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原文传递一种用于半导体前驱体的薄膜除尘存放装置

专利名称：	一种用于半导体前驱体的薄膜除尘存放装置
摘要：	本实用新型公开了一种用于半导体前驱体的薄膜除尘存放装置，涉及除尘存放装置技术领域，为解决现有除尘存放装置再实际使用时其实并没有达到除尘的效果，只是避免通风组件工作时，灰尘会顺着进气口进入到除尘存放装置内，而不能清除除尘存放装置内的灰尘的问题。包括触地底座，所述触地底座上设置有存放箱体，所述存放箱体与触地底座焊接连接，所述存放箱体左右两侧均设置有蓄电池，所述蓄电池与存放箱体螺栓连接，所述存放箱体内壁上设置有连接柱，所述连接柱与存放箱体内壁焊接连接。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏先科半导体新材料有限公司
发明人：	孟永禄;林沫;顾玲
专利状态：	有效
申请日期：	2022-12-02T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-10T00:00:00+0800
申请号：	CN202223221020.0
公开号：	CN219989803U
代理机构：	南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人：	向文
分类号：	B65D25/02;B65D25/24;B08B6/00;B65D81/18;B65D85/86;B;B65;B08;B65D;B08B;B65D25;B08B6;B65D81;B65D85;B65D25/02;B65D25/24;B08B6/00;B65D81/18;B65D85/86
申请人地址：	214200 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区荆溪北路88号
主权项：	1.一种用于半导体前驱体的薄膜除尘存放装置，包括触地底座(1)，所述触地底座(1)上设置有存放箱体(2)，所述存放箱体(2)与触地底座(1)焊接连接，所述存放箱体(2)左右两侧均设置有蓄电池(3)，所述蓄电池(3)与存放箱体(2)螺栓连接，所述存放箱体(2)内壁上设置有连接柱(8)，所述连接柱(8)与存放箱体(2)内壁焊接连接；其特征在于：还包括静电发生结构(9)，所述静电发生结构(9)设置在连接柱(8)远离存放箱体(2)内壁的一端，所述静电发生结构(9)与蓄电池(3)电性连接，所述存放箱体(2)上设置有旋转合页(4)，所述旋转合页(4)固定端与存放箱体(2)焊接连接，所述旋转合页(4)活动端上设置有透明亚克力箱门(5)，所述旋转合页(4)活动端与透明亚克力箱门(5)螺栓连接，所述透明亚克力箱门(5)上设置有把手(6)，所述把手(6)与透明亚克力箱门(5)为一体设置。 2.根据权利要求1所述的一种用于半导体前驱体的薄膜除尘存放装置，其特征在于：所述存放箱体(2)内设置有安置板(10)，所述安置板(10)与存放箱体(2)内壁焊接连接。 3.根据权利要求2所述的一种用于半导体前驱体的薄膜除尘存放装置，其特征在于：所述安置板(10)上设置有橡胶垫(11)，所述橡胶垫(11)与安置板(10)粘连连接。 4.根据权利要求1所述的一种用于半导体前驱体的薄膜除尘存放装置，其特征在于：所述蓄电池(3)在远离存放箱体(2)的一端设置有运行信号指示灯(7)，所述运行信号指示灯(7)与蓄电池(3)电性连接。 5.根据权利要求1所述的一种用于半导体前驱体的薄膜除尘存放装置，其特征在于：所述存放箱体(2)内壁上设置有无线信号发射结构(12)。 6.根据权利要求5所述的一种用于半导体前驱体的薄膜除尘存放装置，其特征在于：所述无线信号发射结构(12)上设置有温度传感器(13)，所述温度传感器(13)与无线信号发射结构(12)电性连接。
所属类别：	实用新型