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原文传递 硅棒转换装置、硅棒开方设备及硅棒开方方法
专利名称: 硅棒转换装置、硅棒开方设备及硅棒开方方法
摘要: 本申请公开一种硅棒转换装置、硅棒开方设备及硅棒开方方法,该硅棒开方设备包括硅棒转换装置和线切割装置,其中,利用硅棒转换装置可将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以供线切割装置对位于切割区的待切割硅棒进行开方切割,以及利用硅棒转换装置可将已开方硅棒由切割区转换至等待区以供将已开方硅棒予以卸料,将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以及将已开方硅棒由切割区转换至等待区可利用硅棒转换装置在一次转换运动中同时完成,如此,可实现硅棒的快速且便捷地转换,提高了硅棒的开方切割作业效率。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 浙江;33
申请人: 浙江集英精密机器有限公司
发明人: 卢建伟;潘雪明
专利状态: 有效
申请日期: 2018-02-09T00:00:00+0800
发布日期: 2019-08-16T00:00:00+0800
申请号: CN201810135530.5
公开号: CN110126107A
代理机构: 浙江杭州金通专利事务所有限公司
代理人: 王丽丹
分类号: B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址: 314400 浙江省嘉兴市海宁市经济开发区双联路128号6号楼
主权项: 1.一种硅棒开方设备,其特征在于,包括: 硅棒转换装置,包括:转换工作台,设有至少一第一硅棒承载台和至少一第二硅棒承载台;转换驱动机构,用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台在等待区和切割区之间转换;以及 线切割装置,设有与切割区对应的至少一线切割单元;所述至少一线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于切割区的至少一第一硅棒承载台或至少一第二硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割。 2.根据权利要求1所述的硅棒开方设备,其特征在于,所述转换驱动机构为转动机构,所述转动机构包括: 转动轴,连接于所述转换工作台;以及 转动驱动源,与所述转动轴相连,用于驱动所述转动轴转动以带动所述转换工作台转动。 3.根据权利要求1所述的硅棒开方设备,其特征在于,所述转换驱动机构为平移机构,所述平移机构包括: 平移导轨,铺设于工件加工台上; 滑块,设于所述转换工作台的底部;以及 平移驱动源。 4.根据权利要求1所述的硅棒开方设备,其特征在于,还包括临设于所述硅棒转换装置的硅棒装卸装置,包括: 换向载具,设有硅棒夹具;以及 换向驱动机构,用于驱动所述换向载具作换向运动以令所述硅棒夹具夹持待切割硅棒并将待切割硅棒由装卸区转运至对应于等待区的所述至少一第一硅棒承载台或所述至少一第二硅棒承载台,或,夹持对应于等待区的所述至少一第一硅棒承载台或所述至少一第二硅棒承载台上的已开方硅棒并将已开方硅棒由等待区转运至装卸区。 5.根据权利要求1所述的硅棒开方设备,其特征在于,还包括设于所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台周边的边皮顶托机构,用于顶托待切割硅棒进行开方切割后所形成的边皮。 6.根据权利要求5所述的硅棒开方设备,其特征在于,所述边皮顶托机构包括: 活动承托件;以及 锁定控制件,用于在活动承托件抵靠于待切割硅棒的底部时将所述活动承托件控制在锁定状态。 7.根据权利要求1所述的硅棒开方设备,其特征在于,还包括边皮卸料装置,用于将所述线切割装置进行切割后形成的边皮予以卸料。 8.根据权利要求7所述的硅棒开方设备,其特征在于,所述边皮卸料装置包括:错开机构,用于驱动边皮和已开方硅棒发生相对升降位移,使得所述边皮的顶端凸出于所述已开方硅棒。 9.根据权利要求8所述的硅棒开方设备,其特征在于,所述边皮卸料装置还包括:夹持转运机构,用于夹持住所述边皮的顶端并拉升所述边皮以脱离所述已开方硅棒以及将所述边皮转运至边皮卸料区。 10.一种硅棒转换装置,应用于硅棒开方设备中,其特征在于,所述硅棒转换装置包括: 转换工作台,设有至少一第一硅棒承载台和至少一第二硅棒承载台;以及 转换驱动机构,用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台在等待区和切割区之间转换。 11.根据权利要求10所述的硅棒转换装置,其特征在于,所述转换驱动机构为转动机构,所述转动机构包括: 转动轴,连接于所述转换工作台;以及 转动驱动源,与所述转动轴相连,用于驱动所述转动轴转动以带动所述转换工作台转动。 12.根据权利要求10所述的硅棒转换装置,其特征在于,所述转换驱动机构为平移机构,所述平移机构包括: 平移导轨,铺设于工件加工台上; 滑块,设于所述转换工作台的底部;以及 平移驱动源。 13.一种硅棒开方方法,应用于一硅棒开方设备中,所述硅棒开方设备包括硅棒转换装置和线切割装置,其中,硅棒转换装置包括具有至少一第一硅棒承载台和至少一第二硅棒承载台的转换工作台以及用于驱动所述转换工作台作转换运动的转换驱动机构,所述线切割装置包括至少一线切割单元,其特征在于,所述硅棒开方方法包括如下步骤: 将待切割硅棒置放于转换工作台中对应于等待区的至少一第一硅棒承载台或至少一第二硅棒承载台上; 驱动所述转换工作台作转换运动以将至少一第一硅棒承载台或至少一第二硅棒承载台及其上的待切割硅棒由等待区转换至切割区; 利用线切割装置中的至少一线切割单元对对应于切割区的至少一第一硅棒承载台或至少一第二硅棒承载台上待切割硅棒进行开方切割;以及 驱动所述转换工作台作转换运动以将至少一第一硅棒承载台或至少一第二硅棒承载台及其上的已开方硅棒由切割区转换至等待区,将所述已开方硅棒予以卸料。 14.根据权利要求13所述的硅棒开方方法,其特征在于,驱动所述转换工作台作转换运动通过以下至少一种方式实现: 驱动所述转换工作台作转动;以及 驱动所述所述转换工作台作平移。 15.根据权利要求13所述的硅棒开方方法,其特征在于,还包括顶托待切割硅棒进行开方切割后所形成的边皮的步骤。 16.根据权利要求13所述的硅棒开方方法,其特征在于,还包括将待切割硅棒进行开方切割后形成的边皮予以卸料的步骤。 17.根据权利要求16所述的硅棒开方方法,其特征在于,将待切割硅棒进行开方切割后形成的边皮予以卸料的步骤中更包括如下步骤:驱动所述边皮和已开方硅棒发生相对升降位移,使得所述边皮的顶端凸出于所述已开方硅棒。 18.根据权利要求17所述的硅棒开方方法,其特征在于,将待切割硅棒进行开方切割后形成的边皮予以卸料,还包括步骤: 夹持住所述边皮的顶端; 拉升所述边皮以脱离所述已开方硅棒;以及 将所述边皮转运至边皮卸料区。
所属类别: 发明专利
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