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原文传递一种硅片左右崩边视觉检测装置及其方法

专利名称：	一种硅片左右崩边视觉检测装置及其方法
摘要：	本发明涉及一种硅片左右崩边视觉检测装置及其方法，包括：输送装置，用于进行硅片的前后输送；视觉检测机构，安装在支座上，支座分布于输送装置的两侧，视觉检测机构用于对硅片的左右两边进行检测；线性光源，安装在支座上，线性光源位于视觉检测机构和硅片之间；每个所述支座上的线性光源为两个，两个线性光源的照射光线交点位于硅片的左边处或右边处，视觉检测机构的轴线位于两个线性光源之间，以检测硅片的左边或右边的情况。通过非接触式光学AO I测量，在不影响设备产能的前提下对硅片左右边进行检测，可快速检测硅片左右边是否存在崩边情况，提高了产线良品率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州威华智能装备有限公司
发明人：	汪哲;郑兴晔;郭建;林俊浦
专利状态：	有效
申请日期：	2023-08-25T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-14T00:00:00+0800
申请号：	CN202311082878.X
公开号：	CN117054429A
代理机构：	郑州银河专利代理有限公司
代理人：	吴伟
分类号：	G01N21/88;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88
申请人地址：	215100 江苏省苏州市吴中区木渎镇中山东路70号2712、2716室
主权项：	1.一种硅片左右崩边视觉检测装置，其特征在于，包括：输送装置(1)，用于进行硅片(2)的前后输送；视觉检测机构(6)，安装在支座(4)上，支座(4)分布于输送装置(1)的两侧，视觉检测机构(6)用于对硅片(2)的左右两边进行检测；线性光源(3)，安装在支座(4)上，线性光源(3)位于视觉检测机构(6)和硅片(2)之间；每个所述支座(4)上的线性光源(3)为两个，两个线性光源(3)的照射光线交点位于硅片(2)的左边处或右边处，视觉检测机构(6)的轴线位于两个线性光源(3)之间，以检测硅片(2)的左边或右边的情况。 2.根据权利要求1所述的一种硅片左右崩边视觉检测装置，其特征在于，每个所述支座(4)上均设有两个支撑件(10)，两个支撑件(10)之间转动安装有上下分布的两个线性光源(3)，其中一个支撑件(10)上开设有和线性光源(3)的位置对应的弧形槽(11)，所述线性光源(3)上设有在弧形槽(11)内滑动的紧固螺栓(12)，紧固螺栓(12)用于调整线性光源(3)的照射角度同时用于固定线性光源(3)。 3.根据权利要求2所述的一种硅片左右崩边视觉检测装置，其特征在于，每个所述视觉检测机构(6)的外侧均设有外罩(5)，外罩(5)固定安装在支座(4)上。 4.根据权利要求3所述的一种硅片左右崩边视觉检测装置，其特征在于，所述输送装置(1)为皮带输送机或辊轮输送机。 5.根据权利要求4所述的一种硅片左右崩边视觉检测装置，其特征在于，所述支座(4)上固定安装有用于固定视觉检测机构(6)的安装座(9)。 6.根据权利要求5所述的一种硅片左右崩边视觉检测装置，其特征在于，所述视觉检测机构(6)包括相机(7)和设在相机(7)上的镜头(8)。 7.根据权利要求6所述的一种硅片左右崩边视觉检测装置，其特征在于，所述镜头(8)为25mm高分辨率镜头。 8.根据权利要求6所述的一种硅片左右崩边视觉检测装置，其特征在于，所述相机(7)为4K黑白线扫相机。 9.一种硅片左右崩边视觉检测方法，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤一：图像预处理：对输入的硅片(2)左右边的图像进行预处理；步骤二：特征提取：在预处理后的硅片(2)左右边的图像中提取特征点；步骤三：特征描述：对特征点周围的局部图像区域进行描述，以产生特征描述子；步骤四：特征匹配：将提取的特征描述子与预定义的数据库或模板中的特征描述子进行比较，以找到相似或匹配的特征；步骤五：匹配筛选和验证：对匹配结果进行筛选和验证，以剔除错误匹配和提高匹配准确性；步骤六：特征定位和识别：根据特征匹配的结果，进行特征定位和识别操作。