详情

原文传递一种修饰氧化锡的传感器及其制备方法和在氮氧化物气敏检测中的应用

专利名称：	一种修饰氧化锡的传感器及其制备方法和在氮氧化物气敏检测中的应用
摘要：	本发明提供了一种修饰SnO2的传感器及其制备方法和在氮氧化物气敏检测中的应用。本发明在3D结构的RGO水凝胶上修饰SnO2，使用水热合成法制备SnO2/RGOH气敏传感器，并在基板另一侧制备微型加热器用以调节检测温度和湿度，将其应用于NO2气体检测。传感器具有低检出限、高灵敏度、优秀的选择性与抗干扰性，传感器灵敏度为4.3ppm‑1，检出限为2.8ppb。传感器可使用柔性基底，使其在高度弯折的情况下保持高灵敏度与高可靠性。并可在常温条件下实现对NO2的高灵敏与高选择性检测。
专利类型：	发明专利
申请人：	广州钰芯传感科技有限公司
发明人：	奚亚男;胡淑锦
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T17:00:00+0805
申请号：	CN201911358228.7
公开号：	CN111024777A
代理机构：	佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	喻振兴
分类号：	G01N27/12;H05B3/12;G;H;G01;H05;G01N;H05B;G01N27;H05B3;G01N27/12;H05B3/12
申请人地址：	510000 广东省广州市南沙区南沙街进港大道8号1104房
主权项：	1.一种修饰SnO2的传感器，其特征在于，所述气体传感器包括基板、化学电阻器和微型加热器，其中所述化学电阻器和微型加热器分别位于所述基板的两侧。 2.根据权利要求1所述的一种修饰SnO2的传感器，其特征在于，所述化学电阻器包括基底和电极层，其中所述基底为Si/SiO2晶片或LCP薄膜，所述电极层修饰了3D SnO2/RGOH结构层。 3.根据权利要求1所述的一种修饰SnO2的RGOH传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、3D SnO2/RGOH的制备：将石墨烯分散在去离子水中得到石墨烯水溶液，取一定量石墨烯水溶液并向其中添加SnCl2·2H2O，将混合物超声处理10分钟，密封在高压釜中加热得到3D SnO2/RGOH； S2、化学电阻器的制备：在基板上旋涂光刻胶后进行光刻、溅射Ti/Au层和剥离工艺，得到叉指电极； S3、微型加热器的制备：在所述步骤S2使用的基板的另一面上进行光刻、溅射Ti/Pt层和剥离工艺，得到蛇形铂微线；再进行进行光刻、溅射Ti/Au层和剥离工艺，得到与铂微线对准的接触垫； S4、SnO2/RGOH气体传感器的制备：所述步骤S1制得的SnO2/RGOH用去离子水清洗后重新分散在水中并超声处理20分钟，得到SnO2/RGOH水分散液，并通过滴铸将其沉积在所述步骤S2制得的叉指电极表面，干燥后制得SnO2/RGOH气体传感器。 4.根据权利要求3所述方法制备的一种修饰SnO2的传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，石墨烯水溶液的浓度为1mg/mL；石墨烯和SnCl2·2H2O的质量比为1：9。 5.根据权利要求3所述方法制备的一种修饰SnO2的传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，高压釜中加热反应条件为在180℃条件下加热10～12小时。 6.根据权利要求3所述方法制备的一种修饰SnO2的传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述叉指电极的溅射条件为：Ti层厚度为15nm，Au层厚度为200nm。 7.根据权利要求3所述方法制备的一种修饰SnO2的传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S3中，所述铂微线的溅射条件为：Ti层厚度为15nm，Pt层厚度为300nm；所述接触垫的溅射条件为：Ti层厚度为5nm，Au层厚度为300nm。 8.根据权利要求3所述方法制备的一种修饰SnO2的传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述SnO2/RGOH水分散液的浓度为1.0mg/mL。 9.根据权利要求1所述的一种修饰SnO2的传感器在氮氧化物气敏检测中的应用，其特征在于，所述传感器可以在常温下检测二氧化氮，检出限为2.8ppb。
所属类别：	发明专利