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原文传递一种硅片翻转输送系统及其工作方法

专利名称：	一种硅片翻转输送系统及其工作方法
摘要：	本发明涉及输送技术领域，具体涉及一种硅片翻转输送系统及其工作方法。本发明提供了一种硅片翻转输送系统，包括：固定架、升降架、翻转部和若干定位震动件，固定架呈框架结构，升降架可升降的设置在固定架内，且升降架与定位震动件联动；翻转部固定在升降架上方，翻转部的活动端适于周向转动；若干定位震动件等间距固定在翻转部的活动端，其中；翻转部驱动定位震动件同步翻转，以使吸附件朝向硅片；升降架驱动硅片竖直向上移动，升降架上端适于插入定位震动件内，以校正翻转部的活动端；升降架与定位震动件分离，定位震动件适于震动吸附件，以使破碎的硅片能够自吸附件上脱离。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	常州比太科技有限公司
发明人：	曹振华;张政;贺国梁
专利状态：	有效
申请日期：	2023-10-12T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-17T00:00:00+0800
申请号：	CN202311317515.X
公开号：	CN117068752A
代理机构：	常州市科佑新创专利代理有限公司
代理人：	钮云涛
分类号：	B65G47/91;B65G47/248;B;B65;B65G;B65G47;B65G47/91;B65G47/248
申请人地址：	213000 江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路7号
主权项：	1.一种硅片翻转输送系统，其特征在于，包括：固定架（1）、升降架（2）、翻转部（3）和若干定位震动件（4），所述固定架（1）呈框架结构，所述升降架（2）可升降的设置在所述固定架（1）内，且所述升降架（2）与所述定位震动件（4）联动；所述翻转部（3）固定在所述升降架（2）上方，所述翻转部（3）的活动端适于周向转动；若干所述定位震动件（4）等间距固定在所述翻转部（3）的活动端，其中；翻转部（3）驱动所述定位震动件（4）同步翻转，以使吸附件（35）朝向硅片；升降架（2）驱动硅片竖直向上移动，所述升降架（2）上端适于插入所述定位震动件（4）内，以校正所述翻转部（3）的活动端；升降架（2）与定位震动件（4）分离，所述定位震动件（4）适于震动所述吸附件（35），以使破碎的硅片能够自吸附件（35）上脱离。 2.如权利要求1所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述翻转部（3）包括：驱动电机（31）、传动轴（32）、两定位板（33）、若干支撑板（34）和若干吸附件（35），所述驱动电机（31）水平固定在所述固定架（1）上，所述传动轴（32）可转动的设置在所述固定架（1）的上，所述传动轴（32）与所述驱动电机（31）传动连接；两定位板（33）对称套定在所述传动轴（32）外壁，所述定位震动件（4）的两端分别垂直固定在两所述定位板（33）内壁；若干所述支撑板（34）等间距固定在所述定位震动件（4）上方，且所述支撑板（34）与所述定位板（33）互相平行；若干所述吸附件（35）矩等间距固定在所述支撑板（34）下端，且所述吸附件（35）设置在所述定位震动件（4）侧壁。 3.如权利要求2所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述升降架（2）上端等间距固定有若干推块（20），一个推块（20）对应一个定位震动件（4），所述推块（20）适于插入所述定位震动件（4）内。 4.如权利要求3所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述定位震动件（4）包括：定位块（41）、调节板（42）和弹簧（43），所述定位块（41）内部中空，所述调节板（42）可滑动的设置在所述定位块（41）内；所述定位块（41）下端沿长度方向开设有一定位槽（44），所述推块（20）适于插入所述定位槽（44）；所述弹簧（43）的两端分别固定在所述调节板（42）和所述定位块（41）内壁上；其中，推块（20）插入定位槽（44）内时，推块（20）适于挤压所述调节板（42），使其向吸附件（35）方向移动。 5.如权利要求4所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述调节板（42）的两侧至定位块（41）的内壁均设有间隙。 6.如权利要求5所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述定位块（41）靠近所述吸附件（35）的一侧开设有若干通孔；所述定位块（41）内设置有若干气管（36），一个气管（36）对应一个吸附件（35），且所述气管（36）适于穿过所述通孔向吸附件（35）延伸；其中，调节板（42）向吸附件（35）方向移动时，调节板（42）适于推动气管（36）向外移动。 7.如权利要求6所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述调节板（42）下端设置有一斜坡，推块（20）与斜坡相抵后，推块（20）适于推动所述调节板（42）向所述吸附件（35）方向移动。 8.如权利要求7所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述调节板（42）靠近所述弹簧（43）的一侧固定有若干延长柱（45），所述延长柱（45）适于撞击所述定位块（41）内壁。 9.如权利要求8所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述吸附件（35）包括：固定柱（351）和吸附板（352），所述固定柱（351）垂直固定在所述吸附板（352）上，所述固定柱（351）固定在所述支撑板（34）上；所述吸附板（352）上开设有若干负压孔（353），所述负压孔（353）与所述气管（36）连通。 10.如权利要求9所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述升降架（2）上还设置有一水平输送带（21），所述水平输送带（21）适于驱动硅片水平移动。 11.如权利要求10所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，所述固定架（1）上还固定有一竖直移动副（11），所述竖直移动副（11）适于驱动所述升降架（2）竖直上下移动。 12.一种硅片翻转输送系统的工作方法，其特征在于，如权利要求11所述的一种硅片翻转输送系统，升降架（2）竖直向下移动，至与传输带齐平后，传输带上的硅片载板适于向升降架（2）上水平移动，升降架（2）上的水平输送带（21）驱动硅片载板水平移动，至硅片载板完全移动至升降架（2）上；所述驱动电机（31）驱动所述传动轴（32）周向转动，以使所述吸附板（352）朝向硅片载板；所述竖直移动副（11）驱动所述升降架（2）竖直向上移动，至所述推块（20）插入所述定位槽（44）内，所述推块（20）适于校正所述定位块（41），使其保持水平，以使每个吸附件（35）均能够与硅片接触；所述推块（20）适于推动所述调节板（42），以使所述调节板（42）向吸附件（35）方向移动；所述调节板（42）适于推动所述气管（36）向外移动，以防止吸附件（35）负压吸附硅片时，气管（36）与吸附件（35）的连接处出现弯折现象；吸附件（35）吸附硅片后，升降架（2）向下移动，推块（20）自定位块（41）内脱离，所述弹簧（43）适于拉动所述调节板（42）复位移动，调节板（42）在复位移动的过程中，所述延长柱（45）适于撞击所述定位块（41），定位块（41）被撞击后适于震动所述吸附件（35），以使吸附件（35）下端吸附的破碎的硅片能够脱落。
所属类别：	发明专利