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原文传递基于重建体积的薄片对准

专利名称：	基于重建体积的薄片对准
摘要：	基于重建体积的薄片对准。本文公开了用于基于体积重建将薄片对准带电粒子束的设备和方法。示例方法至少包含：形成样品的一部分的重建体积，所述样品包含多个结构，并且所述重建体积包含所述多个结构的一部分；在一定角度范围内对所述重建体积的多个平面中的每个平面执行数学变换；以及基于对所述多个平面中的每个平面的所述数学变换，确定所述样品在所述角度范围内的目标定向，其中所述目标定向使所述多个结构平行于带电粒子束的光轴对准。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	FEI 公司
发明人：	T·安德利卡;J·斯塔雷克;L·许布纳
专利状态：	有效
申请日期：	2021-09-22T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-29T00:00:00+0800
申请号：	CN202111106883.0
公开号：	CN114252462A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	张凌苗;周学斌
分类号：	G01N23/04;G01N23/2251;G01N23/2204;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/04;G01N23/2251;G01N23/2204
申请人地址：	美国俄勒冈州
主权项：	1.一种方法，其包括：形成样品的一部分的重建体积，所述样品包含多个结构，并且所述重建体积包含所述多个结构的一部分；在一定角度范围内对所述重建体积的多个平面中的每个平面执行数学变换；以及基于对所述多个平面中的每个平面的所述数学变换，确定所述样品在所述角度范围内的目标定向，其中所述目标定向使所述多个结构平行于带电粒子束的光轴对准。 2.根据权利要求1所述的方法，其中在一定角度范围内对多个平面中的每个平面执行数学变换包含：以每个平面的所述角度范围的多个角度对所述多个平面中的每个平面执行数学变换。 3.根据权利要求1所述的方法，其中在一定角度范围内对多个平面中的每个平面执行数学变换包含：以每个平面的所述角度范围的不同角度对所述多个平面中的每个平面执行数学变换。 4.根据权利要求1所述的方法，其中在一定角度范围内对多个平面中的每个平面执行数学变换包含：在所述角度范围内对所述多个平面中的每个平面执行radon变换。 5.根据权利要求4所述的方法，其中在所述角度范围内对所述多个平面中的每个平面执行radon变换包含：以每个平面的所述角度范围的多个角度对所述多个平面中的每个平面执行所述radon变换。 6.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含：对所述多个平面中的每个平面执行每个数学变换的统计学表征，其中，在所述角度范围内形成一定范围的统计学表征数据。 7.根据权利要求6所述的方法，其进一步包含：分析统计学数据的所述范围的最大值，其中所述最大值指示所述目标定向。 8.根据权利要求6所述的方法，其中所述统计学表征包含标准偏差。 9.根据权利要求6所述的方法，其中所述统计学表征包含方差。 10.根据权利要求1所述的方法，其中形成样品的一部分的重建体积，所述重建体积包含多个结构，包含：获取所述样品的面部图像；移除所述样品的切片；获取所述样品的新曝光面的图像，所述新曝光面从所述切片移除中曝光；以及多次重复所述图像采集和切片移除步骤。 11.一种设备，其包括：耦接以沿着光轴提供离子束的聚焦离子束柱；耦接以提供电子束的电子束柱；以及耦接到非暂时性存储器或包含非暂时性存储器的控制器，所述非暂时性存储器包含代码，当由所述控制器执行时，所述代码使所述设备执行以下操作；使用所述离子束和所述电子束的组合形成样品的一部分的重建体积，所述样品包含多个结构，并且所述重建体积包含所述多个结构的一部分；在一定角度范围内对所述重建体积的多个平面中的每个平面执行数学变换；以及基于对所述多个平面中的每个平面的所述数学变换，确定所述样品在所述角度范围内的目标定向，其中所述目标定向使所述多个结构平行于带电粒子束的光轴对准。 12.根据权利要求11所述的设备，其中使所述设备在一定角度范围内对多个平面中的每个平面执行数学变换的所述代码进一步包含代码，当由所述控制器执行时，所述代码使所述设备执行以下操作：以每个平面的所述角度范围的多个角度对所述多个平面中的每个平面执行数学变换。 13.根据权利要求11所述的设备，其中使所述设备在一定角度范围内对多个平面中的每个平面执行数学变换的所述代码进一步包含代码，当由所述控制器执行时，所述代码使所述设备执行以下操作：以每个平面的所述角度范围的不同角度对所述多个平面中的每个平面执行数学变换。 14.根据权利要求1所述的设备，其中使所述设备在一定角度范围内对多个平面中的每个平面执行数学变换的所述代码进一步包含代码，当由所述控制器执行时，所述代码使所述设备执行以下操作：在所述角度范围内对所述多个平面中的每个平面执行radon变换。 15.根据权利要求14所述的设备，其中使所述设备在所述角度范围内对所述多个平面中的每个平面执行radon变换的所述代码进一步包含代码，当由所述控制器执行时，所述代码使所述设备执行以下操作：以每个平面的所述角度范围的多个角度对所述多个平面中的每个平面执行所述radon变换。 16.根据权利要求1所述的设备，其中所述非暂时性存储器包含代码，当由所述控制器执行时，所述代码使所述设备执行以下操作：对所述多个平面中的每个平面执行每个数学变换的统计学表征，其中，在所述角度范围内形成一定范围的统计学表征数据。 17.根据权利要求16所述的设备，其中使所述设备对所述多个平面中的每个平面执行每个数学变换的统计学表征的所述代码进一步包含代码，当由所述控制器执行时，所述代码使所述设备执行以下操作：分析统计学数据的所述范围的最大值，其中所述最大值指示所述目标定向。 18.根据权利要求16所述的设备，其中所述统计学表征包含标准偏差。 19.根据权利要求16所述的设备，其中所述统计学表征包含方差。 20.根据权利要求1所述的设备，其中所述非暂时性存储器包含代码，当由所述控制器执行时，所述代码使所述设备执行以下操作：获取所述样品的面部图像；移除所述样品的切片；获取所述样品的新曝光面的图像，所述新曝光面从所述切片移除中曝光；以及多次重复所述图像采集和切片移除步骤。
所属类别：	发明专利