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原文传递微通道光离子化检测器

专利名称：	微通道光离子化检测器
摘要：	微流体光离子化检测器(PID)可以包括衬底和导电层，所述导电层被形成在所述衬底上。所述导电层可以包括微通道以及第一电极区和第二电极区，所述第一电极区和所述第二电极区通过微通道被彼此分离，欧姆接触层被形成在所述第一电极区和所述第二电极区的顶部上，以及光源被形成在所述欧姆接触层上，用于朝向微通道发射光。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	纳华环境科技有限公司
发明人：	郑海生;王伟财;殷俊
专利状态：	有效
申请日期：	2020-07-08T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-18T00:00:00+0800
申请号：	CN202080054979.4
公开号：	CN114207428A
代理机构：	北京北翔知识产权代理有限公司
代理人：	关丽丽;郑建晖
分类号：	G01N27/62;G01N27/66;G01N30/60;G01N30/64;G;G01;G01N;G01N27;G01N30;G01N27/62;G01N27/66;G01N30/60;G01N30/64
申请人地址：	美国密苏里州
主权项：	1.一种微流体光离子化检测器(PID)，包括：衬底；导电层，所述导电层被形成在所述衬底上，所述导电层包括微通道，其中所述导电层进一步包括第一电极区和第二电极区，所述第一电极区和第二电极区通过微通道被彼此分离；欧姆接触层，所述欧姆接触层被形成在所述第一电极区和所述第二电极区的顶部上；以及光源，所述光源被形成在所述欧姆接触层上，用于朝向微通道发射光。 2.根据权利要求1所述的微流体PID，其中所述导电层由掺杂半导体材料形成。 3.根据权利要求1所述的微流体PID，其中所述第一电极区和所述第二电极区被形成有多个凹形图案。 4.根据权利要求1所述的微流体PID，其中所述欧姆接触层被形成有多个凹形图案。 5.根据权利要求1所述的微流体PID，其中所述欧姆接触层能够是均匀地包括导电材料的层。 6.根据权利要求1所述的微流体PID，其中所述欧姆接触层是多层，包括：第一层，所述第一层被形成在所述第一电极区和所述第二电极区的顶部上；以及第二层，所述第二层被形成在所述第一层的顶部上。 7.根据权利要求1所述的微流体PID，进一步包括：光传输层，所述光传输层被布置在所述欧姆接触层与所述光源之间。 8.根据权利要求7所述的微流体PID，所述光传输层被结合至所述导电层。 9.根据权利要求7所述的微流体PID，进一步包括：涂层，所述涂层被形成在所述光传输层上。 10.根据权利要求1所述的微流体PID，进一步包括：印刷电路板，所述印刷电路板被布置在光源的顶部上。 11.根据权利要求10所述的微流体PID，进一步包括：壳体，所述壳体包围所述衬底、所述导电层、所述欧姆接触层、所述光源以及所述印刷电路板。 12.根据权利要求11所述的微流体PID，进一步包括：密封剂，所述密封剂被填充在所述壳体内。 13.一种气相色谱系统，所述气相色谱系统包括根据权利要求1所述的微流体PID。 14.一种微流体光离子化芯片，包括：衬底；导电层，所述导电层被形成在所述衬底上，所述导电层包括微通道，其中所述导电层进一步包括第一电极区和第二电极区，所述第一电极区和所述第二电极区通过微通道被彼此分离；欧姆接触层，所述欧姆接触层被形成在所述第一电极区和所述第二电极区的顶部上；以及光传输层，所述光传输层被布置在欧姆接触层上。 15.一种微流体光离子化检测器(PID)，包括：根据权利要求14所述的微流体光离子化芯片；以及光源，所述光源被形成在光传输层上，用于朝向微通道发射光。 16.一种气相色谱系统，包括根据权利要求15所述的微流体PID。
所属类别：	发明专利