：	CN202010052364.X
公开号：	CN111122518A
代理机构：	北京律智知识产权代理有限公司
代理人：	李建忠;袁礼君
分类号：	G01N21/59;G01N27/04;G01R27/02;G;G01;G01N;G01R;G01N21;G01N27;G01R27;G01N21/59;G01N27/04;G01R27/02
申请人地址：	100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼
主权项：	1.一种光电检测设备，其特征在于，包括：上料部(10)，所述上料部(10)用于承载待检测膜料；传输组件(20)，所述传输组件(20)用于驱动所述上料部(10)移动；检测组件(30)，所述检测组件(30)设置在所述上料部(10)的移动路径上，所述检测组件(30)包括透光率检测部(40)和面电阻检测部(50)，以用于测量所述待检测膜料的光学透光率和面电阻。 2.根据权利要求1所述的光电检测设备，其特征在于，所述传输组件(20)包括：第一传输部(21)；第二传输部(22)，所述第一传输部(21)与所述第二传输部(22)间隔设置且延伸方向相一致，所述第一传输部(21)与所述第二传输部(22)之间形成检测间隙(23)；其中，所述透光率检测部(40)的至少部分和所述面电阻检测部(50)的至少部分均与所述检测间隙(23)相对设置，以在所述上料部(10)带动所述待检测膜料移动至与所述检测间隙(23)相对的位置后，所述透光率检测部(40)和所述面电阻检测部(50)用于测量所述待检测膜料的光学透光率和面电阻。 3.根据权利要求2所述的光电检测设备，其特征在于，所述透光率检测部(40)包括第一探头(41)和第二探头(42)，所述第一探头(41)和所述面电阻检测部(50)均位于所述检测间隙(23)的上方，所述第二探头(42)的至少部分位于所述检测间隙(23)内或所述检测间隙(23)的下方；其中，所述第一探头(41)和所述第二探头(42)相对设置。 4.根据权利要求3所述的光电检测设备，其特征在于，所述上料部(10)为镂空结构，以避免遮挡所述第一探头(41)和所述第二探头(42)测量所述待检测膜料的光学透光率。 5.根据权利要求1至4中任一项所述的光电检测设备，其特征在于，所述透光率检测部(40)和所述面电阻检测部(50)均可移动地设置，以调节所述透光率检测部(40)和所述面电阻检测部(50)与所述上料部(10)上的所述待检测膜料之间的相对位置。 6.根据权利要求5所述的光电检测设备，其特征在于，所述光电检测设备还包括：横移机构(60)，所述横移机构(60)设置在所述上料部(10)的移动路径上，所述检测组件(30)设置在所述横移机构(60)上，所述横移机构(60)驱动所述检测组件(30)沿垂直于所述上料部(10)的移动方向的方向移动。 7.根据权利要求6所述的光电检测设备，其特征在于，所述透光率检测部(40)包括相对设置的第一探头(41)和第二探头(42)，所述横移机构(60)包括：第一横移部(61)，所述第一横移部(61)位于所述传输组件(20)的上方，所述第一探头(41)和所述面电阻检测部(50)设置在所述第一横移部(61)上；第二横移部(62)，所述第一横移部(61)与所述第二横移部(62)相对设置，且所述第二横移部(62)位于所述传输组件(20)的下方，所述第二探头(42)设置在所述第二横移部(62)上；驱动部(63)，所述驱动部(63)与所述第一横移部(61)以及所述第二横移部(62)均驱动连接，以通过所述第一横移部(61)和所述第二横移部(62)驱动所述第一探头(41)、所述面电阻检测部(50)以及所述第二探头(42)同步移动。 8.根据权利要求6或7所述的光电检测设备，其特征在于，所述光电检测设备还包括：升降机构(70)，所述升降机构(70)可移动地设置在所述横移机构(60)上，所述检测组件(30)设置在所述升降机构(70)上，以使所述检测组件(30)通过所述升降机构(70)设置在所述横移机构(60)上；其中，所述升降机构(70)位于所述传输组件(20)的上方，所述升降机构(70)驱动所述检测组件(30)的部分沿靠近或远离所述上料部(10)的方向可移动地设置。 9.根据权利要求8所述的光电检测设备，其特征在于，所述光电检测设备还包括：旋转驱动机构(80)，所述旋转驱动机构(80)设置在所述升降机构(70)上，所述旋转驱动机构(80)包括第一安装端(81)和第二安装端(82)，所述第一安装端(81)和所述第二安装端(82)分别朝向两个方向，所述透光率检测部(40)的部分和所述面电阻检测部(50)分别设置在所述第一安装端(81)和所述第二安装端(82)上，以使所述旋转驱动机构(80)驱动所述透光率检测部(40)或所述面电阻检测部(50)朝向所述待检测膜料。 10.根据权利要求8所述的光电检测设备，其特征在于，所述透光率检测部(40)的部分和所述面电阻检测部(50)直接设置在所述升降机构(70)上，且均朝向所述传输组件(20)的延伸方向设置，以用于同时获取所述待检测膜料的光学透光率和面电阻。 11.一种光电检测方法，其特征在于，包括：将承载有待检测膜料的上料部(10)放置到传输组件(20)上；控制所述传输组件(20)驱动所述上料部(10)移动；获取所述待检测膜料的光学透光率和面电阻中的至少之一，并根据所述光学透光率和/或所述面电阻判断所述待检测膜料是否合格。 12.根据权利要求11所述的光电检测方法，其特征在于，获取所述待检测膜料的光学透光率和面电阻中的至少之一，并根据所述光学透光率和/或所述面电阻判断所述待检测膜料是否合格，包括：获取所述待检测膜料的多个位置处的光学透光率值，计算平均值得到平均光学透光率值，并判断所述平均光学透光率值是否在预设透光率范围值内，当所述平均光学透光率值不在所述预设透光率范围值内时，判断所述待检测膜料不合格；当所述平均光学透光率值在所述预设透光率范围值内时，对所述待检测膜料进行面扫描测量，获取光学透光率数据组，并对所述光学透光率数据组进行均匀性判断，以获得透光率均匀性数值，当所述透光率均匀性数值小于第一预设数值时，判断所述待检测膜料不合格；当所述透光率均匀性数值不小于所述第一预设数值时，获取所述待检测膜料的多个位置处的面电阻值，计算平均值得到平均面电阻值，并判断所述平均面电阻值是否在预设面电阻范围值内，当所述平均面电阻值不在所述预设面电阻范围值内时，判断所述待检测膜料不合格；当所述平均面电阻值在所述预设面电阻范围值内时，对所述待检测膜料进行面扫描测量，获取面电阻数据组，并对所述面电阻数据组进行均匀性判断，以获得面电阻均匀性数值，当所述面电阻均匀性数值小于第二预设数值时，判断所述待检测膜料不合格，当所述面电阻均匀性数值不小于所述第二预设数值时，判断所述待检测膜料合格；或，获取所述待检测膜料的多个位置处的面电阻值，计算平均值得到平均面电阻值，并判断所述平均面电阻值是否在预设面电阻范围值内，当所述平均面电阻值不在所述预设面电阻范围值内时，判断所述待检测膜料不合格；当所述平均面电阻值在所述预设面电阻范围值内时，对所述待检测膜料进行面扫描测量，获取面电阻数据组，并对所述面电阻数据组进行均匀性判断，以获得面电阻均匀性数值，当所述面电阻均匀性数值小于第二预设数值时，判断所述待检测膜料不合格；当所述面电阻均匀性数值不小于所述第二预设数值时，获取所述待检测膜料的多个位置处的光学透光率值，计算平均值得到平均光学透光率值，并判断所述平均光学透光率值是否在预设透光率范围值内，当所述平均光学透光率值不在所述预设透光率范围值内时，判断所述待检测膜料不合格；当所述平均光学透光率值在所述预设透光率范围值内时，对所述待检测膜料进行面扫描测量，获取光学透光率数据组，并对所述光学透光率数据组进行均匀性判断，以获得透光率均匀性数值，当所述透光率均匀性数值小于第一预设数值时，判断所述待检测膜料不合格，当所述透光率均匀性数值不小于所述第一预设数值时，判断所述待检测膜料合格；或，同时获取所述待检测膜料的多个位置处的面电阻值以及光学透光率值，计算平均值得到平均面电阻值和平均光学透光率值，并判断所述平均面电阻值是否在预设面电阻范围值内，以及所述平均光学透光率值是否在预设透光率范围值内，当所述平均面电阻值不在所述预设面电阻范围值内或所述平均光学透光率值不在所述预设透光率范围值内时，判断所述待检测膜料不合格；当所述平均面电阻值在所述预设面电阻范围值内，且所述平均光学透光率值在所述预设透光率范围值内时，对所述待检测膜料进行面扫描测量，获取面电阻数据组和光学透光率数据组，并对所述面电阻数据组以及光学透光率数据组进行均匀性判断，以获得面电阻均匀性数值和透光率均匀性数值，当所述面电阻均匀性数值小于第二预设数值或所述透光率均匀性数值小于第一预设数值时，判断所述待检测膜料不合格，当所述面电阻均匀性数值不小于所述第二预设数值，且所述透光率均匀性数值不小于所述第一预设数值时，判断所述待检测膜料合格。
所属类别：	发明专利