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原文传递一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法

专利名称：	一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法
摘要：	本发明提供一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法，包括：顶部具有开口且壳身部分设有用以分别连接气嘴和穿过导线的开孔的壳体；能够封住所述开口且允许激光剥蚀系统发出的激光穿透的顶盖；将所述壳体内的样品升温至熔融状态的加热系统。本发明能即时反映室温至高温状态下样品熔融、结晶，形变等状态、提供熔融温度、结晶温度、结晶时间等参数；并可以实时对样品进行剥蚀分析，表征高温下样品中相应元素迁移变化的过程。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	中国科学院上海硅酸盐研究所
发明人：	陈奕睿;潘秀红;郭琳倩;李青;张国霞;汪正;邓伟杰;陈锟;艾飞
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201910407879.4
公开号：	CN110196275A
代理机构：	上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)
代理人：	曹芳玲;姚佳雯
分类号：	G01N27/62(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	200050 上海市长宁区定西路1295号
主权项：	1.一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池，其特征在于，包括：顶部具有开口且壳身部分设有用以分别连接气嘴和穿过导线的开孔的壳体；能够封住所述开口且允许激光剥蚀系统发出的激光穿透的顶盖；将所述壳体内的样品升温至熔融状态的加热系统。 2.根据权利要求1所述的高温实时样品池，其特征在于，所述加热系统包括加热环和对所述加热环供电的直流电源，所述加热环容纳于所述壳体中。 3.根据权利要求2所述的高温实时样品池，其特征在于，所述直流电源提供的最大电流不小于10A。 4.根据权利要求2或3所述的高温实时样品池，其特征在于，所述加热环选用不与所述样品在高温下反应的材料。 5.根据权利要求2至4中任一项所述的高温实时样品池，其特征在于，所述加热环形成为上宽下窄的圆环状结构，在圆环的对称两端连接有与所述直流电源相连接的连接部，在圆环的一端连接有热电偶。 6.根据权利要求1至5中任一项所述的高温实时样品池，其特征在于，所述壳体形成为圆柱形，优选地，还包括对所述导线进行密封的密封件。 7.根据权利要求1至6中任一项所述的高温实时样品池，其特征在于，所述气嘴具备插入所述壳体内部的螺纹部，所述螺纹部上设有孔；优选地，沿所述螺纹部对称地分布有多个所述孔。 8.根据权利要求2所述的高温实时样品池，其特征在于，所述壳体内设有安装所述加热环的支架。 9.一种使用根据权利要求1至8中任一项所述的样品池的检测方法，其特征在于，包括：（1）通过加热系统的升温、保温、冷却过程，用激光剥蚀系统的观测单元直接观测到样品完整的熔融、形变、结晶过程，得到该样品具体的熔融温度、结晶温度、结晶时间；（2）在观测到的熔融、形变、结晶的过程中，通过激光剥蚀系统进行激光剥蚀处理，分别形成不同过程的气溶胶；（3）在观测到的熔融、形变、结晶的过程中，所挥发的元素分别形成不同过程的气溶胶；（4）通过电感耦合等离子体质谱系统将步骤（2）中获得的所述气溶胶载入到等离子体中电离后进行检测，直接得到所述样品的元素信号，根据所得的离子强度值计算得到所述样品在不同过程中离子的迁移情况；（5）通过电感耦合等离子体质谱系统将步骤（3）中获得的所述气溶胶载入到等离子体中电离后进行检测，直接得到所述样品的挥发元素的离子强度值，根据所得的离子强度值计算得到所述样品中在不同过程中元素的挥发情况。
所属类别：	发明专利