原文传递
一种用于微机电系统监测的光纤探针
| 专利名称： | 一种用于微机电系统监测的光纤探针 |
| 摘要： | 本发明提供的是一种用于微机电系统监测的光纤探针。其特征是：它由单模光纤1，大芯径渐变折射率光纤2，二元菲涅尔透镜3，待测物4，位移台5，光源6，三端口环形器7，光功率计8，计算机9组成。本发明可用于微机电系统的便携、非接触式无损监测，可广泛用于光纤传感等领域。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 桂林电子科技大学 |
| 发明人： | 苑立波;杜佳豪 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1900-01-20T00:00:00+0805 |
| 发布日期： | 1900-01-20T01:00:00+0805 |
| 申请号： | CN201911377636.7 |
| 公开号： | CN111089844A |
| 分类号： | G01N21/25;G01N21/01;G01M11/00;G02B6/25;G02B6/42;G;G01;G02;G01N;G01M;G02B;G01N21;G01M11;G02B6;G01N21/25;G01N21/01;G01M11/00;G02B6/25;G02B6/42 |
| 申请人地址： | 541004 广西壮族自治区桂林市桂林金鸡路1号 |
| 主权项： | 1.一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是：它由单模光纤1，大芯径渐变折射率光纤2，二元菲涅尔透镜3，待测物4，位移台5，光源6，三端口环形器7，光功率计8，计算机9组成。所述的系统中光源6发出的光由环形器1#端口进入三端口环形器7，环形器2#端口输出光信号通过单模光纤1和大芯径渐变折射率光纤2进入二元菲涅尔透镜3。由于二元菲涅尔透镜3入射光有沿轴向色散的作用，光束通过二元菲涅尔透镜3会在透镜后的光轴处会聚成点。将被测物体4放在二元菲涅尔透镜3下的空间轴向位置，被测物体4可以通过位移台5改变其位置。光束照到被测物体4表面时会发生反射，被反射的信号经环形器2#端口进入三端口环形器7，从环形器3#端口输出，并由光功率计8接收。光功率计8接收到的数据传至计算机9监测处理。 2.根据权利要求1所述的一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是，大芯径渐变折射率光纤2也可以是无芯光纤。 3.根据权利要求1所述的一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是，二元菲涅尔透镜3也可以是二元达曼光栅、闪耀光栅或阵列光栅。 4.根据权利要求1所述的一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是，二元菲涅尔透镜3由飞秒激光微加工系统在大芯径渐变折射率光纤2纤芯端加工而成。 5.根据权利要求1所述的一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是，二元菲涅尔透镜3的偶数环带刻蚀深度为0.56μm。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
