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原文传递一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法

专利名称：	一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法
摘要：	本发明公开了一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法，包括：光源模块；光斑均匀机构，用于将光源模块输出光斑均匀化；空间光调制器，将数字信号转化为光信号；光刻物镜，作为成像元件将调制后的光斑生成图像；第一分光反射镜，用于将图像分成一路作用于待曝光材料的透射输出、另一路作为检测信号的反射输出；数据采集装置，与第一分光反射镜的反射输出端对应以采集图像。通过设置分光反射镜将图像分成反射输出和透射输出，透射输出继承原有曝光功能，反射输出配合数据采集装置实时检测成像质量、成像效果，并可利用采集图像比对原始图像并进行判断，从而形成激光直接成像的闭环控制。
专利类型：	发明专利
申请人：	中山新诺科技股份有限公司
发明人：	王瑞;梅文辉
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T20:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T05:00:00+0805
申请号：	CN202010064941.7
公开号：	CN111103237A
代理机构：	广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人：	赵琴娜
分类号：	G01N21/01;G01N21/27;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/01;G01N21/27
申请人地址：	528400 广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一
主权项：	1.一种激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，包括：光源模块；光斑均匀机构，用于将所述光源模块输出光斑均匀化；空间光调制器，用于把数字信号转化成光信号；光刻物镜，作为成像元件将调制后的光斑生成图像；第一分光反射镜，用于将所述图像分成一路作用于待曝光材料的透射输出、另一路作为检测信号的反射输出；数据采集装置，与所述第一分光反射镜的反射输出端对应以采集图像、亮度数据，并生成图形文件信号；图形处理服务器，用于将所述图形文件信号转换成空间光调制器工作数据并输出至所述空间光调制器。 2.根据权利要求1所述的激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，所述光源模块采用由一个或多个一字排列的光源组成的多光谱光源。 3.根据权利要求2所述的激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，所述光斑均匀机构包括全反射镜以及一个或多个第二分光反射镜，所述第二分光反射镜与所述光源一一对应，所述全反射镜设置在所述一个或多个第二分光反射镜与空间光调制器之间。 4.根据权利要求1所述的激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，所述数据采集装置为线阵CCD。 5.一种激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，包括：光源模块；光斑均匀机构，用于将所述光源模块输出光斑均匀化；空间光调制器，用于把数字信号转化成光信号；第一分光反射镜，用于将调制后的光斑分成一路透射输出、另一路反射输出；第一光刻物镜，作为成像元件将所述第一分光反射镜透射输出的光斑生成作用于待曝光材料的图像；第二光刻物镜，作为成像元件将所述第一分光反射镜反射输出的光斑生成用于检测信号的图像、亮度数据；数据采集装置，用于采集所述第二光刻物镜输出的图像、亮度数据，并生成图形文件信号；图形处理服务器，用于将所述图形文件信号转换成空间光调制器工作数据并输出至所述空间光调制器。 6.根据权利要求5所述的激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，所述光源模块采用由一个或多个一字排列的光源组成的多光谱光源。 7.根据权利要求6所述的激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，所述光斑均匀机构包括全反射镜以及一个或多个第二分光反射镜，所述第二分光反射镜与所述光源一一对应，所述全反射镜设置在所述一个或多个第二分光反射镜与空间光调制器之间。 8.根据权利要求5所述的激光直接成像闭环实时检测系统，其特征在于，所述数据采集装置为线阵CCD。 9.一种激光直接成像闭环实时检测系统闭环实时检测方法，其特征在于，包括以下步骤：光源输出光斑；将所述输出光斑均匀化；使用空间光调制器将数字信号转换成光信号；将光信号再分成反射输出和透射输出；或者将光信号分成反射输出和透射输出再分别生成图像；采集反射输出的图像、亮度数据并与预存的原始图像进行比较。 10.根据权利要求9所述的激光直接成像闭环实时检测系统闭环实时检测方法，其特征在于，比较采集图像与原始图像时，若二者大小或位置不一致时，超过采集图像与原始图像的设置偏差阈值，则报警提示人工判断。
所属类别：	发明专利