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原文传递样品保持架、装载装置和将样品插入到样品保持架中的方法

专利名称：	样品保持架、装载装置和将样品插入到样品保持架中的方法
摘要：	示例涉及样品保持架(100)、装载装置(200)以及用于将样品插入到样品保持架中的方法。样品保持架(100)包括主要部件(110)，主要部件包括第一表面区域(112)。样品保持架(100)还包括保持机构(120)，保持机构包括保持部件(122)。保持机构(120)构造成在保持机构的关闭状态下将样品(14)保持在保持机构的保持部件(122)和第一表面区域(112)之间。保持机构构造成在保持机构机械动作时进入打开状态，打开状态允许样品的插入和移除，保持机构构造成一旦机械致动被移除就恢复到关闭状态。
专利类型：	发明专利
申请人：	徕卡显微系统有限公司;莱卡微系统CMS有限责任公司
发明人：	托马斯·普法伊费尔;海因茨·普兰克;米里亚姆·韦勒;康拉德·温克勒;赖讷·沃格利施
专利状态：	有效
申请日期：	2023-05-24T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-24T00:00:00+0800
申请号：	CN202310590698.6
公开号：	CN117110339A
代理机构：	北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	宋融冰
分类号：	G01N23/2204;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/2204
申请人地址：	奥地利维也纳;
主权项：	1.一种样品保持架(100),包括：主要部件(110)，包括第一表面区域(112)；和保持机构(120)，包括保持部件(122)，其中保持机构(120)构造成在保持机构的关闭状态下将样品(14)保持在保持机构的保持部件(122)和第一表面区域(112)之间，其中保持机构构造成在保持机构机械致动时进入打开状态，打开状态允许样品的插入和取出，保持机构构造成一旦机械致动被移除就恢复到关闭状态。 2.根据权利要求1所述的样品保持架，其中保持机构构造成在通过装载装置(200)的机械部件(210)对保持机构进行机械致动时进入打开状态。 3.根据权利要求1或2中的一项所述的样品保持架，其中保持机构包括弹簧(124)，当保持机构致动时，弹簧被压缩。 4.根据权利要求1至3中的一项所述的样品保持架，其中保持机构构造成保持包括样品(14)的叠层(10)，第一表面区域设置成与叠层的纵向表面区域(10a)形成第一边界区域，主要部件还包括第二表面区域(114)，第二表面区域设置成与叠层的横向表面区域(10b)形成第二边界区域。 5.一种用于样品保持架的装载装置(200),包括用于致动样品保持架的保持机构的机械部件(210)以将样品保持架的保持机构置于打开状态,打开状态允许将样品插入到样品保持架中和从样品保持架取出样品。 6.根据权利要求5所述的装载装置，包括用于接收样品保持架的第一凹槽(230)。 7.根据权利要求6所述的装载装置，其中装载装置包括止动表面区域(235),止动表面区域(235)布置成使得当样品保持架插入第一凹槽直到止动表面区域时，样品保持架与机械元件对齐。 8.根据权利要求6或7中的一项所述的装载装置，包括第二凹槽(240),用于引导将样品插入到样本保持架中，样品例如是包括样品的叠层。 9.根据权利要求8所述的装载装置，其中装载装置包括具有第一竖直高度的第一部分和具有第二竖直高度的第二部分，其中第一部分包括第一凹槽(230)，第二部分包括第二凹槽(240)，第二竖直高度大于第一竖直高度。 10.根据权利要求9所述的装载装置，其中第二部分面向第一部分的表面区域包括止动表面区域(235),用于将样品保持架与机械部件对齐。 11.根据权利要求5至10中的一项所述的装载装置，包括用于接收螺钉或螺栓(255)的螺纹(250)，用于将样品保持架固定到装载装置。 12.一种用于在离子铣削过程中将样品插入到用于保持样品的样品保持架中的方法，该方法包括：将样品放置(310)在第一支撑层(12)和第二支撑层(16)之间，以形成包括样品的叠层；和将叠层插入(340)到样品保持架中。 13.根据权利要求12所述的方法，包括在将样品放置在第一支撑层和第二支撑层之间之后，在第一支撑层和第二支撑层的边缘处切除(350)样品的多余材料。 14.根据权利要求12或13中的一项所述的方法，其中，所述第一支撑层和第二支撑层中的一个包括倾斜的边缘，用于在离子铣削过程中将叠层与掩模对齐。 15.根据权利要求12至14中的一项所述的方法，包括离子铣削(380)样品，其中在离子铣削过程中，通过所述第一支撑层和第二支撑层以及样品保持架的表面区域对样品应用冷却(382)。
所属类别：	发明专利