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原文传递劈裂设备

专利名称：	劈裂设备
摘要：	本申请公开了一种劈裂设备。劈裂设备包括：机台；定位平台，设于机台上，用于对料片进行定位；第一相机模组，设于定位平台的上方，用于对定位平台上的料片进行拍摄；劈裂平台，设于机台上，用于支撑料片进行劈裂；劈裂平台与定位平台沿第一方向依次设置；第二相机模组，设于劈裂平台的上方，用于对劈裂平台上料片的正面进行拍摄；第三相机模组，设于劈裂平台的下方，用于对劈裂平台上料片的背面进行拍摄。本申请提供一种能对劈裂平台上料片的正面和背面进行拍摄，适用与不同类型料片劈裂的劈裂设备。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市大族半导体装备科技有限公司
发明人：	周福海;余俊华;胡心悦;尹建刚;邹志勇;高云峰
专利状态：	有效
申请日期：	2022-08-23T00:00:00+0800
发布日期：	2023-01-03T00:00:00+0800
申请号：	CN202222212752.7
公开号：	CN218196123U
分类号：	B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/304;H01L21/67;B;H;B28;H01;B28D;H01L;B28D5;B28D7;H01L21;B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/304;H01L21/67
申请人地址：	518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万廷工业区第六栋101
主权项：	1.一种劈裂设备，其特征在于，包括：机台；定位平台，设于所述机台上，用于对料片进行定位；第一相机模组，设于所述定位平台的上方，用于对所述定位平台上的料片进行拍摄；劈裂平台，设于所述机台上，用于支撑料片进行劈裂；所述劈裂平台与所述定位平台沿第一方向依次设置；第二相机模组，设于所述劈裂平台的上方，用于对所述劈裂平台上料片的正面进行拍摄识别；第三相机模组，设于所述劈裂平台的下方，用于对所述劈裂平台上料片的背面进行拍摄识别。 2.根据权利要求1所述的劈裂设备，其特征在于，还包括：劈刀组件，设于所述劈裂平台上方，用于对所述劈裂平台上的料片进行劈裂；所述第二相机模组设于所述劈刀组件上。 3.根据权利要求2所述的劈裂设备，其特征在于，所述劈刀组件包括：第一驱动件，设于所述机台上；安装板，与所述第一驱动件的输出端连接，所述第一驱动件能驱动所述安装板沿第一方向移动；所述第二相机模组设于所述安装板上；劈刀，设于所述安装板的底端。 4.根据权利要求3所述的劈裂设备，其特征在于，所述第二相机模组包括：第二驱动件，设于所述安装板上；相机，与所述第二驱动件的输出端连接，所述第二驱动件能驱动所述相机上下移动。 5.根据权利要求4所述的劈裂设备，其特征在于，所述第二相机模组还包括：第一连接板，所述第一连接板上设置有沿所述第一方向设置的条形孔，所述第一连接板通过所述条形孔与所述安装板可调连接；第二连接板，与所述第一连接板连接；第三连接板，其上设有第一弧形孔，所述第一弧形孔的圆心所在的轴线沿竖直方向；所述第三连接板通过所述第一弧形孔与所述第二连接板可调连接，以使所述第三连接板能绕竖直转轴转动；第四连接板，与所述第三连接板连接；所述第四连接板上设有第二弧形孔，所述第二弧形孔的圆心所在的轴线沿第一方向；所述第二驱动件的主体通过所述第二弧形孔与所述第四连接板可调连接，以使所述第二驱动件能绕与所述第一方向平行的转轴转动。 6.根据权利要求5所述的劈裂设备，其特征在于，所述第二相机模组还包括：第五连接板，将所述第二驱动件与所述第四连接板连，所述第五连接板上设有与所述第四连接板上的所述第二弧形孔对应的安装孔；转轴，其一端与所述第五连接板连接，所述第四连接板上设有供所述转轴穿过的转轴孔，所述转轴穿设于所述转轴孔中；限位片，设于所述转轴的另一端，所述限位片的长度大于所述转轴孔的直径，以将所述第五连接板限位在所述第四连接板上。 7.根据权利要求6所述的劈裂设备，其特征在于，所述转轴与所述限位片连接的一端为半轴，半轴部分具有沿所述转轴的轴向设置的切面，所述限位片设于所述切面。 8.根据权利要求4所述的劈裂设备，其特征在于，所述第二相机模组还包括：相机安装板，设于所述第二驱动件的输出端，所述相机设于所述相机安装板上；打光灯，与所述相机安装板连接且位于所述相机的下方。 9.根据权利要求8所述的劈裂设备，其特征在于，所述打光灯通过打光灯支架与所述相机安装板连接，所述打光灯支架设于所述相机沿第二方向的一侧，所述第二方向与所述第一方向垂直。 10.根据权利要求3至9任一项所述的劈裂设备，其特征在于，所述劈刀组件还包括：第三驱动件，设于所述安装板上，用于驱动所述劈刀上下移动，所述第二相机模组设于所述第三驱动件沿所述第一方向的一侧。