专利名称: |
气体渗透率测量方法、装置、设备及介质 |
摘要: |
本发明公开了一种薄膜的气体渗透率测量方法、装置、设备及介质,所述方法包括:获取温度传感器检测的温度数据及气压传感器检测的气压数据,所述温度传感器及所述气压传感器位于与所述积累室连通的检测室内;基于高斯过程回归算法对所述气压数据进行回归处理,以获取预测气压数据;根据所述预测气压数据,控制阀门开关时间,以使得所述气压数据位于预设气压范围内;基于所述阀门开关时间及渗透率计算公式,获取待测薄膜的气体渗透率测量值,所述阀门位于所述积累室与所述检测室之间。使用本申请中的薄膜的气体渗透率测量方法,能有效减小仪器检测误差,提高检测信号的准确性。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
湖北;42 |
申请人: |
华中科技大学 |
发明人: |
陈蓉;陈志平;单斌;曹坤;吴润卿;刘晨曦 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2021-06-25T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2022-12-27T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN202110714636.2 |
公开号: |
CN115524271A |
代理机构: |
华进联合专利商标代理有限公司 |
代理人: |
缪成珠 |
分类号: |
G01N15/08;G;G01;G01N;G01N15;G01N15/08 |
申请人地址: |
430070 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 |
主权项: |
1.一种薄膜的气体渗透率测量方法,其特征在于,所述待测薄膜将所述测试腔体分隔为进气室与积累室,所述进气室内的测试气体渗透过所述薄膜进入所述积累室,所述方法包括: 获取温度传感器检测的温度数据及气压传感器检测的气压数据,所述温度传感器及所述气压传感器位于与所述积累室连通的检测室内; 基于高斯过程回归算法对所述气压数据进行回归处理,以获取预测气压数据; 根据所述预测气压数据,控制阀门开关时间,以使得所述气压数据位于预设气压范围内; 基于所述阀门开关时间及渗透率计算公式,获取待测薄膜的气体渗透率测量值,所述阀门位于所述积累室与所述检测室之间。 2.根据权利要求1所述的薄膜的气体渗透率测量方法,其特征在于,所述获取气压传感器检测的气压数据之前,包括: 获取质谱仪检测的实时检测数据的信噪比及检测时间,所述质谱仪位于所述检测室内; 若所述信噪比大于或等于第一预设阈值,及/或所述检测时间大于或等于第二预设阈值,则获取所述气压传感器检测的气压数据。 3.根据权利要求2所述的薄膜的气体渗透率测量方法,其特征在于,还包括: 基于所述温度数据、所述气压数据及理想状态方程获取待测薄膜的气体渗透率预测值; 基于卡尔曼滤波算法及所述气体渗透率预测值对所述气体渗透率测量值进行滤波处理,以获取所述待测薄膜的气体渗透率。 4.根据权利要求3所述的薄膜的气体渗透率测量方法,其特征在于,所述根据所述预测气压数据,控制阀门开关时间,以使得所述气压数据位于预设气压范围内,包括: 若所述预测气压数据大于或等于第三预设阈值时,缩短阀门开启时间; 若所述预测气压数据小于第三预设阈值时,增加阀门开启时间。 5.根据权利要求4所述的薄膜的气体渗透率测量方法,其特征在于,所述基于所述阀门开关时间及渗透率计算公式获取待测薄膜的气体渗透率测量值,包括: 获取阀门开启累积时间; 基于所述阀门开启积累时间、所述温度数据及所述气压传感器检测的气压数据根据如下公式计算气体渗透率测量值: 上式中,JS为渗透率,Δps为所述检测室内气体压强,Δpo为初始状态检测室内气体压强,V为所述检测室体积,A为所述待测薄膜表面积,R为气体状态常数,T为所述温度传感器检测的温度数据,ta为所述阀门开启积累时间。 6.根据权利要求1-5任一项所述的薄膜的气体渗透率测量方法,其特征在于,所述理想气体状态方程为: PV=nRT; 上式中,P为所述气压传感器检测的气压数据,V为所述检测室体积,n为所述检测气体的物质的量,R为气体状态常数,T为所述温度传感器检测的温度数据。 7.根据权利要求1-5任一项所述的薄膜的气体渗透率测量方法,其特征在于,所述基于所述温度数据、所述气压数据及理想气体状态方程,获取待测薄膜的气体渗透率预测值,包括: 基于所述温度数据、所述气压数据及理想气体状态方程,计算所述检测气体的物质的量; 基于检测气体的物质的量获取待测薄膜的气体渗透率预测值,其中,所述待测薄膜的气体渗透率预测值=所述检测气体的物质的量/(检测时间*待测薄膜表面积)。 8.一种薄膜的气体渗透率测量装置,其特征在于,所述待测薄膜将所述测试腔体分隔为进气室与积累室,所述进气室内的测试气体渗透过所述薄膜进入所述积累室,所述装置包括: 检测数据获取模块,用于获取温度传感器检测的温度数据及气压传感器检测的气压数据,所述温度传感器及所述气压传感器位于与所述累积室连通的检测室内; 阀门开关时间控制模块,用于基于高斯过程回归算法对所述气压数据进行回归处理,以获取预测气压数据;根据所述预测气压数据,控制阀门开关时间,以使得所述气压数据位于预设气压范围内; 水氧渗透率数值获取模块,用于基于所述阀门开关时间及渗透率计算公式获取待测薄膜的气体渗透率测量值,所述阀门位于所述积累室与所述检测室之间。 9.一种计算机设备,包括存储器和处理器,所述存储器存储有计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7任一项所述的方法的步骤。 10.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至7任一项所述的方法的步骤。 |