专利名称: |
一种溅射靶材输送箱 |
摘要: |
本实用新型公开了一种溅射靶材输送箱,涉及输送箱领域,包括箱体和箱盖,箱体一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽,安置槽内壁固定有缓冲层,安置槽底部固定有多个承重梁,箱体开口周侧开设有多个与安置槽连通的预设槽,承重梁远离安置槽底部的侧面高度高于预设槽底面。针对现有技术存在卸货不便的问题,本实用新型通过设置承重梁和预设槽,便于采用叉车将安置槽内的溅射靶材取出或放入。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
上海;31 |
申请人: |
东曹(上海)电子材料有限公司 |
发明人: |
卢建栋;张小伟;张扬 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-12-08T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-10-25T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201822060621.5 |
公开号: |
CN209535942U |
分类号: |
B65D81/05(2006.01);B;B65;B65D;B65D81 |
申请人地址: |
201600 上海市松江区松江出口加工区茸腾路255号4幢 |
主权项: |
1.一种溅射靶材输送箱,包括箱体(1)和箱盖(2),其特征在于,所述箱体(1)一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽(3),所述安置槽(3)内壁固定有缓冲层(4),所述安置槽(3)底部至少固定有一个承重梁(5),所述箱体(1)开口周侧开设有多个与所述安置槽(3)连通的预设槽(6),所述承重梁(5)远离所述安置槽(3)底部的侧面高度高于所述预设槽(6)底面。 2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述安置槽(3)两端均固定有端块(7),所述端块(7)上开设有用于限制溅射靶材位置的限位槽(8)。 3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述限位槽(8)底面高度与所述承重梁(5)远离所述安置槽(3)底部的侧面高度相同。 4.根据权利要求2所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述端块(7)上开设有夹具槽(9),所述夹具槽(9)的深度大于所述限位槽(8)深度。 5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述安置槽(3)开口处周向设置有插接条(10),所述箱盖(2)上开设有与所述插接条(10)插接配合的插接槽(11),所述箱体(1)周侧固定有多个便于固定所述箱盖(2)的锁扣(12)。 6.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述箱盖(2)为多段式,且所述箱盖(2)相互靠近的侧面固定有密封片(13)。 7.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述箱体(1)周侧固定有多个把手(14)和防撞管(15)。 8.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述预设槽(6)内插接连接有插板(16),所述箱体(1)底部固定有多个箱脚(17)。 |
所属类别: |
实用新型 |