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原文传递一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统

专利名称：	一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统
摘要：	本发明专利公开了一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，由真空获得系统，真空测量系统等八个子系统所组成；利用分子流下通过已知流导的流量与其两端压力差相关的原理来进行测试。本系统通过特殊设计的可更换、标定的已知流导，可以对各种吸气材料(特别是MEMS真空封装吸气薄膜)的吸气性能进行测试。
专利类型：	发明专利
申请人：	上海晶维材料科技有限公司
发明人：	向杰;候雪玲
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T17:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T10:00:00+0805
申请号：	CN201910984165.X
公开号：	CN110987718A
分类号：	G01N7/04;G;G01;G01N;G01N7;G01N7/04
申请人地址：	上海市普陀区真北路958号21幢6层
主权项：	1.一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：由真空获得系统，真空测量系统，真空管道系统，测试充气，管道烘烤，样品激活，数据采集及控制，设备框架共八个子系统所组成。 2.根据权利要求1所述的一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：所述真空获得系统由机械泵和分子泵以及与两者相连的充气阀和波纹管所组成；所述真空获得系统的选择应能使测试系统达到小于1×10-6Pa的真空度。 3.根据权利要求1所述的一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：所述真空测量系统由一个低真空规管和两个高真空规管，以及各自的真空计所组成；所述低真空薄膜规管的测量范围为10-1Pa 到10-2Pa；所述低真空规管可以是电阻规、电容规、薄膜规或热偶规管中的一种；所述高真空规管应测量的真空度范围10-1Pa到10-7Pa；所述高真空规管可以是B-A型热阴极离子规、冷阴极离子规或冷阴极反磁控规中的一种，所述高真空规管用于测量材料吸气后管道系统内的平衡压力。 4.根据权利要求1所述的一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：所述真空管道系统由超高真空阀门，连接管道和样品室所组成；所述超高真空阀门选用全金属型的超高真空挡板阀；所述连接管道内径为Φ35mm；所述样品室采用石英材质，其内径为Φ35mm；所述管道与超高真空阀门、样品室、高真空规管直径的连接采用CF35的刀口法兰，并用无氧铜密封垫圈进行密封连接。 5.根据权利要求1所述的一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：所述测试充气系统由气瓶、连接管路、控制阀门和微调充气阀所组成；所述气瓶为高压气瓶，所述高压气瓶内的测试气体可以是H2,N2,O2,CO,CO2中的任一种或多种的组合；所述连接管路为耐压不锈钢管；所述控制阀门与连接管路及气瓶可靠连接；所述微调充气阀选用CF16刀口法兰连接类型，进气端与连接管路相连，另一端与真空管道系统的进气口相连。 6.根据权利要求1所述的一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：所述管道烘烤系统由加热带、保温材料和温度控制装置所组成；所述加热带覆盖在真空管道系统以及需要烘烤的部分真空获得系统和测试充气系统管道和阀门的外部，所述加热带加热温度可以达到450℃；所述保温材料覆盖在加热带的外部；所述温度控制装置包括测温热电偶及温控仪表和固态继电器。 7.根据权利要求1所述的一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：所述样品激活系统由加热装置、温控装置所组成；所述加热装置是置于石英样品管内部的加热体、置于石英管外部的红外加热装置、感应加热装置或加热炉中的一种；所述温控装置由测温装置和控制仪表组成，所述测温装置可以是石英管内部接触样品的热电偶、置于石英管外部的红外测温仪的一种；所述样品激活系统可对样品加热到1000℃并保温。 8.根据权利要求1所述的一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：所述数据采集及控制系统由数据采集和系统控制两部分组成；所述数据采集部分包括数据采集卡、数据记录仪、电脑和软件；所述系统控制部分包括控制卡、电脑和软件，所述系统控制部分根据软件信号或人工信号对真空泵的开关、截止阀门的开闭、微调阀门的调节、真空计的开关、烘烤装置的开关、激活装置的开关进行控制或调节。 9.根据权利要求1所述的一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：所述设备框架为装载上述七个子系统的载体，所述设备框架采用铝型材或不锈钢制作。
所属类别：	发明专利