专利名称: |
扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座 |
摘要: |
本发明的一种扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,属于材料微纳尺度结构与性能原位表征技术领域,由相互凹凸配合并用于夹持片状样品的装载台和固定台组成,装载台在靠近于固定台的一侧顶部开设有侧开凹槽,固定台在靠近装载台的一侧设有与侧开凹槽卡合的凸块,且固定台上所设的凸块相对于装载台上所设的侧开凹槽轴向滑动配合;装载台面对固定台的对应面上并位于侧开凹槽两侧开设有安装孔,固定台面对装载台的对应面上并位于凸块两侧开设有与安装孔对应的通孔,且装载台上所设的安装孔与固定台上所设的通孔通过联接件连接;装载台在背离固定台的一侧顶部开设有用于放置三维原子探针样品的圆孔。本通用样品座适用于原位力学加载、扫描电镜和三维原子探针设备。 |
专利类型: |
发明专利 |
申请人: |
重庆大学 |
发明人: |
曹玲飞;宋辉;吴晓东;张玲;黄晓旭 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
1900-01-20T00:00:00+0805 |
发布日期: |
1900-01-20T10:00:00+0805 |
申请号: |
CN201911370804.X |
公开号: |
CN110987995A |
代理机构: |
北京同恒源知识产权代理有限公司 |
代理人: |
赵荣之 |
分类号: |
G01N23/2204;G01N23/2251;G01N3/04;H01J37/20;G;H;G01;H01;G01N;H01J;G01N23;G01N3;H01J37;G01N23/2204;G01N23/2251;G01N3/04;H01J37/20 |
申请人地址: |
400044 重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号 |
主权项: |
1.一种扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,由相互凹凸配合并用于夹持片状样品的装载台(1)和固定台(2)组成,装载台在靠近于固定台的一侧顶部开设有侧开凹槽(11),固定台在靠近装载台的一侧设有与侧开凹槽卡合的凸块(21),且固定台上所设的凸块相对于装载台上所设的侧开凹槽轴向滑动配合;装载台面对固定台的对应面上并位于侧开凹槽两侧开设有安装孔(12),固定台面对装载台的对应面上并位于凸块两侧开设有与安装孔对应的通孔(22),且装载台上所设的安装孔与固定台上所设的通孔通过联接件连接;装载台在背离固定台的一侧顶部开设有用于放置三维原子探针样品的圆孔(13)。 2.根据权利要求1所述的扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,所述联接件为与安装孔所设螺纹相匹配的螺栓,或与安装孔及通孔过盈配合且具有锥度的销柱。 3.根据权利要求1所述的扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,所述装载台底部设有底柱(3),所述底座上套装有延长杆(4)。 4.根据权利要求3所述的扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,所述延长杆套设于呈中空状的底柱内,或所述底柱套设于呈中空状的延长杆内;相应的底柱或延长杆侧面开始有限位孔(31)。 5.根据权利要求3或4所述的扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,所述装载台底部设有底板,所述固定台可滑动的设置在底板上,所述底柱设于底板下方。 6.根据权利要求1所述的扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,所述凸块在面对侧开凹槽的对应面设有高弹性材料,所述高弹性材料为橡胶垫或记忆海绵。 7.根据权利要求1所述的扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,所述凸块的外轮廓具有与侧开凹槽的内轮廓相同的非圆形横截面,所述非圆形横截面为坡形、D形或半椭圆形。 8.根据权利要求1所述的扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,所述装载台上设有相对于其顶面能向背离侧开凹槽旋转90°的转台(14),所述圆孔设于转台上。 9.根据权利要求1所述的扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,装载台在背离固定台的背离侧面也开设有用于放置三维原子探针样品的所述圆孔。 10.根据权利要求1所述的扫描电镜和原位力学测试及三维原子探针设备通用样品座,其特征在于,所述侧向凹槽的底部沿其轴向设有条形槽,所述凸块底部设有与条形槽相匹配的导向轨。 |
所属类别: |
发明专利 |