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原文传递红外热导气体传感器及红外气体检测方法

专利名称：	红外热导气体传感器及红外气体检测方法
摘要：	本发明涉及一种红外热导气体传感器及红外气体检测方法，红外热导气体传感器包括外壳、位于所述外壳内的气体腔室、贯穿所述外壳并与所述气体腔室连通的气体通道、裸露于所述气体腔室内的红外辐射源和红外探测器、控制检测电路，所述红外光源和所述红外探测器与所述控制检测电路电信连接。通过将红外辐射源裸露于气体腔室，所述红外辐射源在具有不同热导率气体的环境中，中心辐射温度发生变化，通过红外探测器检测辐射强度的变化量计算得到待测气体的浓度。相较于传统的热导式气体传感器，这种利用红外光检测气体的设计可以得到更佳的气体浓度分辨率，在气体传感领域有应用前景。
专利类型：	发明专利
申请人：	苏州诺联芯电子科技有限公司
发明人：	俞骁;郭安波;王新国
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T12:00:00+0805
申请号：	CN202010124427.8
公开号：	CN111141683A
代理机构：	苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	韩晓园
分类号：	G01N21/17;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/17
申请人地址：	215000 江苏省苏州市金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02幢(NW-02)402室
主权项：	1.一种红外热导气体传感器，其特征在于，包括外壳、位于所述外壳内的气体腔室、贯穿所述外壳并与所述气体腔室连通的气体通道、裸露于所述气体腔室内的红外辐射源和红外探测器、控制检测电路，所述红外光源和所述红外探测器与所述控制检测电路电信连接。 2.根据权利要求1所述的红外热导气体传感器，其特征在于，所述红外辐射源为灯芯裸露的红外光源。 3.根据权利要求2所述的红外热导气体传感器，其特征在于，所述红外辐射源位于所述气体腔室内；或所述红外辐射源内嵌于形成所述气体腔室的腔室壁内，所述灯芯裸露于所述气体腔室内。 4.根据权利要求1或2所述的红外热导气体传感器，其特征在于，所述红外辐射源选自MEMS红外光源、碳硅棒红外光源、镍络合金丝红外光源。 5.根据权利要求1所述的红外热导气体传感器，其特征在于，所述扩散式通道包括扩散通道、遮蔽所述扩散通道的半透膜。 6.根据权利要求1所述的红外热导气体传感器，其特征在于，所述泵吸式通道包括进气通道、出气通道及气泵，所述气泵与所述进气通道、或所述出气通道连通。 7.根据权利要求1所述的红外热导气体传感器，其特征在于，所述红外探测器选自光敏二极管、或热释电红外探测器、或热电堆红外探测器。 8.根据权利要求1所述的红外热导气体传感器，其特征在于，所述红外探测器与所述红外辐射源设置于围成所述气体腔室的侧壁上，红外辐射源发射的红外光经过直射或者反射的形式到达红外探测器。 9.根据权利要求1所述的红外热导气体传感器，其特征在于，所述控制检测电路包括测量环境温度和/或待测气体温度的温度传感器。 10.一种基于权利要求1～9中任意一项所述的红外热导气体传感器的红外气体检测方法，其特征在于，包括如下步骤： S1：检测红外辐射源的光强作为初始光强； S2：向气体腔室内导入多组已知浓度的待测气体，记录对应的红外辐射光源的光强，形成一组气体浓度-红外光强的对应表； S3：向气体腔室内导入待测气体，记录对应的红外辐射光源的光强； S4：将S3中测得的红外辐射光源的光强与S2中的对应表进行比较，用线性插值法计算出对应的待测气体的浓度。
所属类别：	发明专利