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原文传递一种高纯前驱体材料取样系统及取样方法

专利名称：	一种高纯前驱体材料取样系统及取样方法
摘要：	本发明涉及前驱体材料生产技术领域，尤其涉及一种高纯前驱体材料取样系统及取样方法，包括收集罐、下料管、真空管道、惰性气体管道、放空管道，下料管设置在收集罐的下方，沿下料管物料走向依次设置有第一隔膜阀、三通隔膜阀a，三通隔膜阀a还连接有取样预留管，真空管道一端与真空发生器连接，另一端与取样预留管连接，真空管道上设置有第二隔膜阀，惰性气体管道一端连接纯化气体，另一端与三通隔膜阀a连接，还包括取样器，取样器包括三通隔膜阀b，三通隔膜阀b其中两个端口分别与取样预留管和放空管道连接。本发明取样系统适用于低饱和蒸气压的高纯前驱体材料的取样分析，能最大程度确保取样系统和高纯介质的洁净和稳定。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	合肥安德科铭半导体科技有限公司
发明人：	汪海燕;朱思坤;李建恒
专利状态：	有效
申请日期：	2021-12-29T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-15T00:00:00+0800
申请号：	CN202111642988.8
公开号：	CN114184431A
代理机构：	北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	赵丹
分类号：	G01N1/14;G01N1/34;B08B5/02;G;B;G01;B08;G01N;B08B;G01N1;B08B5;G01N1/14;G01N1/34;B08B5/02
申请人地址：	230000 安徽省合肥市高新区创新大道106号明珠产业园3号楼5层E区
主权项：	1.一种高纯前驱体材料取样系统，其特征在于，包括收集罐(1)、下料管(6)、真空管道(14)、惰性气体管道(16)和放空管道(15)，所述下料管(6)设置在收集罐(1)的下方，沿所述下料管(6)物料走向依次设置有第一隔膜阀(2)、三通隔膜阀a(5)，所述三通隔膜阀a(5)还连接有取样预留管(17)，所述真空管道(14)一端与真空发生器连接，所述真空管道(14)另一端与取样预留管(17)连接，所述真空管道(14)上设置有第二隔膜阀(4)，所述惰性气体管道(16)一端连接纯化气体，另一端与三通隔膜阀a(5)连接；取样系统还包括取样器(20)，所述取样器(20)包括三通隔膜阀b(7)、第三隔膜阀(8)、取样瓶(11)，所述第三隔膜阀(8)设置于三通隔膜阀b(7)与取样瓶(11)之间，所述三通隔膜阀b(7)其中两个端口分别与取样预留管(17)和放空管道(15)连接，所述有第一隔膜阀(2)与三通隔膜阀a(5)之间设置有软管(3)，所述软管(3)一端与第一隔膜阀(2)连接另一端与三通隔膜阀a(5)前的下料管(6)连接。 2.根据权利要求1所述的高纯前驱体材料取样系统，其特征在于，所述惰性气体管道(16)沿气流冲洗方向依次设置有第二单向阀(13)、第五隔膜阀(12)。 3.根据权利要求1所述的高纯前驱体材料取样系统，其特征在于，所述放空管道(15)沿放空气流方向依次设置有第一单向阀(9)、第四隔膜阀(10)。 4.根据权利要求1所述的高纯前驱体材料取样系统，其特征在于，所述纯化气体为纯度不低于9N的惰性气体，所述纯化气体包括氮气、氦气或氩气。 5.根据权利要求1所述的高纯前驱体材料取样系统，其特征在于，所述取样预留管(17)及放空管道(15)与三通隔膜阀b(7)的连接方式为通过VCR接口连接。 6.根据权利要求1所述的高纯前驱体材料取样系统，其特征在于，所述下料管(6)、真空管道(14)、惰性气体管道(16)、放空管道(15)均缠绕有加热带进行加热。 7.根据权利要求1所述的高纯前驱体材料取样系统，其特征在于，所述第三隔膜阀(8)与第三通隔膜阀b(7)通过管道焊接连接，所述第三隔膜阀(8)与取样瓶(11)通过VCR接口连接。 8.根据权利要求7所述的高纯前驱体材料取样系统，其特征在于，所述VCR接口连接在手套箱中进行。 9.一种基于权利要求1-8任一项所述高纯前驱体材料取样系统的高纯前驱体材料取样方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、取样器(20)连接时第三隔膜阀(8)、三通隔膜阀a(5)取样预留管(17)出口端保持关闭；取样器(20)连接后第一隔膜阀(2)及三通隔膜阀a(5)下料管(6)物料走向依然保持开启，关闭第二隔膜阀(4)，打开第五隔膜阀(12)、第四隔膜阀(10)，对管道进行吹扫； S2、关闭第五隔膜阀(12)、第四隔膜阀(10)，打开第二隔膜阀(4)，由连接真空发生器的真空管道(14)进行抽真空； S3、重复步骤S1、S2直至管道抽真空压力<10Pa满足系统取样要求； S4、满足系统取样要求的真空度实现后，关闭第五隔膜阀(12)、第二隔膜阀(4)、第四隔膜阀(10)，三通隔膜阀b(7)通向取样器(20)端打开通向放空管道(15)端关闭，然后打开三通隔膜阀a(5)取样预留管(17)出口端并立刻关闭，打开时间持续1-3s，由于真空，高纯前驱体液体将被吸入取样预留管(17)中； S5、打开第三隔膜阀(8)，随后打开第五隔膜阀(12)通入少量惰性气体，打开时间持续1-3s，高纯前驱体液体进入取样瓶(11)、关闭第三隔膜阀(8)； S6、打开第四隔膜阀(10)、第五隔膜阀(12)通入纯化气体对系统进行吹扫，吹扫完成后关闭第四隔膜阀(10)、第五隔膜阀(12)； S7、打开第二隔膜阀(4)，由连接真空发生器的真空管道(14)进行抽真空； S8、重复步骤S6、S7直至管道抽真空压力<10Pa满足系统取样要求后关闭第二隔膜阀(4)，第五隔膜阀(12)、第四隔膜阀(10)； S9、关闭三通隔膜阀b(7)，取下取样器(20)并在接口处均安装堵头，取样结束。 10.根据权利要求9所述的高纯前驱体材料取样方法，其特征在于，所述步骤S1、S2的单次吹扫或者抽真空时间为2-3min，所述步骤S6、S7的单次吹扫或者抽真空时间为2-3min。
所属类别：	发明专利