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原文传递一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法

专利名称：	一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法
摘要：	本发明涉及一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法；其特征在于：包括喷射浆液的喷头、收集所述浆液的液缸、储存废浆的第一储罐、将所述废浆过滤成清浆的过滤装置和储存所述清浆的第二储罐；所述液缸设置有连接所述喷头的第一管道、连接所述第一储罐的第二管道和连接所述第二储罐的第三管道；所述过滤装置的流入口通过第四管道连通所述第一储罐；所述过滤装置的流出口通过第五管道连通所述第二储罐。解决了现有方案造成的导致金刚线对硅材料切割能力的下降进而导致金刚线切割质量的降低、加工后期浆液硅粉含量过高导致硅片质量较差加工过程硅片质量起伏较大很难进行控制和无法对浆液进行再利用造成资源的浪费等问题。
专利类型：	发明专利
申请人：	无锡荣能半导体材料有限公司
发明人：	冯震坤
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T14:00:00+0805
申请号：	CN201911353038.6
公开号：	CN111002497A
代理机构：	无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	姬颖敏
分类号：	B28D5/04;B28D5/00;B28D7/00;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/04;B28D5/00;B28D7/00
申请人地址：	214183 江苏省无锡市惠山区玉祁工业集中区
主权项：	1.一种用于切片机的浆液处理系统，其特征在于：包括喷射浆液的喷头(1)、收集所述浆液的液缸(2)、储存废浆的第一储罐(3)、将所述废浆过滤成清浆的过滤装置(4)和储存所述清浆的第二储罐(5)；所述液缸(2)设置有连接所述喷头(1)的第一管道(21)、连接所述第一储罐(3)的第二管道(22)和连接所述第二储罐(5)的第三管道(23)；所述过滤装置(4)的流入口通过第四管道(41)连通所述第一储罐(3)；所述过滤装置(4)的流出口通过第五管道(42)连通所述第二储罐(5)。 2.根据权利要求1所述的用于切片机的浆液处理系统，其特征在于：所述喷头(1)喷射所述浆液的一端设置有导流装置(11)；所述导流装置(11)包括导流板(12)和储存所述浆液的存液槽(13)；所述存液槽(13)内浆液沿所述导流板(12)扩散流动。 3.根据权利要求1所述的用于切片机的浆液处理系统，其特征在于：所述第一管道(21)上设置有控住浆液喷射量的第一输送装置(24)；所述第一输送装置(24)设置于所述第一管道(21)上靠近所述喷头(1)的一端。 4.根据权利要求1所述的用于切片机的浆液处理系统，其特征在于：所述第二管道(22)上设置有将所述液缸(2)内浆液输送至所述第一储罐(3)内的第二输送装置(25)；所述第二输送装置(25)设置于所述第二管道(22)上靠近所述第一储罐(3)的一端；所述第二管道(22)上靠近所述液缸(2)的一端设置有第一控制阀(61)。 5.根据权利要求1所述的用于切片机的浆液处理系统，其特征在于：所述第四管道(41)上设置有将所述第一储罐(3)内废浆输送至所述过滤装置(4)流入口的第三输送装置(43)；所述第三输送装置(43)设置于所述第四管道(41)上靠近所述过滤装置(4)流入口的一端；所述第四管道(41)上靠近所述第一储罐(3)的一端设置有第二控制阀(62)。 6.根据权利要求1所述的用于切片机的浆液处理系统，其特征在于：所述第五管道(42)上设置有将所述过滤装置(4)内清浆输送至所述第二储罐(5)内的第四输送装置(44)；所述第四输送装置(44)设置于所述第五管道(42)上靠近所述第二储罐(5)的一端；所述第五管道(42)上靠近所述过滤装置(4)的一端设置有第三控制阀(63)。 7.根据权利要求1所述的用于切片机的浆液处理系统，其特征在于：所述第三管道(23)上设置有将所述第二储罐(5)内清浆输送至所述液缸(2)内的第五输送装置(26)；所述第五输送装置(26)设置于所述第三管道(23)上靠近所述液缸(2)的一端；所述第三管道(23)上靠近所述第二储罐(5)的一端设置有第四控制阀(64)。 8.根据权利要求1所述的用于切片机的浆液处理系统，其特征在于：所述过滤装置(4)为板框压滤机。 9.一种用于切片机的浆液处理系统的工作方法，其特征在于：当所述用于切片机的浆液处理系统工作时，用于切片机的浆液处理系统的工作方法包括以下步骤： a、第一输送装置(24)将液缸(2)内浆液通过喷头(1)喷射； b、浆液通过导流装置(11)扩散流出，切片机产生的废浆回流到所述液缸(2)内； c、将第一控制阀(61)打开，第二输送装置(25)将所述液缸(2)内浆液通过第二管道(22)输送到第一储罐(3)内； d、将第二控制阀(62)打开，第三输送装置(43)将所述第一储罐(3)内的废浆通过第四管道(41)输送到过滤装置(4)的流入口； e、所述过滤装置(4)对所述废浆过滤成清浆；所述清浆从所述过滤装置(4)的流出口排出； f、将第三控制阀(63)打开，第四输送装置(44)将所述过滤装置(4)内的清浆通过第五管道(42)输送到第二储罐(5)内； g、将第四控制阀(64)打开，第五输送装置(26)将所述第二储罐(5)内清浆通过第三管道(23)输送到液缸(2)内。
所属类别：	发明专利