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原文传递一种小型化的激光剥蚀系统及样品池模块

专利名称：	一种小型化的激光剥蚀系统及样品池模块
摘要：	本发明公开了一种小型化的激光剥蚀系统，包括激光剥蚀模块和样品池模块；所述样品池模块通过固定环与激光剥蚀模块固定连接；所述激光剥蚀模块包括依次连接的激光发射器、振镜模块和样品镜头；所述样品池模块包括样品池壳体、进气口、出气口和窗片；所述进气口和出气口设置在样品池壳体上；所述样品池壳体的下端具有开口，所述样品池壳体的下端边缘设置有弹性密封圈，所述弹性密封圈用于将样品池壳体的下端与接触面形成密封连接。本发明通过样品池壳体的下端与接触面形成密封连接，仅需要剥蚀区域的样品表面平整光滑，简化了繁琐的前处理切割打磨步骤，大大避免了外来的污染影响检测质量，同时可用于实现便携式激光剥蚀质谱检测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海凯来仪器有限公司
发明人：	胡勇刚;陈国荣;李剑;王辉
专利状态：	有效
申请日期：	2023-08-15T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-14T00:00:00+0800
申请号：	CN202311021304.1
公开号：	CN117054212A
代理机构：	广州京诺知识产权代理有限公司
代理人：	于睿虬
分类号：	G01N1/44;B01L3/00;G01N27/64;G;B;G01;B01;G01N;B01L;G01N1;B01L3;G01N27;G01N1/44;B01L3/00;G01N27/64
申请人地址：	201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区业盛路188号450室
主权项：	1.一种小型化的激光剥蚀系统，其特征在于，包括激光剥蚀模块和样品池模块；所述样品池模块通过固定环与激光剥蚀模块固定连接；所述激光剥蚀模块包括依次连接的激光发射器、振镜模块和样品镜头，所述激光发射器用于产生剥蚀激光，所述振镜模块用于高速调节所述剥蚀激光的聚焦位置，所述样品镜头为物镜或者场镜；所述样品池模块包括样品池壳体、进气口、出气口和窗片；所述窗片用于将样品镜头与样品池模块的内部空间隔开并允许剥蚀激光通过；所述进气口和出气口设置在样品池壳体上；所述出气口用于和检测装置气路连接；所述样品池壳体的下端具有开口，所述样品池壳体的下端边缘设置有弹性密封圈，所述弹性密封圈用于将样品池壳体的下端与接触面形成密封连接，所述接触面为样品表面或者样品支架表面。 2.根据权利要求1所述的激光剥蚀系统，其特征在于，所述样品池模块还包括导流板，所述导流板设置在窗片下方，所述导流板的一侧设置有辅助进气口。 3.根据权利要求1所述的激光剥蚀系统，其特征在于，还包括升降平台，所述升降平台用于放置样品或者样品支架。 4.根据权利要求3所述的激光剥蚀系统，其特征在于，所述升降平台为三轴移动平台。 5.根据权利要求1所述的激光剥蚀系统，其特征在于，所述进气口和出气口离所述样品池壳体的下端距离为2～6mm。 6.根据权利要求1所述的激光剥蚀系统，其特征在于，所述样品池壳体的下端的开口的直径为1～10mm。 7.根据权利要求1所述的激光剥蚀系统，其特征在于，所述振镜模块为三维振镜模块，所述三维振镜模块包括Z轴移动镜头、Z轴聚焦镜头、X轴振镜和Y轴振镜；所述三维振镜模块通过Z轴移动镜头和Z轴聚焦镜头的配合高速调节所述剥蚀激光的焦点沿光轴方向的位置；所述X轴振镜和Y轴振镜用于高速调节所述剥蚀激光的焦点沿垂直于光轴方向的位置。 8.根据权利要求1所述的激光剥蚀系统，其特征在于，所述检测装置包括质谱仪。 9.如权利要求1至2、5至6任一项所述的样品池模块。 10.一种如权利要求1至8任一项所述的激光剥蚀系统在文物样品表面的质谱检测中的应用。