详情

原文传递一种线锯单元、井字形环形线切割机构和开方机

专利名称：	一种线锯单元、井字形环形线切割机构和开方机
摘要：	本实用新型公开了硬脆材料切割设备技术领域的一种线锯单元、井字形环形线切割机构和开方机，包括在水平投影平面内、以所需加工的单晶硅棒轴线为圆心、呈90°间隔角环向阵列分布的四组线锯单元，所述线锯单元包括线锯，所述线锯通过驱动轮、张紧轮以及从动轮支撑形成张紧结构，所述线锯位于驱动轮与其中一从动轮之间的部分为切割段，四组线锯单元的切割段在水平投影平面内成井字状结构，本实用新型采用的井字形机构，切割线网平行布置，晶棒轴线与线锯所在平面相垂直，在切割处的两侧，设有两组抵压轮以克服线锯切割进给阻力，从而实现对单晶硅棒的切割，如此布置，可以换解决空间狭窄线网不易布置成井字形结构的问题。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	福州天瑞线锯科技有限公司
发明人：	梁兴华;林胜;李元业;沈锦锋;郑光健;张培文;李海威;李波
专利状态：	有效
申请日期：	2022-06-23T00:00:00+0800
发布日期：	2023-01-24T00:00:00+0800
申请号：	CN202221588184.4
公开号：	CN218365785U
代理机构：	福州科扬专利事务所(普通合伙)
代理人：	涂家英
分类号：	B28D5/04;B28D7/00;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/04;B28D7/00
申请人地址：	350199 福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号
主权项：	1.一种井字形环形线切割机构，其特征在于：包括在水平投影平面内、以所需加工的单晶硅棒轴线为圆心、呈90°间隔角环向阵列分布的四组线锯单元(100)，所述线锯单元(100)包括线锯(1)，所述线锯(1)通过驱动轮(2)、张紧轮(3)以及从动轮(4)支撑形成张紧结构，所述线锯(1)位于驱动轮(2)与张紧轮(3)或从动轮(4)之间的部分为切割段(101)，四组线锯单元(100)的切割段(101)在水平投影平面内成井字状结构。 2.根据权利要求1所述的一种井字形环形线切割机构，其特征在于：所述线锯(1)的切割段(101)上方位于所需加工的单晶硅棒两侧分别设置有抵压轮(5)。 3.根据权利要求1所述的一种井字形环形线切割机构，其特征在于：四组所述线锯单元(100)中，互为对立侧的两组线锯单元(100)设置于同一水平高度，相邻两组线锯单元(100)设置于不同水平高度。 4.根据权利要求2所述的一种井字形环形线切割机构，其特征在于：所述驱动轮(2)、从动轮(4)和抵压轮(5)均为油气润滑密封导轮。 5.根据权利要求1所述的一种井字形环形线切割机构，其特征在于：所述张紧轮(3)还包括其张紧机构。 6.根据权利要求5所述的一种井字形环形线切割机构，其特征在于：所述张紧机构包括轴承座(6)，所述轴承座(6)内通过轴承转动安装有张紧转轴(7)，所述张紧转轴(7)一端固定连接有第一摆臂(8)，所述第一摆臂(8)末端与所述张紧轮(3)转动安装，所述张紧转轴(7)另一端固定连接有张力臂(9)，还包括第一张紧电机(10)，所述第一张紧电机(10)的输出轴套接有收卷轮(11)，所述收卷轮(11)上张紧卷绕有钢丝绳(12)，所述钢丝绳(12)末端与张力臂(9)的末端固定连接。 7.根据权利要求5所述的一种井字形环形线切割机构，其特征在于：所述张紧机构包括电机安装座(15)，所述电机安装座(15)上安装有第二张紧电机(13)，所述第二张紧电机(13)的输出轴穿过所述电机安装座(15)后通过键条固定套接有第二摆臂(14)，所述第二摆臂(14)末端与所述张紧轮(3)转动安装。 8.一种线锯单元，其特征在于：包括线锯(1)，所述线锯(1)由驱动轮(2)、张紧轮(3)以及从动轮(4)支撑形成类矩形张紧结构，所述线锯(1)位于驱动轮(2)与张紧轮(3)或从动轮(4)之间的部分为切割段(101)，所述线锯(1)的切割段(101)上方设置有轮轴轴向垂直于硅棒轴向的抵压轮(5)。 9.一种开方机，其特征在于：包括如权利要求1-7任一项所述的井字形环形线切割机构。