详情

原文传递一种旋转放置平台机构

专利名称：	一种旋转放置平台机构
摘要：	本发明公开了一种旋转放置平台机构，用于晶圆片测试，包括固定底座；旋转底座，所述旋转底座转动安装在固定底座上，所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态；其中，所述旋转底座的一端设有抱持机构，用于抱持住被测片；所述旋转底座上转动设有自转平台A和转动安装在自转平台A上的自转平台B，所述自转平台B上设有升降吸附装置，用于配合抱持机构固定或释放被测片。本发明的优点是：通过升降吸附装置能够使被测片即使在竖直状态下也能够实现自动旋转，不需要人工转动被测片，造成误差影响测试结果，并且升降吸盘在被测片需要进行转向时升起吸住被测片旋转，在测试时降低高度，不妨碍被测片进行测试，增加了旋转放置平台机构的灵活性。
专利类型：	发明专利
申请人：	嘉兴百盛光电有限公司
发明人：	陈跃华;彭从峰;卜志超;陈时兴
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T03:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T12:00:00+0805
申请号：	CN202010003625.9
公开号：	CN111137628A
代理机构：	杭州凌通知识产权代理有限公司
代理人：	李仁义
分类号：	B65G29/00;B;B65;B65G;B65G29;B65G29/00
申请人地址：	314022 浙江省嘉兴市南湖区余新镇新盛路262号1幢
主权项：	1.一种旋转放置平台机构，用于晶圆片测试，其特征在于：包括固定底座；旋转底座，所述旋转底座转动安装在固定底座上，所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态；其中，所述旋转底座的一端设有抱持机构，用于抱持住被测片；所述旋转底座上转动设有自转平台A和转动安装在自转平台A上的自转平台B，所述自转平台B上设有数量至少为一个的升降吸附装置，用于配合抱持机构固定或释放被测片。 2.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述升降吸附装置包括固定在自转平台B上的升降气缸，所述升降气缸滑动连接有升降吸盘，用于吸取被测片。 3.如权利要求1或2所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述升降吸附装置的数量为四个，均匀分布在自转平台B的边缘。 4.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述抱持机构包括固定座，所述固定座通过滑杆滑动安装有抱持夹手，所述抱持夹手的后端连接有第一驱动装置，用于控制抱持夹手的松紧动作。 5.如权利要求4所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述抱持夹手包括一对夹爪和分别安装在两个夹爪上的测力传感器。 6.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述自转平台A沿边缘固定设有用于支撑被测片的支撑柱A，所述支撑柱A外壁上设有一圈凹陷用于卡住被测片。 7.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述旋转底座底部固定安装有第一旋转驱动部件，所述第一旋转驱动部件转动连接有中空旋转轴，所述中空旋转轴的另一端转动安装在自转平台A底部。 8.如权利要求7所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述中空旋转轴与自转平台B通过连接轴承连接，所述连接轴承通过皮带机构连接有安装在自转平台A底部的第二旋转驱动部件。 9.如权利要求1所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述旋转底座侧壁上沿轴线对称安装有旋转轴，所述固定底座上固定安装有第二驱动装置，所述第二驱动装置通过旋转轴的一端与旋转底座连接，用于驱动旋转底座沿旋转轴转动。 10.如权利要求4或7或8或9所述的旋转放置平台机构，其特征在于：所述第一驱动装置、第二驱动装置、第一旋转驱动部件和第二旋转驱动部件为旋转气缸；或者，第一驱动装置、第二驱动装置、第一旋转驱动部件和第二旋转驱动部件为旋转电机。
所属类别：	发明专利