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原文传递显微扫描平台及工作区域平面度校准方法

专利名称：	显微扫描平台及工作区域平面度校准方法
摘要：	本发明涉及显微镜扫描技术领域，尤其为显微扫描平台，包括扫描平台，所述扫描平台为工作台，且工作台表面设有XY坐标系，X轴与Y轴的零点交接于扫描平台的拐角处，故X轴与Y轴所形成面积位于坐标系的第一象限，且X轴与Y轴坐标值均为正值，显微扫描平台工作区域平面度的校准方法。本发明通过采用X轴和Y轴来对扫描平台进行快速全面的扫描，并通过坐标系来对扫描平台的缺陷处进行确定，对缺陷处进行标记和记录，方便工作人员对扫描平台进行调整，对缺陷处进行修正，同时解决了现有的供显微扫描平台及工作区域平面度校准方法无法对扫描平台进行快速扫描，且无法对缺陷处的具体位置进行确定和调整的问题。
专利类型：	发明专利
申请人：	苏州浚惠生物科技有限公司
发明人：	阎灼辉
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T19:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T08:00:00+0805
申请号：	CN201911320910.7
公开号：	CN111122583A
代理机构：	北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)
代理人：	刘静
分类号：	G01N21/88;G01N25/72;G;G01;G01N;G01N21;G01N25;G01N21/88;G01N25/72
申请人地址：	200233 上海市徐汇区桂平路333号6号楼103室
主权项：	1.显微扫描平台，包括扫描平台，其特征在于：所述扫描平台为工作台，且工作台表面设有XY坐标系，X轴与Y轴的零点交接于扫描平台的拐角处，故X轴与Y轴所形成面积位于坐标系的第一象限，且X轴与Y轴坐标值均为正值。 2.显微扫描平台工作区域平面度的校准方法，包括如下步骤：第一步：移动装置的构建，将支撑件固定安装在显微扫描平台的侧面，并将两个驱动机构安装于支撑件的内部，使其可以沿X轴和Y轴进行移动；第二步：扫描设备的构建，将红外线扫描仪安装在驱动机构的下方，并使红外线扫描仪对准显微扫描平台，对其进行扫描；第三步：扫描，通过启动驱动机构来对红外线扫描仪沿X轴进行移动，并开启红外线扫描仪来对显微扫描平台进行扫描；第四步：缺陷反馈，红外线扫描信息逐步反馈于显示屏，并通过显示屏记录板记录缺陷位置，对X轴和Y轴的坐标值进行记录；第五步：换位扫描，将红外线扫描仪取下，安装在另一个驱动机构上，使红外线扫描仪沿Y轴进行移动，对缺陷处进行扫描；第六步：缺陷范围判定，将红外线扫描仪沿X轴和Y轴进行扫描的缺陷点进行记录，并对缺陷面积进行确定；第七步：平面度校准，将红外线扫描仪对准缺陷处，并对显微扫描平台进行逐步调整。 3.根据权利要求2所述的显微扫描平台工作区域平面度的校准方法，其特征在于：所述第一步中，驱动机构为X轴驱动机构和Y轴驱动机构，且驱动动力部分为驱动气缸。 4.根据权利要求2所述的显微扫描平台工作区域平面度的校准方法，其特征在于：所述第一步中，支撑件为滑动导轨，且滑动导轨的数量为两个，呈X轴和Y轴分布。 5.根据权利要求2所述的显微扫描平台工作区域平面度的校准方法，其特征在于：所述第二步中，红外线扫描仪的扫描范围大于显微平台的宽度和长度，且红外线扫描仪与移动装置进行弹性卡接。 6.根据权利要求2所述的显微扫描平台工作区域平面度的校准方法，其特征在于：所述第三步中，红外线扫描仪位于X轴支撑件的正下方，对显微扫描平台进行完整扫描。 7.根据权利要求2所述的显微扫描平台工作区域平面度的校准方法，其特征在于：所述第四步中，通过显示屏来对缺陷处进行显示，方便工作人员进行观看，并方便对缺陷位置进行记录。 8.根据权利要求2所述的显微扫描平台工作区域平面度的校准方法，其特征在于：所述第五步中，可以沿Y轴进行扫描，与X轴的缺陷数据进行契合匹配，便于对缺陷范围进行确定。 9.根据权利要求2所述的显微扫描平台工作区域平面度的校准方法，其特征在于：所述第六步中，对X轴和Y轴的坐标数据进行确定，便于工作人员对其进行限定。 10.根据权利要求2所述的显微扫描平台工作区域平面度的校准方法，其特征在于：所述第七步中，可以逐步对显微扫描平台进行调整，使缺陷范围逐步缩小。
所属类别：	发明专利