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原文传递颗粒物传感器

专利名称：	颗粒物传感器
摘要：	本发明涉及一种颗粒物传感器，包括：基材，包括依次设置的第一基材、第二基材、第三基材以及第四基材，所述基材采用氧化铝材料；感应层，形成于所述第一基材上，所述感应层包括正电极、静电导出电极以及负电极电极，所述正电极和所述负电极用于产生静电场以吸附所述颗粒物，所述静电导出电极用于静电导出；加热电极，形成于所述第二基材和所述第三基材之间，所述加热电极用于根据控制电压大小对所述颗粒物传感器进行加热；测温电极，形成于所述第四基材远离所述第三基材的一侧，所述测温电极用于测试所述加热电极的温度。上述颗粒传感器及其制备方法中以氧化铝作为基材的材料，使得制作颗粒传感器的工艺步骤更加简单。
专利类型：	发明专利
申请人：	浙江百岸科技有限公司
发明人：	蔡丰勇
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T06:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T15:00:00+0805
申请号：	CN202010081896.6
公开号：	CN111157414A
代理机构：	北京中北知识产权代理有限公司
代理人：	陈孝政
分类号：	G01N15/06;G;G01;G01N;G01N15;G01N15/06
申请人地址：	325000 浙江省温州市瑞安市塘下镇吉祥路1号
主权项：	1.一种颗粒物传感器，其特征在于，包括：基材，包括依次设置的第一基材、第二基材、第三基材以及第四基材，所述基材采用氧化铝材料；感应层，形成于所述第一基材上，所述感应层包括正电极、静电导出电极以及负电极电极，所述正电极和所述负电极用于产生静电场以吸附所述颗粒物，所述静电导出电极用于静电导出；加热电极，形成于所述第二基材和所述第三基材之间，所述加热电极用于根据控制电压大小对所述颗粒物传感器进行加热；测温电极，形成于所述第四基材远离所述第三基材的一侧，所述测温电极用于测试所述颗粒物传感器的温度。 2.根据权利要求1所述的颗粒物传感器，其特征在于，所述颗粒物传感器还包括控制电路，所述控制电路与所述正电极和所述负电极连接，以用于通过测试所述正电极与所述负电极之间的检测循环时间判定所述颗粒物浓度。 3.根据权利要求2所述的颗粒物传感器，其特征在于，所述加热电极、所述第三基材以及所述第四基材上均设置有导电孔，所述第四基板远离所述第三基板一侧上设置有加热电极连接引脚，所述导电孔与所述加热电极引脚连接。 4.根据权利要求3所述的颗粒物传感器，其特征在于，所述测温电极将所述颗粒物传感器的温度值转换为电阻值以测试所述颗粒物传感器的温度；所述控制电路还与所述测温电极连接，所述控制电路内存储有预设电阻值；所述控制电路还用于将所述测温电极转换的电阻值与所述预设电阻值进行比较，通过PID反馈控制调节所述控制电压大小。 5.根据权利要求1所述的颗粒物传感器，其特征在于，所述第一基材、所述第二基材、所述第三基材以及所述第四基材厚度范围均为350um～400um。 6.根据权利要求1所述的颗粒物传感器，其特征在于，所述正电极与所述负电极之间的距离范围为30um～40um。 7.根据权利要求1所述的颗粒物传感器，其特征在于，所述正电极、所述静电导出电极以及所述负电极的宽度范围为85um～105um。 8.根据权利要求1所述的颗粒物传感器，其特征在于，所述加热电极加热的最高温度为900℃。 9.一种制作颗粒物传感器的方法，其特征在于，包括：提供基材；所述基材包括依次设置的第一基材、第二基材、第三基材以及第四基材，所述基材采用氧化铝材料；在所述第一基材上形成感应层；所述感应层包括正电极、静电导出电极以及负电极电极；在所述第三基材上形成加热电极；在所述第四基材上形成测温电极。 10.根据权利要求9所述的制作颗粒物传感器的方法，其特征在于，所述感应层采用丝网印刷和激光雕刻工艺形成。
所属类别：	发明专利