专利名称: |
一种离子探针的靶托组件及其样品靶制备的方法 |
摘要: |
本发明公开一种离子探针的靶托组件及其样品靶制备的方法。具体的,所述靶托组件包括:本体和薄片,所述本体的中部设置有样品靶孔,所述样品靶孔远离样品靶进入侧的口部对称设置限位部;所述薄片和所述限位部的形状和尺寸相匹配,用于在样品靶上形成容置所述限位部的凹部。利用本发明的靶托组件及样品靶制备的方法,利用限位部替代现有技术中的钨板实现对样品靶的限位,所述限位部抵接样品靶的凹部,使得样品靶设置样本的表面和所述本体设置限位部的表面基本处于一个平面内,消除因高度差导致的靠近边缘区域的电场畸变,减少因分析点距离样品靶边界的距离太近而产生的数据重现性变差问题。 |
专利类型: |
发明专利 |
申请人: |
中国科学院地质与地球物理研究所 |
发明人: |
李娇;李秋立 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
1900-01-20T00:00:00+0805 |
发布日期: |
1900-01-20T12:00:00+0805 |
申请号: |
CN201911367225.X |
公开号: |
CN111141811A |
代理机构: |
北京风雅颂专利代理有限公司 |
代理人: |
陈宙 |
分类号: |
G01N27/62;G01N1/32;G01N1/34;G01N1/36;G;G01;G01N;G01N27;G01N1;G01N27/62;G01N1/32;G01N1/34;G01N1/36 |
申请人地址: |
100029 北京市朝阳区北土城西路19号 |
主权项: |
1.一种离子探针的靶托组件,其特征在于,包括:本体和薄片, 所述本体的中部设置有样品靶孔,所述样品靶孔远离样品靶进入侧的口部对称设置限位部; 所述薄片和所述限位部的形状和尺寸相匹配,用于在样品靶上形成容置所述限位部的凹部。 2.根据权利要求1所述的靶托组件,其特征在于,所述限位部的数量是两个。 3.根据权利要求1所述的靶托组件,其特征在于,所述限位部沿所述样品靶孔的延伸方向的长度为0.9mm~1.1mm。 4.根据权利要求1所述的靶托组件,其特征在于,所述限位部垂直所述样品靶孔的延伸方向的长度为1.9mm~2.1mm。 5.根据权利要求1所述的靶托组件,其特征在于,所述限位部为扇形。 6.根据权利要求1所述的靶托组件,其特征在于,所述本体上还是设置有凹槽,所述凹槽用于连接取样杆。 7.根据权利要求1所述的靶托组件,其特征在于,所述本体上还设置有螺纹孔,所述螺纹孔和螺钉配合,用于固定样品靶。 8.根据权利要求1所述的靶托组件,其特征在于,所述本体一体成型。 9.一种根据权要求1~8任一项所述的靶托组件制备样品靶的方法,其特征在于,包括: 粘贴样品、标准物质和所述薄片于平整双面胶上,其中,所述薄片对称设置; 灌注树脂并固化,取下所述薄片得到具有凹部的样品靶毛坯; 抛光所述样品靶毛坯,清洗后镀金,得到所述样品靶。 10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,粘贴所述薄片前,在所述薄片上涂抹脱模剂。 |
所属类别: |
发明专利 |