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原文传递硅棒检测平台

专利名称：	硅棒检测平台
摘要：	本发明提供一种硅棒检测平台，硅棒检测平台包括机架、转动件、第一驱动件、夹持装置和检测装置，转动件设在机架上并相对于机架可绕第一方向转动，两个转动件可在第二方向上相对靠近和相对远离，第一驱动件与两个转动件中的至少一个相连，夹持装置设在机架上且至少部分相对于机架可沿第三方向移动，并可从相对远离的两个转动件之间通过，夹持装置可夹持和释放硅棒，以在相对靠近的两个转动件上取放硅棒，检测装置设在机架上，以用于对放置在两个转动件上的硅棒进行检测。本发明的硅棒检测平台通过夹持装置将硅棒取放在相对靠近的两个转动件上，通过转动件承托并驱动硅棒以稳定姿态转动，以便于检测装置对硅棒进行精准检测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	杭州中为光电技术有限公司
发明人：	朱亮;曹震;张遵浩;景健;储著明;刘祖耀
专利状态：	有效
申请日期：	2023-07-26T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-14T00:00:00+0800
申请号：	CN202310929264.4
公开号：	CN117054601A
代理机构：	北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	张辉元
分类号：	G01N33/00;B25B11/00;B66F7/00;G;B;G01;B25;B66;G01N;B25B;B66F;G01N33;B25B11;B66F7;G01N33/00;B25B11/00;B66F7/00
申请人地址：	311103 浙江省杭州市临平区余杭经济技术开发区顺达路500号1幢201室
主权项：	1.一种硅棒检测平台，其特征在于，包括：机架(1)；转动件(2)，所述转动件(2)设在所述机架(1)上，并相对于所述机架(1)可绕第一方向转动，所述转动件(2)为至少两个，其中两个所述转动件(2)可在第二方向上相对靠近和相对远离，所述第二方向正交于所述第一方向；第一驱动件(3)，所述第一驱动件(3)与两个所述转动件(2)中的至少一个相连，以驱动对应的所述转动件(2)绕第一方向转动；夹持装置(4)，所述夹持装置(4)设在所述机架(1)上，所述夹持装置(4)的至少部分相对于所述机架(1)可沿第三方向移动，并可从相对远离的两个所述转动件(2)之间通过，所述夹持装置(4)可夹持和释放硅棒，以在相对靠近的两个所述转动件(2)上取放硅棒，所述第三方向正交于所述第一方向和所述第二方向；检测装置(5)，所述检测装置(5)设在所述机架(1)上，所述检测装置(5)用于对放置在两个所述转动件(2)上的硅棒进行检测。 2.根据权利要求1所述的硅棒检测平台，其特征在于，还包括平移装置(6)，所述平移装置(6)设在所述机架(1)上，所述平移装置(6)的至少部分相对于所述机架(1)可沿第二方向移动，所述平移装置(6)为至少两个，其中两个所述平移装置(6)的至少部分可在第二方向上相对靠近和相对远离，至少两个所述转动件(2)一一对应的设在至少两个所述平移装置(6)上，以使所述转动件(2)在对应的所述平移装置(6)的驱动下沿所述第二方向移动，所述转动件(2)相对于对应的所述平移装置(6)可绕第一方向转动，第一驱动件(3)设在其中一个所述平移装置(6)上，并与其中一个所述平移装置(6)上的所述转动件(2)相连。 3.根据权利要求2所述的硅棒检测平台，其特征在于，所述平移装置(6)包括：第一安装架(61)，所述第一安装架(61)设在所述机架(1)上；第二安装架(62)，所述第二安装架(62)设有所述转动件(2)，或者设有所述转动件(2)和所述第一驱动件(3)；平移驱动组件(63)，所述平移驱动组件(63)设在所述第一安装架(61)上，所述平移驱动组件(63)沿所述第二方向延伸，并与所述第二安装架(62)相连，以驱动所述第二安装架(62)相对于所述第一安装架(61)沿所述第二方向移动；平移导向组件(64)，所述平移导向组件(64)设在所述第一安装架(61)上，所述平移导向组件(64)沿所述第二方向延伸，并与所述第二安装架(62)相连，以导引所述第二安装架(62)沿所述第二方向移动。 4.根据权利要求1所述的硅棒检测平台，其特征在于，所述夹持装置(4)包括：第一驱动机构(41)，所述第一驱动机构(41)设在所述机架(1)上，所述第一驱动机构(41)的至少部分相对于所述机架(1)可沿所述第三方向移动；夹爪组件(42)，所述夹爪组件(42)可夹持和释放所述硅棒的外周壁面，所述夹爪组件(42)设在所述第一驱动机构(41)上，以在所述第一驱动机构(41)的驱动下沿所述第三方向移动，并可在移动过程中从相对远离的两个所述转动件(2)之间通过。 5.根据权利要求4所述的硅棒检测平台，其特征在于，所述夹持装置(4)还包括：第二驱动机构(43)，所述第二驱动机构(43)设在所述机架(1)上，所述第二驱动机构(43)的至少部分相对于所述机架(1)可沿所述第一方向移动，所述第一驱动机构(41)设在所述第二驱动机构(43)上，以在所述第二驱动机构(43)的驱动下沿所述第一方向移动。 6.根据权利要求5所述的硅棒检测平台，其特征在于，所述第二驱动机构(43)包括第三安装架(431)和第二驱动组件(432)，第二驱动组件(432)设在所述机架(1)上，且所述第二驱动组件(432)的至少部分相对于所述机架(1)可沿所述第一方向移动，所述第二驱动组件(432)为至少两个，其中两个所述第二驱动组件(432)在所述第二方向上间隔排布，所述第三安装架(431)连接在两个所述第二驱动组件(432)之间，以在两个所述第二驱动组件(432)的驱动下沿所述第一方向移动；所述第一驱动机构(41)包括第四安装架(411)、第一驱动组件(412)和第一导向组件(413)，所述第一导向组件(413)沿所述第三方向延伸，并连接在所述第三安装架(431)和所述第四安装架(411)之间，以导引所述第四安装架(411)相对于所述第三安装架(431)沿所述第三方向移动，所述第一驱动组件(412)设在所述第三安装架(431)上，并与所述第四安装架(411)相连，以驱动所述第四安装架(411)相对于所述第三安装架(431)沿所述第三方向移动。 7.根据权利要求4所述的硅棒检测平台，其特征在于，所述夹爪组件(42)和所述第一驱动机构(41)在所述第三方向上间隔排布，所述夹持装置(4)还包括：连接件(44)，所述连接件(44)将所述夹爪组件(42)和所述第一驱动机构(41)相连，并使所述夹爪组件(42)相对于所述第一驱动机构(41)可沿所述第三方向移动；缓冲传感器(45)，所述缓冲传感器(45)设在所述夹爪组件(42)和所述第一驱动机构(41)中的一者上，所述缓冲传感器(45)用于在被触发时向所述第一驱动机构(41)发送停止移动的信号；触发件(46)，所述触发件(46)设在所述夹爪组件(42)和所述第一驱动机构(41)中的另一者上，所述触发件(46)用于触发所述缓冲传感器(45)，在所述触发件(46)触发所述缓冲传感器(45)时，所述夹爪组件(42)和所述第一驱动机构(41)之间具有一定距离。 8.根据权利要求2所述的硅棒检测平台，其特征在于，所述检测装置(5)包括：三轴模组(51)，所述三轴模组(51)设在所述机架(1)上，所述三轴模组(51)为至少两个，至少两个所述三轴模组(51)与至少两个所述平移装置(6)一一对应设置，所述三轴模组(51)与对应的所述平移装置(6)在第三方向上间隔排布，并位于对应的所述平移装置(6)设有所述转动件(2)的一侧，所述三轴模组(51)中的任一轴模组沿所述第一方向设置；检测仪器，所述检测仪器设在所述三轴模组(51)上。 9.根据权利要求1-8中任一项所述的硅棒检测平台，其特征在于，还包括：传送装置，所述传送装置用于传送承载件，所述承载件承载所述硅棒；止挡件(7)，所述止挡件(7)用于止挡位于所述传送装置上的所述承载件，以使所述承载件位于所述夹持装置(4)在所述第三方向上的一侧。 10.根据权利要求9所述的硅棒检测平台，其特征在于，还包括顶升装置(8)，所述顶升装置(8)与所述止挡件(7)在所述传送装置的传送方向上间隔排布，所述顶升装置(8)相对于所述传送装置可沿所述第三方向移动，以在所述传送装置上取放被所述止挡件(7)止挡的所述承载件，并驱动所述承载件朝向和远离所述夹持装置(4)移动。
所属类别：	发明专利