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原文传递一种平面陶瓷靶材的成型模具及方法

专利名称：	一种平面陶瓷靶材的成型模具及方法
摘要：	本发明公开了一种平面陶瓷靶材的成型模具及方法。所述模具包括钢模、柔性模套和柔性板，所述钢模包括上钢盖和下钢盖，上钢盖和下钢盖安装组合形成空腔体，所述柔性模套安装于钢模的两端，且与钢模配合密封，所述柔性板由上橡胶板和下橡胶板组合形成，且置于钢模的空腔体内，上橡胶板、下橡胶板和柔性模套之间形成的腔体为粉末填充腔；所述柔性模套的邵氏硬度为40‑90度，所述柔性板的邵氏硬度为20‑60度。利用本发明的模具对造粒粉进行冷等静压成型，可以得到尺寸规则平整的陶瓷靶材生坯，经过烧结可以得到高致密性的靶材，陶瓷靶材生产过程中减少了油压机成型的工序，降低了设备及油压模具的投入，同时也降低了陶瓷靶材生坯在搬运过程中出现开裂的风险。
专利类型：	发明专利
申请人：	广州市尤特新材料有限公司
发明人：	雷雨;赵明增;周昭宇;周志宏;肖世洪
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T13:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
申请号：	CN202010179221.5
公开号：	CN111203961A
代理机构：	广州三环专利商标代理有限公司
代理人：	颜希文
分类号：	B28B7/00;B28B3/00;C04B35/453;C04B35/622;B;C;B28;C04;B28B;C04B;B28B7;B28B3;C04B35;B28B7/00;B28B3/00;C04B35/453;C04B35/622
申请人地址：	510800 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
主权项：	1.一种平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，包括钢模、柔性模套和柔性板，所述钢模包括上钢盖和下钢盖，上钢盖和下钢盖安装组合形成空腔体，所述柔性模套安装于钢模的两端，且与钢模配合密封，所述柔性板由上橡胶板和下橡胶板组合形成，且置于钢模的空腔体内，上橡胶板、下橡胶板和柔性模套之间形成的腔体为粉末填充腔；所述柔性模套的邵氏硬度为40-90度，所述柔性板的邵氏硬度为20-60度。 2.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性模套的邵氏硬度为60-80度。 3.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性板的邵氏硬度为30-40度。 4.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性板的表面粗糙度小于3.2μm。 5.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述钢模的两端均设有凹槽，所述柔性模套安装于凹槽内。 6.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性模套的两个端面的加工的平行度＜0.5mm。 7.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性板的厚度为5-15mm。 8.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性模套和柔性板的材质为硅橡胶或聚氨酯，优选为聚氨酯。 9.一种平面陶瓷靶材的成型方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)将权利要求1-8任一项所述模具中的下钢盖、下橡胶板和柔性模套进行组装，形成粉末填充腔； (2)将造粒粉填充到组装好的粉末填充腔内，并将其表面刮平； (3)依次组装上橡胶板及上钢盖； (4)将组装后的模具连同填充其中的造粒粉置于冷等静压机内压制成型，冷等静压压力为100-300MPa，脱模后得到靶材生坯。 10.根据权利要求9所述的平面陶瓷靶材的成型方法，其特征在于，所述冷等静压压力为200-270Mpa。
所属类别：	发明专利