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原文传递一种气悬浮运输装置

专利名称：	一种气悬浮运输装置
摘要：	一种气悬浮运输装置，涉及运输装置领域，包括载板，载板顶面等间距设置出气机构，载板内部设向出气机构供气的供气管路；出气机构包括凹盘，凹盘被侧挡板分为相同构造的两侧，侧挡板顶端水平固定有压气板，在侧挡板两侧的压气板底面均设有导气槽，导气槽顶面为一半圆平面、侧面为向外倾斜的平直面；供气管路包括第一进气口、第二进气口，第一进气口通过第一总管连通第一支管，第一支管均分布于侧挡板同一侧的凹盘下方；第二进气口通过第二总管连通第二支管，第二支管均分布于侧挡板另一侧的凹盘下方；第一支管、第二支管分别通过通气管向上排气，通气管分别正对着相应一侧的导气槽。本申请提供一种气悬浮运输装置，能实现硅片等气悬浮的传输效果。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海睿范自动化设备有限公司
发明人：	尉世卓
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T04:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T19:00:00+0805
申请号：	CN202010143992.9
公开号：	CN111170013A
代理机构：	北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人：	李青
分类号：	B65G54/00;B;B65;B65G;B65G54;B65G54/00
申请人地址：	201306 上海市浦东新区南汇新城镇芦潮港路1560号404室
主权项：	1.一种气悬浮运输装置，其特征在于，包括长条形载板(1)，所述载板(1)的长度方向即为硅片的传输方向；所述载板(1)顶面上等间距设置若干个出气机构，所述载板(1)内部设有向上述出气机构供气的供气管路；其中，出气机构包括圆形凹盘(2)，所述凹盘(2)通过一竖直穿过凹盘(2)圆心的侧挡板(3)被分为相同构造的两侧，该侧挡板(3)与载板(1)的长度方向垂直，所述侧挡板(3)顶端水平固定有与凹盘(2)同圆心设置的圆形压气板(4)，位于侧挡板(3)两侧的所述压气板(4)底面均设有内凹的导气槽(5)，导气槽顶面(51)为一半圆平面、导气槽侧面(52)为向外倾斜的平直面；供气管路包括第一进气口(6)、第二进气口(7)，第一进气口(6)通过第一总管(8)连通有数量对应于出气机构个数的第一支管(9)，上述各第一支管(9)均分布于侧挡板(3)同一侧的凹盘(2)下方；第二进气口(7)通过第二总管(10)连通有数量对应于出气机构个数的第二支管(11)，上述各第二支管(11)均分布于侧挡板(3)另一侧的凹盘(2)下方；上述第一支管(9)、第二支管(11)分别通过竖直向上的通气管(12)向上排气，上述通气管(12)分别正对着相应一侧的导气槽(5)。 2.如权利要求1所述的一种气悬浮运输装置，其特征在于，位于侧挡板(3)两侧的所述凹盘(2)，凹盘底面(21)也为一半圆平面、凹盘侧面(22)为向上翻起的圆弧形曲面。 3.如权利要求2所述的一种气悬浮运输装置，其特征在于，圆弧形曲面与载板(1)顶面相交的点的斜率在tan15°—tan30°之间。 4.如权利要求1所述的一种气悬浮运输装置，其特征在于，所述压气板(4)的最底端不高于载板(1)顶面。
所属类别：	发明专利