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原文传递一种高通量扫描探针显微成像系统

专利名称：	一种高通量扫描探针显微成像系统
摘要：	本实用新型公开了一种高通量扫描探针显微成像系统。一种高通量扫描探针显微成像系统，包括：依次连接的波形发生器和成像装置，成像装置包括控制器和检测操作部分；波形发生器用于产生激励信号，激励信号为至少两个子波形按预设拼接顺序合成的信号；检测操作部分，用于将激励信号施加至待测目标的多个像素点以获得每个像素点对应的测试结果信号；控制器与检测操作部分和控制器连接，用于将从波形发生器接收的激励信号传输至检测操作部分，并从检测操作部分接受对应的测试结果信号，并基于测试结果信号和拼接顺序生成待测目标的测试结果。达到了一次扫描获得多维物性测试结果数据，提高扫描效率，提升测试结果数据的分辨率的效果。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	南方科技大学
发明人：	黄博远;李江宇
专利状态：	有效
申请日期：	2021-04-09T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-08T00:00:00+0800
申请号：	CN202120725634.9
公开号：	CN215985760U
代理机构：	北京品源专利代理有限公司
代理人：	潘登
分类号：	G01N21/84;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/84
申请人地址：	518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
主权项：	1.一种高通量扫描探针显微成像系统，其特征在于，包括：依次连接的波形发生器和成像装置，所述成像装置包括控制器和检测操作部分；所述波形发生器用于产生激励信号，所述激励信号为至少两个子波形按预设拼接顺序合成的信号；所述检测操作部分，用于将所述激励信号施加至待测目标的多个像素点以获得每个像素点对应的测试结果信号；所述控制器与所述检测操作部分连接，用于将从所述波形发生器接收的所述激励信号传输至所述检测操作部分，并从所述检测操作部分接受对应的测试结果信号，并基于所述测试结果信号和拼接顺序生成待测目标的测试结果。 2.根据权利要求1所述的高通量扫描探针显微成像系统，其特征在于，所述控制器包括：第一输入接口、第一输出接口和第二输出接口，所述波形发生器包括：第一信号输入接口、第二信号输入接口、第一信号输出接口和触发接口；所述控制器的第二输出接口与所述波形发生器的触发接口连接，用于当扫描信号达到触发点时，所述控制器将生成的触发信号传输至所述波形发生器。 3.根据权利要求2所述的高通量扫描探针显微成像系统，所述波形发生器在所述成像装置扫描前生成激励信号，其特征在于，在所述波形发生器接收到所述控制器传输的触发信号后，所述波形发生器将激励信号转换为预设采样频率的模拟信号。 4.根据权利要求3所述的高通量扫描探针显微成像系统，其特征在于，所述波形发生器的第一信号输出接口与波形发生器的第二信号输入接口以及所述控制器的第一输入接口连接，用于将所述波形发生器生成的预设采样频率的模拟信号输出至所述控制器并实时进行信号记录。 5.根据权利要求1所述的高通量扫描探针显微成像系统，其特征在于，所述控制器的第一输出接口与所述波形发生器的第一信号输入接口连接，用于将所述检测操作部分生成的所述测试结果信号输出至所述波形发生器进行数据收集。 6.根据权利要求1所述的高通量扫描探针显微成像系统，其特征在于，还包括终端设备；所述终端设备与波形发生器和成像装置连接，用于对所述波形发生器和所述成像装置进行控制，且将所述波形发生器收集的数据进行后处理和显示。 7.根据权利要求1所述的高通量扫描探针显微成像系统，其特征在于，所述检测操作部分包括扫描探针，所述扫描探针依次将所述激励信号施加至待测目标的多个像素点以获得每个像素点对应的测试结果信号。 8.根据权利要求7所述的高通量扫描探针显微成像系统，其特征在于，所述检测操作部分包括悬臂梁，所述悬臂梁与所述扫描探针连接，所述悬臂梁根据所述扫描探针与所述待测目标之间的相互作用力进行偏转或振动；所述测试结果信号根据激光照射在所述悬臂梁上形成的反射光的偏移量确定。 9.根据权利要求1所述的高通量扫描探针显微成像系统，其特征在于，所述子波形具有不同特性参数，所述不同特征参数包括不同频率、不同周期、不同幅值和不同相位中的一种或多种。
所属类别：	实用新型