专利名称: |
一种脱胶架及脱胶机 |
摘要: |
本实用新型实施例提供了一种脱胶架及脱胶机,用于分离硅片与粘接板以及晶托形成的粘接体,所述脱胶架包括框架本体、安装载体和挡片;所述框架本体具有容纳所述粘接体的容纳腔;所述容纳腔的底部连接有所述安装载体,多个所述挡片与所述安装载体连接,且沿所述硅片的堆叠方向间隔设置。这种脱胶架自带的挡片,可取代传统脱胶架脱胶时人力手动插挡片的工序,有助于简化脱胶工序,提高脱胶效率。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
陕西;61 |
申请人: |
隆基绿能科技股份有限公司 |
发明人: |
张超;鲁战锋;任新刚;李静;张珊;杜杰;成路 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2022-07-27T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2023-01-13T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN202221961482.3 |
公开号: |
CN218286234U |
代理机构: |
北京润泽恒知识产权代理有限公司 |
代理人: |
赵娟 |
分类号: |
B28D7/00;H01L31/18;B;H;B28;H01;B28D;H01L;B28D7;H01L31;B28D7/00;H01L31/18 |
申请人地址: |
710100 陕西省西安市长安区航天中路388号 |
主权项: |
1.一种脱胶架,用于分离硅片与粘接板以及晶托形成的粘接体,其特征在于,所述脱胶架包括框架本体、安装载体和挡片; 所述框架本体具有容纳所述粘接体的容纳腔; 所述容纳腔的底部连接有所述安装载体,多个所述挡片与所述安装载体连接,且沿所述硅片的堆叠方向间隔设置。 2.根据权利要求1所述的脱胶架,其特征在于,所述挡片的厚度逐渐变化,所述挡片较厚的一侧与所述安装载体连接,所述挡片较薄的一侧朝向所述粘接体;其中,所述挡片的厚度方向与所述硅片的堆叠方向互相平行。 3.根据权利要求1或2所述的脱胶架,其特征在于,多个所述挡片与所述安装载体固定连接。 4.根据权利要求2所述的脱胶架,其特征在于,多个所述挡片与所述安装载体活动连接。 5.根据权利要求4所述的脱胶架,其特征在于,沿平行于所述硅片的堆叠方向,所述安装载体开设有滑槽,所述挡片均嵌设于所述滑槽内与所述安装载体滑动连接。 6.根据权利要求5所述的脱胶架,其特征在于,所述滑槽开口位置的尺寸小于所述滑槽底部位置的尺寸。 7.根据权利要求4所述的脱胶架,其特征在于,沿平行于所述硅片的堆叠方向,所述安装载体间隔设置有多个安装孔,至少部分所述安装孔中插装有所述挡片。 8.根据权利要求1所述的脱胶架,其特征在于,沿所述挡片的厚度方向,所述挡片的相对两侧倾斜呈楔形片状结构;或, 沿所述挡片的厚度方向,所述挡片的相对两侧外凸呈舌形片状结构。 9.根据权利要求8所述的脱胶架,其特征在于,所述安装载体与所述容纳腔的底部可拆卸地连接。 10.一种脱胶机,其特征在于,所述脱胶机包括权利要求1至9任一项所述的脱胶架。 |