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原文传递一种溅射靶材包覆封存装置

专利名称：	一种溅射靶材包覆封存装置
摘要：	本发明涉及靶材封存装置技术领域，特别涉及一种溅射靶材包覆封存装置，包括加工台，所述加工台上表面一端设置有用于输送靶材的输送组件，所述加工台的下方远离输送组件的一端转动连接有基板，所述基板上活动设置有扩袋机构，所述扩袋机构上设置有封口组件，所述扩袋机构包括两个平行设置的扩袋座，所述扩袋座上表面垂直焊接有凹型座。本发明提供的一种溅射靶材包覆封存装置，通过扩袋机构自动对封装袋进行扩张固定，然后配合输送组件自动将靶材输送到扩袋机构撑开的封装袋内，再配合抽真空组件和封口组件自动实现对封装袋进行抽真空和封口，从而实现自动对靶材进行包装，提高其包装效率，降低劳动强度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	福建瓦能科技有限公司
发明人：	涂培堤;肖成绩;涂翠金;涂尊铭;陈怡姿
专利状态：	有效
申请日期：	2023-08-24T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-21T00:00:00+0800
申请号：	CN202311070558.2
公开号：	CN117087931A
代理机构：	福建省君祥知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	田敏
分类号：	B65B31/06;B65B51/14;B65B43/26;B65B57/06;B;B65;B65B;B65B31;B65B51;B65B43;B65B57;B65B31/06;B65B51/14;B65B43/26;B65B57/06
申请人地址：	366100 福建省三明市大田县石牌镇上坡村301号
主权项：	1.一种溅射靶材包覆封存装置，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)上表面一端设置有用于输送靶材的输送组件(2)，所述加工台(1)的下方远离输送组件(2)的一端转动连接有基板(4)，所述基板(4)上活动设置有扩袋机构(5)，所述扩袋机构(5)上设置有封口组件(6)；所述扩袋机构(5)包括两个平行设置的扩袋座(51)，所述扩袋座(51)上表面垂直焊接有凹型座(52)，所述凹型座(52)的两个竖直端外壁顶端上垂直焊接有条形座(53)，所述条形座(53)远离凹型座(52)的一端上表面螺栓固定有第一电动推杆(54)，所述第一电动推杆(54)的伸缩端贯穿条形座(53)延伸到外侧并安装有压板(55)；所述封口组件(6)包括连接座(61)，所述连接座(61)焊接固定在两个条形座(53)之间，所述连接座(61)上表面中心处安装有凹型架(62)，所述凹型架(62)内通过转轴转动连接有封口架(64)，所述封口架(64)的另一端上表面螺栓固定有第二电动推杆(65)，所述第二电动推杆(65)的伸缩端贯穿封口架(64)延伸到外侧并螺栓固定有电热板(66)，所述凹型架(62)一侧壁上螺栓固定有带动封口架(64)转动的伺服电机(63)。 2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材包覆封存装置，其特征在于，所述基板(4)上表面沿长度方向开设有两个相互平行的条形槽(41)，两个所述条形槽(41)内均转动连接有双向丝杠(43)，所述双向丝杠(43)的两端分别对称螺纹连接有两个丝杠螺母座(42)，且两个丝杠螺母座(42)分别与两个平行设置的扩袋座(51)相互固接，所述基板(4)沿长度方向的一端螺栓固定有带动双向丝杠(43)转动丝杠电机(44)。 3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材包覆封存装置，其特征在于，所述基板(4)上焊接有固定轴(47)，所述固定轴(47)的两端转动连接有固定座(46)，所述固定座(46)焊接固定在加工台(1)的下表面，所述固定座(46)一侧壁上螺栓固定有带动固定轴(47)转动的驱动电机(48)。 4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材包覆封存装置，其特征在于，所述加工台(1)上表面位于输送组件(2)的一侧开设有下料口(11)，所述加工台(1)上表面与下料口(11)相对的位置焊接有导流罩(3)，所述基板(4)上开设有配合下料口(11)的通孔。 5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材包覆封存装置，其特征在于，所述加工台(1)下表面中心处设置有抽真空组件(8)，所述抽真空组件(8)包括条形块(81)，所述条形块(81)焊接固定在加工台(1)下表面，所述条形块(81)下表面沿长度方向开设有两个平行的条形滑槽(82)，两个所述条形滑槽(82)内均滑动连接有第二滑块(84)，两个第二滑块(84)之间焊接有抽真空座(83)，所述抽真空座(83)内安装有真空泵(85)，所述真空泵(85)的一端导通连接有吸气管(86)，所述真空泵(85)的另一端导通连接有排气管(88)。 6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材包覆封存装置，其特征在于，所述条形块(81)下表面一端固定有液压伸缩杆(89)，所述液压伸缩杆(89)的另一端螺栓固定有推动架(87)，所述推动架(87)为凹型结构，所述推动架(87)与条形块(81)固接。 7.根据权利要求1所述的一种溅射靶材包覆封存装置，其特征在于，所述输送组件(2)包括凹型输送架(21)，所述凹型输送架(21)内部沿长度方向的两端转动连接有两个输送辊(22)，两个所述输送辊(22)之间绕接有输送带(23)，所述凹型输送架(21)的外壁上螺栓固定有带动输送辊(22)转动的输送电机。 8.根据权利要求1所述的一种溅射靶材包覆封存装置，其特征在于，所述加工台(1)下表面四个拐角处螺栓固定有支腿(9)，所述加工台(1)下表面位于基板(4)的两侧对称焊接有两个弧形板(7)，所述弧形板(7)上开设有弧形滑槽(71)，所述基板(4)上焊接有第一滑块(45)，所述第一滑块(45)与弧形滑槽(71)滑动连接。